5 工藝設(shè)計

5．1 一般規(guī)定

5．1．1 潔凈廠房的工藝設(shè)計、工藝布局應為電子產(chǎn)品發(fā)展以及產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)預留必要的條件。

5．1．2 潔凈廠房工藝設(shè)計應確定各種生產(chǎn)條件，在滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下，應做到安全性能好、建設(shè)投資少、能量消耗少、運行費用低、生產(chǎn)效率高。

5．1．3 潔凈廠房工藝設(shè)計應根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求設(shè)置人流路線、物料運輸和倉儲設(shè)施。

5．2 工藝布局

5．2．1 潔凈廠房的工藝布置應按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設(shè)備的安裝和維修、物料運輸?shù)纫蟠_定。
在單向流潔凈室內(nèi)進行生產(chǎn)工藝設(shè)備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時，應采取避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的措施。

5．2．2 工藝布局應避免人流和物流之間的混雜和交叉，宜分別設(shè)置人員入口、物料入口和設(shè)備出入口，并應在各自的入口處設(shè)置相應的凈化設(shè)施。

5．2．3 在滿足生產(chǎn)工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度嚴格的潔凈室(區(qū))宜靠近空調(diào)機房布置；空氣潔凈度等級相同的工序或工作室宜集中布置。

5．2．4 潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴格的工序(設(shè)備)應遠離出入口和可能干擾氣流的場所設(shè)置，并宜布置在上風側(cè)；易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應布置在靠近回風口位置或下風側(cè)。

5．2．5 工藝布置時，應根據(jù)大型生產(chǎn)工藝設(shè)備的運輸、安裝、維修的要求設(shè)置運輸通道、安裝口或檢修口。

5．2．6 潔凈廠房內(nèi)不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間聯(lián)系頻繁時，應采取防止污染的措施。

5．3 人員凈化

5．3．1 人員凈化用室和設(shè)施應根據(jù)潔凈室的規(guī)模、空氣潔凈度等級設(shè)置，并應設(shè)置生活用室。人員凈化用室宜按圖5．3．1的人員凈化程序進行布置。

5．3．2 人員凈化用室，應根據(jù)換鞋(凈鞋)、更外衣、更潔凈工作服等的需要設(shè)置。雨具存放、廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用房和空氣吹淋室、氣閘室、潔凈工作服洗滌間及干燥間等其他用室，可根據(jù)需要設(shè)置。

5．3．3 潔凈廠房內(nèi)人員凈化用室和生活用室的建筑面積，應根據(jù)潔凈室的規(guī)模、空氣潔凈度等級和潔凈室內(nèi)工作人員數(shù)量等確定，宜按潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)計人數(shù)平均2～4m2／人計算。

5．3．4 人員凈化用室和生活用房的設(shè)置，應符合下列規(guī)定：
1 凈鞋設(shè)施應設(shè)在潔凈室入口處；
2 更換外衣和更換潔凈工作服用室不應設(shè)置在同一房間內(nèi)；
3 外衣存放柜應按潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)計人數(shù)配置；
4 應設(shè)置存放潔凈工作服，且?guī)в锌諝鈨艋拇嬉略O(shè)施；
5 應設(shè)置感應式洗手和烘干設(shè)施；
6 廁所宜設(shè)在進入人員凈化用室之前，需設(shè)在人員凈化用室內(nèi)時，應設(shè)置前室。

5．3．5 潔凈廠房空氣吹淋室的設(shè)計，應符合下列要求：
1 在潔凈室(區(qū))的入口處宜設(shè)空氣吹淋室。當不設(shè)空氣吹淋室時，應設(shè)氣閘室；
2 吹淋室應設(shè)在更換潔凈工作服后的相鄰部位；
3 單人空氣吹淋室，應按最大班人數(shù)每30人設(shè)一臺。潔凈室(區(qū))工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側(cè)應設(shè)單向旁通門；
4 空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟，應采取連鎖控制措施；
5 空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室(區(qū))，宜設(shè)氣閘室。

5．3．6 人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級，宜由外至內(nèi)逐步潔凈，室內(nèi)可送入經(jīng)過高效空氣過濾的潔凈空氣。
潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級；當設(shè)有潔凈工作服洗滌室時，洗滌室的空氣潔凈度等級宜為8級。

5．4 物料凈化

5．4．1 潔凈室(區(qū))內(nèi)的設(shè)備和物料出入口，應獨立設(shè)置，并應根據(jù)設(shè)備和物料的特征、性質(zhì)、形狀等設(shè)置凈化用室及相應物凈設(shè)施。

5．4．2 物料凈化用室與潔凈室(區(qū))之間應設(shè)置氣閘室或傳遞窗。

5．5 設(shè)備及工器具

5．5．1 潔凈室(區(qū))內(nèi)應采用具有防塵、防污染的生產(chǎn)設(shè)備和輔助生產(chǎn)設(shè)備，并應符合下列要求：
1 表面應光潔、易清潔、不積塵、不揮發(fā)化學物質(zhì)；
2 設(shè)備的傳動部件等應密封性能好，并應防止?jié)櫥?、冷卻劑等的泄漏；
3 對生產(chǎn)中發(fā)塵、排熱量大或排出有毒、可燃氣體的設(shè)備，應采取防擴散措施；
4 設(shè)備的金屬外殼應設(shè)置接地設(shè)施。

5．5．2 當設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時，宜采取密封隔斷措施。

5．5．3 潔凈室(區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時，應采取隔聲措施。

5．5．4 潔凈室(區(qū))應設(shè)置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進行凈化處理的設(shè)施。

5．5．5 潔凈室(區(qū))內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用專用容器。用于存放和傳送的專用容器，應符合下列規(guī)定：
1 制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應被氧化；
2 應密封性能好；
3 當存放物有嚴格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；
4 構(gòu)造、外形應滿足生產(chǎn)工藝要求，并應方便操作和運送。

5．5．6 潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)置真空泵時，應符合下列規(guī)定：
1 使用油潤滑的真空泵應設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應排入排氣系統(tǒng)；
2 對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過爆炸下限的20％時，應設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應去除或稀釋可燃氣體組分；
3 傳輸易燃、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵，應采用不燃泵油，并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。