2 術(shù)語(yǔ)

　　2.0.1 潔凈室 clean room

　　空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。

　　2.0.2 潔凈區(qū) clean zone

　　空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子?？臻g內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式。

　　2.0.3 移動(dòng)式潔凈小室 mobile clean booth

　　可整體移動(dòng)位置的小型潔凈室。有剛性和柔性材料圍擋兩類。

　　2.0.4 人身凈化用室 room for cleaning human body

　　人員在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。

　　2.0.5 物料凈化用室 room for cleaning material

　　物料在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。

　　2.0.6 粒徑 particle size

　　給定的粒徑測(cè)定儀所顯示的、與被測(cè)粒子的響應(yīng)量相當(dāng)?shù)那蛐误w直徑。

　　2.0.7 懸浮粒子 airborne particle

　　用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1μm～5μm的固體和液體粒子，但不適用于表征懸浮粒子的物理性、化學(xué)性、放射性及生命性。

　　2.0.8 超微粒子 ultrafine particle

　　具有當(dāng)量直徑小于0.1μm的粒子。

　　2.0.9 微粒子 microparticle

　　具有當(dāng)量直徑大于5μm的粒子。

　　2.0.10 粒徑分布 particle size distribution

　　粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數(shù)。

　　2.0.11 含塵濃度 particle concentration

　　單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。

　　2.0.12 潔凈度 cleanliness

　　以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數(shù)量來(lái)區(qū)分的潔凈程度。

　　2.0.13 氣流流型 air flow pattern

　　對(duì)室內(nèi)空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布進(jìn)行合理設(shè)計(jì)。

　　2.0.14 單向流 unidirectional airflow

　　通過(guò)潔凈室(區(qū))整個(gè)斷面的風(fēng)速穩(wěn)定、大致平行的受控氣流。

　　2.0.15 垂直單向流 vertical unidirectional flow

　　與水平面垂直的單向流。

　　2.0.16 水平單向流 horizontal unidirectional flow

　　與水平面平行的單向流。

　　2.0.17 非單向流 non-unidirectional flow

　　送入潔凈室(區(qū))的送風(fēng)以誘導(dǎo)方式與室(區(qū))內(nèi)空氣混合的氣流分布類型。

　　2.0.18 混合流 mixed airflow

　　單向流和非單向流組合的氣流。

　　2.0.19 潔凈工作區(qū) clean working area

　　除工藝特殊要求外，指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8m～1.5m的區(qū)域。

　　2.0.20 空氣吹淋室 air shower

　　利用高速潔凈氣流吹落并清除進(jìn)入潔凈室人員表面附著粒子的小室。

　　2.0.21 氣閘室 air lock

　　設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。

　　2.0.22 傳遞窗 pass box

　　在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的窗口。兩側(cè)裝有不能同時(shí)開啟的窗扇。

　　2.0.23 潔凈工作臺(tái) clean bench

　　能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺(tái)。

　　2.0.24 潔凈工作服 clean working garment

　　為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。

　　2.0.25 空態(tài) as-built

　　設(shè)施已經(jīng)建成，其服務(wù)動(dòng)力公用設(shè)施區(qū)接通并運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員的狀態(tài)。

　　2.0.26 靜態(tài) at-rest

　　設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝好，并按供需雙方商定的狀態(tài)運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)人員的狀態(tài)。

　　2.0.27 動(dòng)態(tài) operational

　　設(shè)施以規(guī)定的方式運(yùn)行，有規(guī)定的人員在場(chǎng)，并在商定的狀態(tài)下進(jìn)行工作。

　　2.0.28 已裝過(guò)濾器檢漏 installed filter system leakage test

　　為確認(rèn)過(guò)濾器安裝良好、沒(méi)有向潔凈室(區(qū))的旁路滲漏，過(guò)濾器及其框架均無(wú)缺陷和滲漏所做的檢測(cè)。

　　2.0.29 高效空氣過(guò)濾器 high efficiency particulate air filter (HEPA)

　　在額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑大于或等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上的空氣過(guò)濾器。

　　2.0.30 超高效空氣過(guò)濾器 ultra low penetration air filter (ULPA)

　　在額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑0.1μm～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上的空氣過(guò)濾器。

　　2.0.31 純水 purity water

　　對(duì)電解質(zhì)雜質(zhì)含量和非電解質(zhì)雜質(zhì)含量均有要求的水。

　　2.0.32 防靜電環(huán)境 antistatic environment

　　能防止靜電危害的特定環(huán)境，在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電，靜電產(chǎn)生后易于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。

　　2.0.33 表面電阻 surface resistance

　　在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過(guò)兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。

　　2.0.34 體積電阻 volume resistance

　　在材料的相對(duì)兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過(guò)兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。該電流不包括沿材料表面的電流。

　　2.0.35 表面電阻率 surface resistivity

　　在材料表面層的直流電場(chǎng)強(qiáng)度與穩(wěn)態(tài)電流線密度之商。

　　2.0.36 體積電阻率 volume resistivity

　　在材料內(nèi)層的直流電場(chǎng)強(qiáng)度與穩(wěn)態(tài)電流密度之商。

　　2.0.37 專用消防口 fire-fight access

　　消防人員為滅火而進(jìn)入建筑物的專用入口，平時(shí)封閉，使用時(shí)由消防人員從室外打開。

　　2.0.38 自凈時(shí)間 recovery time of cleanliness

　　潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運(yùn)行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級(jí)所需的時(shí)間。

　　2.0.39 生物潔凈室 biological clean room

　　潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規(guī)定值內(nèi)的限定空間。

　　2.0.40 浮游菌 airborne viable bacteria

　　懸浮在空氣中的帶菌微粒。

　　2.0.41 沉降菌 settlemen bacteria

　　降落在培養(yǎng)皿上的帶菌微粒。

　　2.0.42 U描述符 U descriptor

　　每立方米空氣中包括超微粒子的實(shí)測(cè)或規(guī)定濃度。U描述符不能規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級(jí)，但它可與懸浮粒子潔凈度等級(jí)同時(shí)引述，也可以單獨(dú)引述。

　　2.0.43 M描述符 M descriptor

　　每立方米空氣中實(shí)測(cè)的或規(guī)定的微粒子。M描述符不能規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級(jí)，但它可與懸浮粒子潔凈度等級(jí)同時(shí)引述，也可以單獨(dú)引述。

　　2.0.44 工業(yè)管道 industrial pipe

　　潔凈廠房?jī)?nèi)，除給水排水管道和凈化空調(diào)、采暖通風(fēng)管道外的氣體、液體管道，統(tǒng)稱為工業(yè)管道。