3 空氣潔凈度等級(jí)

　　3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)內(nèi)空氣中懸浮粒子空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級(jí)應(yīng)按表3.0.1確定。

　　表3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級(jí)

　　注：按不同的測量方法，各等級(jí)水平的濃度數(shù)據(jù)的有效數(shù)字不應(yīng)超過3位。

　　2 各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應(yīng)按下式計(jì)算：

　　式中：Cn——大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整數(shù)，有效位數(shù)不超過三位數(shù);

　　N——空氣潔凈度等級(jí)，數(shù)字不超過9，潔凈度等級(jí)整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量;

　　D——要求的粒徑(μm);

　　0.1——常數(shù)，其量綱為μm。

　　3 當(dāng)工藝要求粒徑不止一個(gè)時(shí)，相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。

　　4 空氣潔凈度等級(jí)的粒徑范圍應(yīng)為0.1μm～0.5μm，超出粒徑范圍時(shí)可采用U描述符或M描述符補(bǔ)充說明。

　　3.0.2 空氣潔凈度等級(jí)所處狀態(tài)包括空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)，空氣潔凈度等級(jí)所處狀態(tài)應(yīng)與業(yè)主協(xié)商確定。

　　3.0.3 空氣潔凈度的測試方法應(yīng)按本規(guī)范附錄A的要求進(jìn)行。

　　3.0.4 當(dāng)潔凈室(區(qū))內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求控制微生物、化學(xué)污染物時(shí)，應(yīng)根據(jù)工藝特點(diǎn)對(duì)各空氣潔凈度等級(jí)規(guī)定相應(yīng)的微生物、化學(xué)污染物濃度限值。

　　條文說明

　　3 空氣潔凈度等級(jí)

　　3.0.1 本規(guī)范修訂過程中，涉及潔凈技術(shù)的各有關(guān)單位、科技人員和專家們都強(qiáng)烈希望“規(guī)范應(yīng)與國際接軌”，為此，本規(guī)范修訂中將空氣潔凈度等級(jí)等效采用國際標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)被控環(huán)境——第一部分，空氣潔凈度的分級(jí)》IS0 14644-1，在該標(biāo)準(zhǔn)中列出的空氣潔凈度整數(shù)等級(jí)(表3.0.1)及其關(guān)注的大于或等于要求粒徑的允許濃度有爭議時(shí)，可將式(3.0.1)得出的濃度Cn作為標(biāo)準(zhǔn)限值。由于空氣潔凈度等級(jí)的分級(jí)規(guī)定是潔凈廠房設(shè)計(jì)建造必須遵循的規(guī)定，所以本條的第1款～第3款為強(qiáng)制性條文。

　　3.0.4 隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，目前在一些高科技產(chǎn)品用潔凈廠房中，不僅要求控制潔凈室(區(qū))內(nèi)的微粒，還要求控制各類微生物、化學(xué)污染物，為此增加了本條規(guī)定。