6 空氣凈化

　　6.1 一般規(guī)定

　　6.2 潔凈室壓差控制

　　6.3 氣流流型和送風(fēng)量

　　6.4 空氣凈化處理

　　6.5 采暖通風(fēng)、防排煙

　　6.6 風(fēng)管和附件

　　6.1 一般規(guī)定

　　6.1.1 潔凈廠房內(nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈要求。

　　6.1.2 應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級的不同要求，選用不同的氣流流型。

　　6.1.3 下列情況之一者，其凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置：

　　1 運行班次或使用時間不同。

　　2 生產(chǎn)工藝中某工序散發(fā)的物質(zhì)或氣體對其他工序的產(chǎn)品質(zhì)量有影響。

　　3 對溫、濕度控制要求差別大。

　　4 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)。

　　6.1.4 潔凈室的溫、濕度范圍應(yīng)符合表6.1.4的規(guī)定。

　　表6.1.4 潔凈室的溫、濕度范圍

　　6.1.5 潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列兩項中的最大值：

　　1 補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和。

　　2 保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

　　6.1.6 潔凈區(qū)的清掃宜采用移動式高效真空吸塵器，但空氣潔凈度等級為1級～5級的單向流潔凈室宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應(yīng)暗敷，吸塵口應(yīng)加蓋封堵。

　　6.1.7 凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計對維護管理的要求應(yīng)符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定。

　　條文說明

　　6.1 一般規(guī)定

　　6.1.1 潔凈的生產(chǎn)環(huán)境是生產(chǎn)工藝的需要，是確保產(chǎn)品的成品率和產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性、長壽命所必需的。隨著我國國民經(jīng)濟的發(fā)展，各行各業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的溫度、相對濕度和潔凈度的要求也越來越高。例如：大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展很快，在1980年時其集成度只有64kB，而到目前集成度已提高到1GB;64kB集成電路前工序生產(chǎn)所要求生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度等級只有4級和5級，而1GB集成電路前工序生產(chǎn)對生產(chǎn)環(huán)境潔凈度等級的要求提高到1級和2級(0.1μm)。

　　不同的生產(chǎn)工藝、不同的生產(chǎn)工序?qū)ιa(chǎn)環(huán)境的要求也是不相同的，因此，確定潔凈室的空氣潔凈度等級時應(yīng)根據(jù)不同工藝、不同工序?qū)Νh(huán)境的潔凈度要求而定。

　　根據(jù)不同生產(chǎn)工藝、不同生產(chǎn)工序?qū)Νh(huán)境潔凈度的不同要求，該高則高，該低則低，盡量縮小高潔凈度等級部分的面積，以局部 高等級凈化和全室較低等級凈化的潔凈室系統(tǒng)代替全室高等級凈化的潔凈室系統(tǒng)。既能確保不同生產(chǎn)工藝對環(huán)境的要求，又能大幅度地降低初投資和運行費用。

　　例如：對于生產(chǎn)1GB超大規(guī)模集成電路前工序的潔凈室來說，在整個生產(chǎn)過程中只有少數(shù)工序(制版、光刻等)對環(huán)境的潔凈度等級要求最高為1級或2級，而其他大部分工序只要求5級、6級，甚至只有7級。不需將全部潔凈室都設(shè)計為1級或2級。

　　6.1.4 人是潔凈室內(nèi)主要的發(fā)塵源，作業(yè)人員進(jìn)入潔凈室必須穿著與潔凈室的空氣潔凈度等級相適應(yīng)的潔凈工作服。由于潔凈工作服的透氣性較差，為了保證作業(yè)人員的工作環(huán)境，提高勞動生產(chǎn)率，在潔凈室生產(chǎn)工藝對環(huán)境的溫、濕度沒有特殊要求時，潔凈室內(nèi)的溫度主要是為了作業(yè)人員的舒適。因此，潔凈室溫度冬季為20℃～22℃，夏季為24℃～26℃，濕度冬季為30%～50%，夏季為50%～70%，比較適宜。由于潔凈室(區(qū))的溫度、相對濕度首先應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定，只有在生產(chǎn)工藝無要求時，才能按本條的規(guī)定根據(jù)作業(yè)人員的舒適度確定，但在本規(guī)范實施中因潔凈廠房生產(chǎn)的產(chǎn)品多種多樣，作業(yè)人員多少和工作條件也不相同，所以強制執(zhí)行有困難，為此本次修訂改為推薦性條文。

　　6.1.5 本條為強制性條文?，F(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范》GB 50019中對一般工業(yè)廠房的新鮮空氣量的規(guī)定為每人每小時不小于30m3。由于新鮮空氣量是確保潔凈室(區(qū))作業(yè)人員健康的重要條件之一，所以本次修訂中對潔凈室(區(qū))的新鮮空氣量規(guī)定為應(yīng)取補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和，保證供給潔凈室(區(qū))內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。兩項中的最大值。

　　6.2 潔凈室壓差控制

　　6.2.1 潔凈室(區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。

　　6.2.2 不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。

　　6.2.3 潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量，根據(jù)潔凈室特點，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。

　　6.2.4 送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動送風(fēng)機，再啟動回風(fēng)機和排風(fēng)機;關(guān)閉時聯(lián)鎖程序應(yīng)相反。

　　負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。

　　6.2.5 非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進(jìn)行凈化空調(diào)處理。

　　條文說明

　　6.2 潔凈室壓差控制

　　6.2.1 為了保證潔凈室在正常工作或空氣平衡暫時受到破壞時，氣流都能從空氣潔凈度高的區(qū)域流向空氣潔凈度低的區(qū)域，使?jié)崈羰业臐崈舳炔粫艿轿廴究諝獾母蓴_，所以潔凈室必須保持一定的壓差。

　　在國內(nèi)外潔凈室標(biāo)準(zhǔn)和潔凈度等級中，對潔凈室內(nèi)壓差值的大小都作了明確規(guī)定。

　　壓差值的大小應(yīng)選擇適當(dāng)。壓差值選擇過小，潔凈室的壓差很容易破壞，潔凈室的潔凈度就會受到影響。壓差值選擇過大，就會使凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)量增大，空調(diào)負(fù)荷增加，同時使中效、高效過濾器使用壽命縮短，故很不經(jīng)濟。另外，當(dāng)室內(nèi)壓差值高于50Pa時，門的開關(guān)就會受到影響。因此，潔凈室壓差值的大小應(yīng)根據(jù)我國現(xiàn)有潔凈室的建設(shè)經(jīng)驗，參照國內(nèi)外有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和試驗研究的結(jié)果合理確定。

　　自《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GBJ 73-84在1985年頒布以來，我國按規(guī)范設(shè)計、建造了數(shù)百萬平方米的各種潔凈級別的潔凈室，并且都經(jīng)過了數(shù)年的運行考驗，滿足了工藝要求。實踐經(jīng)驗證明，《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GBJ 73-84中有關(guān)潔凈室內(nèi)正壓值的選擇是正確的、可行的。

　　已頒布實施的國際標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第一部分，空氣潔凈度的分級》IS0 14644-1和日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室懸浮粒子檢測方法》JIS 9920、俄羅斯國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》TOCTP 50766等有關(guān)現(xiàn)行的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)中都明確規(guī)定，為了保持潔凈室的潔凈度等級免受外界的干擾，對于不同等級的潔凈室之間、潔凈室與相鄰的無潔凈度級別的房間之間都必須維持一定的壓差。雖然各個國家規(guī)定的最小壓差值不盡相同，但最小壓差值都在5Pa以上。

　　由于潔凈室(區(qū))與周圍空間維持一定的壓差是實現(xiàn)空氣潔凈度的基本條件，為此，規(guī)定本條為強制性條文。

　　6.2.2 試驗研究的結(jié)果表明，潔凈室內(nèi)正壓值受室外風(fēng)速的影響，室內(nèi)正壓值要高于室外風(fēng)速產(chǎn)生的風(fēng)壓力。當(dāng)室外風(fēng)速大于3m/s時，產(chǎn)生的風(fēng)壓力接近5Pa，若潔凈室內(nèi)正壓值為5Pa時，室外的污染空氣就有可能滲漏到室內(nèi)。但根據(jù)現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)和空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范》GB 50019編制組提供的全國氣象資料統(tǒng)計，全國203個城市中有74個城市的冬夏平均風(fēng)速大于3m/s，占總數(shù)的36.4%。這樣如果潔凈室與室外相鄰時，其最小的正壓值應(yīng)該大于5Pa。因此，規(guī)定潔凈室與室外的最小壓差為10Pa。由于各行各業(yè)的潔凈廠房內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝不同，各產(chǎn)品生產(chǎn)工序的條件差異，不同等級或潔凈室(區(qū))與非潔凈室(區(qū))之間的壓差取值均有差別，所以本次修訂將本條改為推薦性條文。

　　6.2.3 國內(nèi)外潔凈室壓差風(fēng)量的確定，多數(shù)是采用房間換氣次數(shù)估算的。因為壓差風(fēng)量的大小是與潔凈室圍護結(jié)構(gòu)的氣密性及維持的壓差值大小有關(guān)，對于相同大小的房間，由于門窗的數(shù)量及形式的不同，氣密性不同，導(dǎo)致滲漏風(fēng)量也不同，故維持同樣大小的壓差值所需壓差風(fēng)量就有所差異。兇此，在選取換氣次數(shù)時，對于氣密性差的房間取上限，氣密性較好的房間可取得小一些。

　　(1) 采用縫隙法來計算滲漏風(fēng)量，既考慮了潔凈室圍護結(jié)構(gòu)的氣密性，又考慮了室內(nèi)維持不同的壓差值所需的正壓風(fēng)量。因此，縫隙法比按房間的換氣次數(shù)估算法較為合理和精確。

　　單位長度縫隙滲漏空氣量用公式計算是比較困難的，一般是通過不同形式的門、窗進(jìn)行多次試驗的數(shù)據(jù)統(tǒng)計后得出的。表7是對國內(nèi)潔凈室的20多種常用的門、窗在實驗室進(jìn)行了大量的試驗后取得的數(shù)據(jù)，雖然近年來潔凈室門窗的材料和形式有很大的發(fā)展，但目前還有部分潔凈室仍然采用鋼制密封門窗，故表7中的數(shù)據(jù)仍可供設(shè)計時參考。

　　表7 圍護結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風(fēng)量

　　縫隙法宜按下式計算：

　　Q=a·∑(q·L)

　　式中：Q——維持潔凈室壓差值所需的壓差風(fēng)量(m3/h);

　　a——根據(jù)圍護結(jié)構(gòu)氣密性確定的安全系數(shù)，可取1.1～1.2;

　　q——當(dāng)潔凈室為某一壓差值時，其圍護結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風(fēng)量(m3/h·m);

　　L——圍護結(jié)構(gòu)的縫隙長度(m)。

　　(2) 換氣次數(shù)法，宜按下列數(shù)據(jù)選用：

　　壓差5Pa時，取1次/h～2次/h。

　　壓差10Pa時，取2次/h～4次/h。

　　6.2.4 潔凈室(區(qū))的正壓或負(fù)壓是以對室內(nèi)的送風(fēng)量、回風(fēng)量和排風(fēng)量平衡協(xié)調(diào)實現(xiàn)的，為確保潔凈室所需的正壓值或負(fù)壓值，通常還應(yīng)將送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)順序啟停，為此作了本條規(guī)定。但實踐證明，由于各行各業(yè)的潔凈室(區(qū))的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝或使用要求不同，有些潔凈室是間斷、不連續(xù)運行，所以送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟停雖然大多采用聯(lián)鎖控制，而有的也采用手動控制，為此本次修改將本條改為推薦性條文。

　　6.2.5 根據(jù)對國內(nèi)潔凈室的調(diào)查表明，有一部分潔凈室設(shè)置了值班風(fēng)機，但多數(shù)潔凈室沒有設(shè)置值班風(fēng)機，而是采用上班前提前半小時運行凈化空調(diào)系統(tǒng)達(dá)到潔凈室自凈的方法。

　　非連續(xù)性運行的潔凈室設(shè)置值班送風(fēng)的問題，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝具體情況而定。如果生產(chǎn)工藝要求嚴(yán)格，在空氣凈化調(diào)節(jié)系統(tǒng)停止運行時，會污染室內(nèi)放置的半成品，又不能采用局部處理時最好設(shè)置值班送風(fēng)，值班送風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)送出經(jīng)過凈化空調(diào)處理的空氣，以避免潔凈室內(nèi)產(chǎn)品或設(shè)備結(jié)露。

　　6.3 氣流流型和送風(fēng)量

　　6.3.1 氣流流型的設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 潔凈室(區(qū))的氣流流型和送風(fēng)量應(yīng)符合表6.3.3的要求?？諝鉂崈舳鹊燃壱髧?yán)于4級時，應(yīng)采用單向流;空氣潔凈度等級為4級～5級時，應(yīng)采用單向流;空氣潔凈度等級為6級～9級時，應(yīng)采用非單向流。

　　2 潔凈室工作區(qū)的氣流分布應(yīng)均勻。

　　3 潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)符合生產(chǎn)工藝要求。

　　6.3.2 潔凈室的送風(fēng)量應(yīng)取下列三項中的最大值：

　　1 滿足空氣潔凈度等級要求的送風(fēng)量。

　　2 根據(jù)熱、濕負(fù)荷計算確定的送風(fēng)量。

　　3 按本規(guī)范第6.1.5條的要求向潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。

　　6.3.3 為保證空氣潔凈度等級的送風(fēng)量，應(yīng)按表6.3.3中的有關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行計算或按室內(nèi)發(fā)塵量進(jìn)行計算。

　　表6.3.3 氣流流型和送風(fēng)量

　　注：1 換氣次數(shù)適用于層高小于4.0m的潔凈室;

　　2 應(yīng)根據(jù)室內(nèi)人員、工藝設(shè)備的布置以及物料傳輸?shù)惹闆r采用上、下限值。

　　6.3.4 潔凈室內(nèi)各種設(shè)施的布置應(yīng)考慮對氣流流型和空氣潔凈度的影響，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 單向流潔凈室內(nèi)不宜布置潔凈工作臺，非單向流潔凈室的回風(fēng)口宜遠(yuǎn)離潔凈工作臺。

　　2 需排風(fēng)的工藝設(shè)備宜布置在潔凈室下風(fēng)側(cè)。

　　3 有發(fā)熱設(shè)備時，應(yīng)采取措施減少熱氣流對氣流分布的影響。

　　4 余壓閥宜布置在潔凈氣流的下風(fēng)側(cè)。

　　條文說明

　　6.3　氣流流型和送風(fēng)量

　　6.3.1 潔凈室的氣流流型應(yīng)考慮避免或減少渦流。這樣可以減少二次氣流，有利于迅速有效地排除粒子。

　　對于空氣潔凈度要求不同的潔凈室(區(qū))，所采用的氣流流型亦應(yīng)不同。近年在電子工廠潔凈廠房或醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房內(nèi)，為減少建設(shè)工程造價、降低能量消耗，常常采用同時具有單向流和非單向流的混合流潔凈室，即使在微電子生產(chǎn)潔凈廠房中要求1級～3級的空氣潔凈度等級的生產(chǎn)環(huán)境也采用混合流潔凈室，即在潔凈廠房的潔凈生產(chǎn)區(qū)采用5級，僅在局部或微環(huán)境內(nèi)采用1級～3級。根據(jù)上述情況，本條進(jìn)行了新的規(guī)定，并修改為推薦性條文。

　　6.3.2 潔凈室(區(qū))的送風(fēng)量是確保其正常運行的基本條件，本條規(guī)定的潔凈室(區(qū))送風(fēng)量應(yīng)取三項中最大值是多年來國內(nèi)外的經(jīng)驗總結(jié)，如果不是“最大值”，則將使建造后的潔凈室達(dá)不到所要求的潔凈度等級或環(huán)境條件達(dá)不到要求或作業(yè)人員健康得不到保障，為此，本條規(guī)定為強制性條文。

　　6.3.3 潔凈室送風(fēng)量計算所用的數(shù)據(jù)是參照國際標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第四部分，設(shè)計、施工和啟動》ISO 14644-4-2001中表B.2而編制的。其中，換氣次數(shù)系根據(jù)我國實際情況確定的。

　　(1) 表6.3.3空氣潔凈度等級系指靜態(tài)而言。其編制理由如下：

　　1) 工程施工前的空氣潔凈度測試，一般都是在空態(tài)或靜態(tài)下進(jìn)行的;

　　2) 國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)中大多已明確規(guī)定按靜態(tài)進(jìn)行空氣潔凈度測試。如果設(shè)計時業(yè)主提出須按動態(tài)進(jìn)行驗收時，則另行處理。

　　(2) 參照已經(jīng)發(fā)布的國際標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第四部分，設(shè)計、施工和啟動》ISO 14644-4中對微電子潔凈室、醫(yī)藥工業(yè)潔凈室的送風(fēng)量的規(guī)定，以及在本規(guī)范修訂過程中對國內(nèi)已投入運行的各類潔凈廠房實際運行狀況的調(diào)查研究，經(jīng)分析表明，《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第四部分，設(shè)計、施工和啟動》ISO 14644-4-2001中表B.2對不同等級的潔凈室送風(fēng)量、平均風(fēng)速的相關(guān)數(shù)據(jù)基本合理，編寫組結(jié)合國內(nèi)的實際狀況作了必要的調(diào)整，現(xiàn)將表B.2摘錄于表8。

　　表8 微電子潔凈室實例

　　注：1 制定最佳設(shè)計條件之前，首先應(yīng)明確使用環(huán)境的ISO級別有關(guān)的占用狀態(tài);

　　2 氣流流型符號的意義：U為單向流流型;N為非單向流流型，M為混合流流型(單向流和非單向流的組合流型);

　　3 平均風(fēng)速通常適用于單向流流型。單向流平均流速大小與被控制空間的形狀和熱氣流溫度有關(guān)。單向流流速不是指過濾器面風(fēng)速;

　　4 單位面積送風(fēng)量適用于非單向流流型和混合流流型。單位面積送風(fēng)量的推薦值適用于層高為3.0m的潔凈室;

　　5 在潔凈室設(shè)計中須考慮密封措施;

　　6 對于污染源以及污染區(qū)可用隔板或空氣幕予以有效分隔。

　　由于本條規(guī)定的潔凈送風(fēng)量主要是依據(jù)目前國內(nèi)外的實際狀況的經(jīng)驗總結(jié)，各類工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝的差異和不斷進(jìn)步，使其潔凈室的送風(fēng)量有所差異，所以本次修訂將本條改為推薦性條文。

　　6.4 空氣凈化處理

　　6.4.1 空氣過濾器的選用、布置和安裝方式應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 空氣凈化處理應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級合理選用空氣過濾器。

　　2 空氣過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量。

　　3 中效或高中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段。

　　4 亞高效過濾器和高效過濾器作為末端過濾器時宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端，超高效過濾器應(yīng)設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端。

　　5 設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應(yīng)相近。

　　6 高效(亞高效、超高效)空氣過濾器安裝方式應(yīng)嚴(yán)密、簡便、可靠，易于檢漏和更換。

　　6.4.2 對較大型的潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)宜集中進(jìn)行空氣凈化處理。

　　6.4.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)合理利用回風(fēng)。

　　6.4.4 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)機宜采取變頻措施。

　　6.4.5 嚴(yán)寒及寒冷地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護措施。

　　條文說明

　　6.4 空氣凈化處理

　　6.4.1 近年來，我國各類潔凈廠房中所采用的空氣過濾器品種、布置和安裝方式均發(fā)生了較大變化，特別是一些外資、合資企業(yè)和空氣潔凈度等級要求十分嚴(yán)格的潔凈廠房變化尤為明顯。為了有利于本規(guī)范的實施，本次修訂將本條第1～4款改為推薦性條文。

　　6.4.3 在工藝生產(chǎn)過程不產(chǎn)生有害物時，凈化空調(diào)系統(tǒng)在保證新鮮空氣量和保持潔凈室壓差的條件下，為了節(jié)約能源，應(yīng)盡量利用回風(fēng)。而單向流潔凈室的換氣次數(shù)大，當(dāng)機房距單向流潔凈室較遠(yuǎn)時，可以使一部分空氣不回機房而直接循環(huán)使用。近年來，一些高潔凈等級的單向流潔凈室采用新風(fēng)集中處理+FFU凈化空調(diào)系統(tǒng)，它是由多臺風(fēng)機過濾器單元設(shè)備組成實現(xiàn)潔凈室回風(fēng)的直接循環(huán)，如圖2所示。

　　圖2 風(fēng)機過濾器單元送風(fēng)方式(FFU)示意圖

　　當(dāng)生產(chǎn)工藝過程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)，局部排風(fēng)又不能滿足衛(wèi)生要求，并對其他工序有影響時，才能采用直流式凈化空調(diào)系統(tǒng)。因為當(dāng)車間內(nèi)的有害物質(zhì)不能全部排除時，如再使其循環(huán)使用，則會造成車間內(nèi)的有害物濃度越來越大，對人員健康及生產(chǎn)有影響，故應(yīng)采用直流式凈化空調(diào)系統(tǒng)。

　　6.4.4 在凈化空調(diào)系統(tǒng)中，考慮到系統(tǒng)的阻力變化影響其風(fēng)量等因素，風(fēng)機采用變頻調(diào)速裝置作恒定風(fēng)量或定壓控制，通常由高效過濾器的壓差變化控制變頻裝置。一些單位的實踐說明.使用后有明顯節(jié)能效果。

　　6.4.5 由于原規(guī)范本條部分內(nèi)容與第9.4.3條重復(fù)，本次修訂中將有關(guān)電加熱器等內(nèi)容移至第9.4節(jié)。

　　本條規(guī)定所指的寒冷地區(qū)是處于建筑氣候區(qū)劃一級區(qū)中I區(qū)(1月平均氣溫小于或等于-10℃)和Ⅱ區(qū)(1月平均氣溫-10℃～0℃)的地區(qū)，在此類地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)采用防凍措施，是為了防止新風(fēng)機組表冷器凍裂。

　　6.5 采暖通風(fēng)、防排煙

　　6.5.1 空氣潔凈度等級嚴(yán)于8級的潔凈室不得采用散熱器采暖。

　　6.5.2 潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備，應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)裝置。

　　6.5.3 在下列情況下，局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)單獨設(shè)置：

　　1 排風(fēng)介質(zhì)混合后能產(chǎn)生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性和發(fā)生交叉污染。

　　2 排風(fēng)介質(zhì)中含有毒性的氣體。

　　3 排風(fēng)介質(zhì)中含有易燃、易爆氣體。

　　6.5.4 潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 應(yīng)防止室外氣流倒灌。

　　2 含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按物理化學(xué)性質(zhì)采取相應(yīng)的防火防爆措施。

　　3 排風(fēng)介質(zhì)中有害物濃度及排放速率超過國家或地區(qū)有害物排放濃度及排放速率規(guī)定時，應(yīng)進(jìn)行無害化處理。

　　4 對含有水蒸氣和凝結(jié)性物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)坡度及排放口。

　　6.5.5 換鞋、存外衣、盥洗、廁所和淋浴等生產(chǎn)輔助房間應(yīng)采取通風(fēng)措施，其室內(nèi)的靜壓值應(yīng)低于潔凈區(qū)。

　　6.5.6 根據(jù)生產(chǎn)工藝要求應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)系統(tǒng)。事故排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)自動和手動控制開關(guān)，手動控制開關(guān)應(yīng)分別設(shè)在潔凈室內(nèi)、外便于操作處。

　　6.5.7 潔凈廠房排煙設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 潔凈廠房中的疏散走廊應(yīng)設(shè)置機械排煙設(shè)施。

　　2 潔凈廠房設(shè)置的排煙設(shè)施應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

　　條文說明

　　6.5 采暖通風(fēng)、防排煙

　　6.5.1 對國內(nèi)現(xiàn)有潔凈室的調(diào)研看到，為防止散熱器引發(fā)的污染，除少數(shù)改建工程仍采用原有散熱器作潔凈室采暖外，新建潔凈室沒有采用散熱器采暖的，考慮到技術(shù)的發(fā)展，本條規(guī)定了包括8級和8級以上潔凈室不應(yīng)采用散熱器采暖，為此本條作為強制性條文。

　　6.5.3 對于局部排風(fēng)系統(tǒng)單獨分開設(shè)置的規(guī)定是為了防止排風(fēng)系統(tǒng)中的易燃、易爆、有毒、腐蝕性介質(zhì)的相互滲混、交叉污染，誘發(fā)各種安全事故，并參照現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范》GB 50019的規(guī)定制定，本條為強制性條文。

　　6.5.4 國內(nèi)大部分潔凈室的排風(fēng)裝置都設(shè)置了防倒灌措施，防止凈化空調(diào)系統(tǒng)停止運行時，室外空氣倒流入潔凈室，引起污染或積塵。工程中常采取的防倒灌措施：一是采用中效過濾器，其結(jié)構(gòu)比較簡單，維護管理方便;二是采用止回閥，其使用方便，無須經(jīng)常維修管理，但密封性較差;三是采用密閉閥，其密封性好，但結(jié)構(gòu)復(fù)雜，要人工經(jīng)常操作管理;四是采用自動控制裝置。本條涉及潔凈廠房內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的安全、穩(wěn)定運行，所以規(guī)定為強制性條文。

　　6.5.5 廁所、換鞋、存外衣、盥洗和淋浴等輔助房間是產(chǎn)生灰塵、臭氣和水蒸氣的地方，緊靠潔凈區(qū)，若處理不當(dāng)，將會使這些有害物滲入潔凈室，污染潔凈室。本條是確保潔凈室(區(qū))不被這些輔助房間污染的規(guī)定，鑒于具體做法也沒有量化的靜壓值規(guī)定，本次修改為推薦性條文。通風(fēng)措施的做法一般宜采用下述方式：

　　(1) 送入經(jīng)過中效過濾器過濾后的潔凈空氣;

　　(2) 送入潔凈室多余的回風(fēng)或正壓排風(fēng);

　　(3) 在廁所或浴室內(nèi)采用機械排風(fēng)。

　　6.5.6 鑒于事故排風(fēng)是保證生產(chǎn)安全和員工安全的一項必要措施，所以按照現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范》GB 50019的規(guī)定應(yīng)設(shè)計事故排風(fēng)裝置。本條是確保潔凈廠房安全運行的重要條件之一，所以規(guī)定為強制性條文。

　　6.5.7 從近年來國內(nèi)建造的潔凈廠房的調(diào)研資料可以看出，一部分潔凈廠房為確保人員疏散的安全性，在疏散走廊設(shè)置了機械排煙或加壓送風(fēng)系統(tǒng)，如三星視界有限公司，深圳大學(xué)實驗樓，賽格日立等。潔凈廠房的疏散走廊及其長度，依據(jù)具體工程項目的不同位置，差異較大，難于統(tǒng)一。本規(guī)范實施以來的潔凈廠房設(shè)計建造均在疏散走道設(shè)置了機械排煙系統(tǒng)，為此，本條第1款規(guī)定在疏散走廊應(yīng)設(shè)置機械排煙系統(tǒng)，并作為強制性條款。

　　本條第2款規(guī)定了各類產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈廠房應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定設(shè)置排煙設(shè)施，這是由于各行業(yè)潔凈廠房內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、使用要求和布置均不相同，在本規(guī)范中很難作出統(tǒng)一的“排煙設(shè)施的規(guī)定”，所以本款為推薦性條款。

　　6.6 風(fēng)管和附件

　　6.6.1 凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)管段應(yīng)設(shè)置電動密閉閥、調(diào)節(jié)閥，送、回風(fēng)管段應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥，潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥、止回閥或電動密閉閥。

　　6.6.2 下列情況之一的通風(fēng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)設(shè)防火閥：

　　1 風(fēng)管穿越防火分區(qū)的隔墻處，穿越變形縫的防火隔墻的兩側(cè)。

　　2 風(fēng)管穿越通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)機房的隔墻和樓板處。

　　3 垂直風(fēng)管與每層水平風(fēng)管交接的水平管段上。

　　6.6.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)風(fēng)閥、高效空氣過濾器的保護網(wǎng)、孔板、擴散孔板等附件的制作材料和涂料，應(yīng)符合輸送空氣的潔凈度要求及其所處的空氣環(huán)境條件的要求。

　　潔凈室內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)閥、止回閥、電動密閉閥等附件的制作材料和涂料，應(yīng)符合排除氣體的性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件的要求。

　　6.6.4 凈化空調(diào)系統(tǒng)的送、回風(fēng)總管及排風(fēng)系統(tǒng)的吸風(fēng)總管段上宜采取消聲措施，滿足潔凈室內(nèi)噪聲要求。

　　凈化空調(diào)系統(tǒng)的排風(fēng)管或局部排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)管段上，宜采取消聲措施，滿足室外環(huán)境區(qū)域噪聲標(biāo)準(zhǔn)的要求。

　　6.6.5 在空氣過濾器的前、后應(yīng)設(shè)置測壓孔或壓差計。在新風(fēng)管、送風(fēng)、回風(fēng)總管段上，宜設(shè)置風(fēng)量測定孔。

　　6.6.6 風(fēng)管、附件及輔助材料的耐火性能應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 凈化空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料。

　　2 排除有腐蝕性氣體的風(fēng)管應(yīng)采用耐腐蝕的難燃材料。

　　3 排煙系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料，其耐火極限應(yīng)大于0.5h。

　　4 附件、保溫材料、消聲材料和粘結(jié)劑等均采用不燃材料或難燃材料。

　　條文說明

　　6.6 風(fēng)管和附件

　　6.6.1 新風(fēng)管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)新風(fēng)比;電動密閉閥用于空調(diào)機停止運行時關(guān)閉新風(fēng)。回風(fēng)總管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)回風(fēng)比。送風(fēng)支管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)潔凈室的送風(fēng)量?；仫L(fēng)支管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)潔凈室內(nèi)的正壓值?？照{(diào)機出風(fēng)口處的密閉調(diào)節(jié)閥用于并聯(lián)空調(diào)機停運時的關(guān)閉切斷，也可用于單臺空調(diào)機的總送風(fēng)量調(diào)節(jié)。排風(fēng)系統(tǒng)吸風(fēng)管段上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)局部排風(fēng)量，排風(fēng)管段上的止回閥或電動密閉閥等用于防止室外空氣倒灌。

　　6.6.2 參照現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)條文，并結(jié)合潔凈室情況作出的本條規(guī)定。風(fēng)管穿過變形縫有三種情況：一是變形縫兩側(cè)有防火隔墻，二是變形縫一側(cè)有防火隔墻，三是變形縫兩側(cè)沒有防火隔墻。規(guī)范條文是按第一種情況兩側(cè)設(shè)置防火閥。通風(fēng)系統(tǒng)的防火閥是在一旦出現(xiàn)火情時，防止火勢蔓延的主要手段，為此本條為強制性條文。

　　6.6.3 從不影響空氣凈化效果及經(jīng)濟兩個方面考慮，凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管與附件的制作材料是隨著輸送空氣凈化程度的高低而定的。潔凈度高的選用不易產(chǎn)塵的材料，潔凈度低的選用產(chǎn)塵少的材料。

　　排風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)管與附件的制作材料是隨著輸送氣體的腐蝕性程度的強弱而定。

　　6.6.4 凈化空調(diào)系統(tǒng)的送、回風(fēng)及排風(fēng)系統(tǒng)消聲措施的設(shè)置，應(yīng)根據(jù)系統(tǒng)設(shè)置的實際情況，經(jīng)計算是否滿足室內(nèi)外噪聲標(biāo)準(zhǔn)，確定消聲措施的設(shè)置，故本條改為推薦性條文。

　　6.6.5 在各級空氣過濾器的前、后設(shè)測壓孔或安裝壓差計，便于運行中隨時了解各級空氣過濾器的阻力變化情況，以便及時清洗或更換。

　　6.6.6 風(fēng)管及附件的不燃材料是指各種金屬板材，難燃材料是指氧指數(shù)大于或等于32的玻璃鋼。風(fēng)管保溫和消聲的不燃材料是指巖棉、玻璃棉等，難燃材料是指氧指數(shù)大于或等于32的聚氨酯(聚苯乙烯)泡沫塑料、橡塑海綿等。穿越防火墻及變形縫防火隔墻兩側(cè)各2000mm范圍內(nèi)的風(fēng)管和電加熱器前、后800mm范圍內(nèi)的風(fēng)管的保溫材料和墊片、粘結(jié)劑等，均應(yīng)采用不燃材料或難燃材料。本條規(guī)定了風(fēng)管及附件、輔助材料的耐火性能，所以規(guī)定為強制性條文。