6.1 一般規(guī)定

　　6.1.1 潔凈室氣體系統(tǒng)施工包含工作壓力一般不高于1MPa潔凈的和高純的永久氣體、特種氣體、醫(yī)用氣體、可燃?xì)怏w、惰性氣體輸送管道以及真空吸引管道等的施工與驗(yàn)收。

　　6.2 管材及附件

　　6.2.1 氣體系統(tǒng)管道材質(zhì)及附件，應(yīng)按設(shè)計(jì)要求選配，如設(shè)計(jì)未作明確要求，選用時(shí)應(yīng)與潔凈室潔凈度級(jí)別和輸送氣體性質(zhì)相適應(yīng)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 應(yīng)使用無縫管材。

　　2 管材內(nèi)表面吸附、解吸氣體的作用小。

　　3 管材內(nèi)表面應(yīng)光滑、耐磨損。

　　4 應(yīng)具有良好的抗腐蝕性能。

　　5 管材金屬組織在焊接處理時(shí)不應(yīng)發(fā)生變化。

　　6 負(fù)壓管道不宜采用普通碳鋼管。

　　6.2.2 所用管材應(yīng)放在室內(nèi)保管，不得重疊碼放。管道應(yīng)無裂紋、縮孔、夾渣、起瘤、折疊、重皮、銹斑、表面損傷等缺陷。管道應(yīng)平直、圓滑。

　　6.2.3 成品管外包裝和相應(yīng)管端頭的管帽、堵頭等密封措施應(yīng)有效、無破損。

　　6.2.4 氧氣閥門必須采用專用產(chǎn)品，其密封圈應(yīng)采用有色金屬、聚四氟乙烯等材質(zhì)。填料應(yīng)采用經(jīng)脫脂處理的聚四氟乙烯。

　　6.2.5 采用銅材的高純氣體管路，可用不銹鋼材質(zhì)的附件，但在不銹鋼材質(zhì)的管路中，不應(yīng)采用銅質(zhì)的附件。

　　6.3 管道系統(tǒng)安裝

　　6.3.1 管道安裝前應(yīng)進(jìn)行以下準(zhǔn)備工作：

　　1 配管下料時(shí)應(yīng)采用“等離子切割”或?qū)Ｓ们懈钿?、割管刀等工具，不?yīng)采用氧—乙炔焰切割，不得涂抹油脂或潤滑劑。

　　2 管道切口應(yīng)與管軸線垂直，切口表面應(yīng)平整、無裂紋，應(yīng)去除毛刺。

　　3 在主管道上連接支管或部件時(shí)，宜用成品連接件。

　　4 普通不銹鋼管應(yīng)在工廠的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水沖洗干凈。

　　5 氧氣管道及附件，安裝前應(yīng)按相關(guān)規(guī)定方法進(jìn)行脫脂，脫脂應(yīng)在遠(yuǎn)離潔凈室的地點(diǎn)進(jìn)行，并做好操作人員的安全與環(huán)境保護(hù)工作。

　　6.3.2 管道敷設(shè)應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，設(shè)計(jì)無要求時(shí)，應(yīng)敷設(shè)在人員不易碰撞的高度上，否則應(yīng)有防護(hù)設(shè)施。輸送干燥氣體的管道宜無坡度敷設(shè);真空吸引管道和含濕氣體管道的坡度宜大于或等于0.3%，坡向真空泵站或冷凝水收集器。

　　6.3.3 不銹鋼管道應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》GB 50236的要求采用氬弧焊焊接連接，焊接時(shí)管內(nèi)應(yīng)充氬氣保護(hù)，直至焊接、吹掃、冷卻完畢后停止充氣。

　　6.3.4 有接地要求的管道，法蘭間必須接有多芯導(dǎo)電跨線。

　　6.3.5 穿過圍護(hù)結(jié)構(gòu)進(jìn)入潔凈室的氣體管道，應(yīng)設(shè)套管，套管內(nèi)管材不應(yīng)有焊縫與接頭，管材與套管間應(yīng)用不燃材料填充并密封，套管兩端應(yīng)有不銹鋼盤型封蓋。

　　6.3.6 高純氣體管道的安裝，除應(yīng)符合以上有關(guān)條款規(guī)定外，還應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 經(jīng)脫脂或拋光處理的不銹鋼管，安裝前應(yīng)采取保護(hù)措施，防止二次污染。

　　2 管道預(yù)制、分段組裝作業(yè)，不得在露天環(huán)境中進(jìn)行。

　　3 分段預(yù)制或組裝的管段完成后兩端應(yīng)用膜、板等封閉。

　　4 高純氣體管道為無縫銅管時(shí)，應(yīng)采用承插式硬釬焊焊接。

　　焊接紫銅管時(shí)應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《磷銅釬料》GB/T 6418要求選用磷銅釬料;焊接紫銅與黃銅管時(shí)宜按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《銀基釬料》GB10046要求，選用HL304含銀量為50%的銀基釬料。管內(nèi)應(yīng)通入與工藝氣體同等純度的氮?dú)庾鳛楸Ｗo(hù)氣體并吹除，不宜用沾水紡織材料擦拭。

　　5 高純氣體管道如無法避免用螺紋連接時(shí)，官在銅與銅、銅與銅合金附件外螺紋上均勻掛錫，非氧氣管道宜采用聚四氟乙烯帶纏繞管口螺紋。

　　6 不銹鋼管、銅管應(yīng)冷彎，彎管半徑宜大于等于5倍管材外徑;管壁不得起皺。

　　7 高純氣體管道為聚偏二氟乙烯(PVDF)管時(shí)，應(yīng)采用自動(dòng)或半自動(dòng)熱焊機(jī)焊接連接。兩管對(duì)接面錯(cuò)邊不應(yīng)大于1mm。

　　不同壁厚的管子不得對(duì)焊，熱焊接連接時(shí)應(yīng)采取保護(hù)環(huán)境和人員安全的措施。

　　8 管道系統(tǒng)支架間距應(yīng)小于普通氣體管道的支架間距，并應(yīng)采用吊架、彈簧支架、柔性支撐等固定方式。應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》GB 50235的要求，在不銹鋼管與鋼

　　支架之間墊入不銹鋼或氯離子含量不超過50×10-6(50ppm)的非金屬墊層。

　　9 潔凈室內(nèi)高純氣體與高干燥度氣體管道應(yīng)為無坡度敷設(shè)，不考慮排水功能，終端應(yīng)設(shè)放氣管。

　　6.3.7 醫(yī)用氣體管道安裝后應(yīng)加色標(biāo)。不同氣體管道上的接口應(yīng)專用，不得通用。

　　6.4 管道系統(tǒng)的強(qiáng)度試驗(yàn)

　　6.4.1 可燃?xì)怏w和高純氣體等特殊氣體閥門安裝前應(yīng)逐個(gè)進(jìn)行強(qiáng)度和嚴(yán)密性試驗(yàn)。管路系統(tǒng)安裝完畢后應(yīng)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行強(qiáng)度試驗(yàn)。強(qiáng)度試驗(yàn)應(yīng)采用氣壓試驗(yàn)，并應(yīng)采取嚴(yán)格的安全措施，不得采用水壓試驗(yàn)。當(dāng)管道的設(shè)計(jì)壓力大于0.6MPa時(shí)，應(yīng)按設(shè)計(jì)文件規(guī)定進(jìn)行氣壓試驗(yàn)。

　　6.4.2 氣壓試驗(yàn)應(yīng)采用潔凈度與潔凈室等級(jí)匹配的惰性氣體或壓縮空氣進(jìn)行，試驗(yàn)壓力為設(shè)計(jì)壓力的1.15倍。

　　試驗(yàn)時(shí)應(yīng)逐步緩慢增加壓力，當(dāng)壓力升至試驗(yàn)壓力50%時(shí)，如未發(fā)現(xiàn)異常與泄漏，繼續(xù)按試驗(yàn)壓力的10%逐級(jí)升壓，每級(jí)穩(wěn)壓3min，直至試驗(yàn)壓力。穩(wěn)壓10min后，再將壓力降至設(shè)計(jì)壓力，停壓時(shí)間以查漏工作的需要而定，以發(fā)泡劑檢驗(yàn)無泄漏為合格。

　　6.4.3 真空管道的氣壓試驗(yàn)壓力應(yīng)為0.2MPa。

　　6.4.4 當(dāng)管道輸送的介質(zhì)為有毒氣體、腐蝕性氣體、可燃?xì)怏w時(shí)，應(yīng)進(jìn)行最高工作壓力下的泄漏試驗(yàn)。對(duì)管段之間焊接接頭、管路的分支接頭、閥門的填料、法蘭或螺紋的連接處，包括全部金屬隔膜閥、波紋管閥、調(diào)節(jié)閥、放空閥、排氣閥等，應(yīng)以發(fā)泡劑檢驗(yàn)不泄漏為合格。

　　經(jīng)過氣壓試驗(yàn)合格的系統(tǒng)，試驗(yàn)后未經(jīng)拆卸，該管路系統(tǒng)可不再進(jìn)行泄漏試驗(yàn)。

　　6.4.5 真空管道在強(qiáng)度試驗(yàn)與泄漏試驗(yàn)合格后，應(yīng)在系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)前，以設(shè)計(jì)壓力進(jìn)行真空度試驗(yàn)。試驗(yàn)宜在氣溫變化較小的環(huán)境中進(jìn)行，試驗(yàn)時(shí)間應(yīng)為24h，增壓率不應(yīng)大于3%。

　　6.5 管道系統(tǒng)的吹除

　　6.5.1 氣體管道各項(xiàng)試驗(yàn)合格后，應(yīng)使用與潔凈室潔凈度級(jí)別匹配的潔凈無油壓縮空氣或高純氮?dú)獯党軆?nèi)污物，吹除氣流流速應(yīng)大于20m/s，直至末端排出氣體在白紙上無污痕為合格。

　　6.5.2 管道吹除合格后，應(yīng)再以實(shí)際輸送的氣體，在工作壓力下，對(duì)管道系統(tǒng)進(jìn)行吹除，應(yīng)無異常聲音和振動(dòng)為合格。輸送可燃?xì)怏w的管道在啟用之前，應(yīng)用惰性氣體將管內(nèi)原有氣體置換。

　　6.6 氣體供給裝置

　　6.6.1 瓶裝氣體供給裝置應(yīng)安裝在使用潔凈室之外的房間，兩室之間穿墻的管道應(yīng)加套管，并應(yīng)在管道與套管間隙填滿不燃材料并加密封。

　　6.6.2 裝置出口管道上的安全閥在安裝前應(yīng)進(jìn)行閥門開啟檢查。開啟壓力、密封壓力和回座壓力應(yīng)符合安全閥性能要求。

　　6.6.3 集中式真空吸引裝置應(yīng)安裝在遠(yuǎn)離潔凈室的建筑物外，安裝時(shí)應(yīng)采取有效隔聲防振措施，與其連接的彎管半徑不應(yīng)小于5倍管外徑，過濾清除設(shè)施應(yīng)安在排氣口。

　　6.7 分項(xiàng)驗(yàn)收

　　6.7.1 氣體系統(tǒng)分項(xiàng)驗(yàn)收應(yīng)首先檢查以下各項(xiàng)：

　　1 各種成品應(yīng)有產(chǎn)品合格證，材料應(yīng)有質(zhì)量證明文件。

　　2 實(shí)際使用的管道材料和規(guī)格應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。

　　3 系統(tǒng)安裝應(yīng)完整、正確，連接應(yīng)可靠。除樓層或區(qū)域總管與所安裝系統(tǒng)的供氣閥門(或供氣管)不連接外，其他管路、閥門和附件都應(yīng)安裝連接完畢。

　　4 不同系統(tǒng)的管道應(yīng)有明顯的識(shí)別標(biāo)志，需裝拆、檢修、維護(hù)的地方必須有識(shí)別標(biāo)志，每個(gè)支、吊架附近也應(yīng)有識(shí)別標(biāo)志。

　　6.7.2 氣體系統(tǒng)的分項(xiàng)驗(yàn)收應(yīng)包括以下主控項(xiàng)目：

　　1 所有氣體管道都應(yīng)進(jìn)行氣密檢查，檢查用壓力表精度等級(jí)不應(yīng)低于1.5級(jí)，指示壓力應(yīng)在表量程1/3～2/3之間。

　　檢驗(yàn)方法：檢查記錄。

　　檢驗(yàn)數(shù)量：全部系統(tǒng)管道。

　　2 高純氣體管道安裝完畢應(yīng)徹底吹除，并對(duì)排氣潔凈度、干燥度和輸送氣體純度進(jìn)行檢查。

　　試驗(yàn)介質(zhì)為管道實(shí)際輸送的氣體或氮?dú)?。試?yàn)介質(zhì)的潔凈度以微粒數(shù)衡量，干燥度以水痕量濃度衡量，純度以氧、二氧化碳痕量濃度衡量。

　　檢驗(yàn)方法：檢查有資質(zhì)的檢驗(yàn)單位的檢驗(yàn)報(bào)告。

　　檢驗(yàn)數(shù)量：全部檢驗(yàn)報(bào)告。

　　3 按設(shè)計(jì)要求做管材樣板檢查的，管材軸向剖面長(zhǎng)度不應(yīng)小于60mm。

　　檢驗(yàn)方法：檢查記錄和樣板。

　　檢驗(yàn)數(shù)量：抽查30%。

　　4 對(duì)輸送壓力大于等于0.5MPa的可燃?xì)怏w、有毒氣體的管道焊接處應(yīng)進(jìn)行抽樣射線照相檢查，并應(yīng)符合設(shè)計(jì)的焊縫等級(jí)要求。

　　檢驗(yàn)方法：X射線無破損檢測(cè)。

　　檢驗(yàn)數(shù)量：全部。

　　5 氣體管道應(yīng)在氣密性檢驗(yàn)合格后進(jìn)行泄漏率檢查，以設(shè)計(jì)壓力保持24h后泄漏率不超過0.5%為合格。允許堵漏后再試驗(yàn)。

　　泄漏率按下式計(jì)算：