13 防靜電與接地設計

　　13.1 一般規(guī)定

　　13.1.1 潔凈廠房應根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設置防靜電環(huán)境。防靜電環(huán)境設計應滿足抑制或減少靜電的產(chǎn)生，以及將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全、有效地排除的要求。

　　13.1.2 防靜電環(huán)境設計應按電子產(chǎn)品或生產(chǎn)工序(設備)進行分級。防靜電環(huán)境內(nèi)靜電電位絕對值應小于電子產(chǎn)品的靜電電位安全值。防靜電環(huán)境設計應分為三級，防靜電環(huán)境設計分級適用場所應符合表13.1.2的要求。

　　13.2 防靜電措施

　　13.2.1 潔凈廠房防靜電環(huán)境中，防靜電地面的面層結構和材料應符合下列要求：

　　1 防靜電地面面層的選擇，應滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求;

　　2 防靜電地面的表層應采用靜電耗散性材料，靜電耗散性材料表面電阻率應為2.5×104～1×109Ω;

　　3 防靜電地面應設置導靜電泄放設施和接地連接，其地面對地泄放電阻值應為1×105～1×108Ω。

　　13.2.2 潔凈廠房防靜電環(huán)境的吊頂、墻面和柱面的裝飾設計，應符合下列要求：

　　1 一級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面應采用導靜電型。導靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應為2.5×104～1×106Ω，摩擦起電電壓不應大于100V，靜電半衰期不應大于0.1s;

　　2 二級防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對地電阻應為1×106～1×109Ω，摩擦起電電壓不應大于200V，靜電半衰期不應大于1s，但軟簾的摩擦起電電壓不應大于300V;

　　3 三級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料，頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面，應符合本條第2款的要求;選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應大于1000V。

　　13.2.3 潔凈廠房防靜電環(huán)境的門窗設計，應符合下列要求：

　　1 應選用靜電耗散材料制作門窗或采用耗散材料貼面;

　　2 金屬門窗表面應涂刷靜電耗散性涂層，并應接地;

　　3 室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時，玻璃表面應粘貼靜電耗散性透明薄膜或噴涂靜電耗散性涂層。

　　13.2.4 潔凈廠房防靜電環(huán)境的裝修設計應符合下列要求：

　　1 各類裝修材料應具有表面靜電耗散性能，不得使用未經(jīng)表面改性處理的高分子絕緣的裝飾材料;

　　2 各類裝修的飾面應平整光滑。

　　13.2.5 潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調系統(tǒng)送風口和風管，應選用導電材料制作，并應接地。

　　13.2.6 潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質時，應在其表面安裝金屬網(wǎng)，并應將其接地。當使用導電性橡膠軟管時，應在軟管上安裝與其緊密結合的金屬導體，并應采用接地引線與其可靠連接接地。

　　13.2.7 潔凈廠房防靜電環(huán)境中，應根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設置靜電消除器、防靜電安全工作臺。

　　13.3 防靜電接地

　　13.3.1 潔凈廠房內(nèi)金屬物體包括潔凈室(區(qū))的墻面、門窗、吊頂?shù)慕饘俟羌?，應與接地系統(tǒng)做可靠連接，導靜電地面、活動地板、工作臺面、座椅等應做靜電接地。

　　13.3.2 靜電接地的連接線應有足夠的機械強度和化學穩(wěn)定性，其主干線截面不應小于95mm2，支線最小截面應為2.5mm2。

　　13.3.3 與人體接觸的靜電接地應串接限流電阻，限流電阻的阻值宜為1MΩ。

　　13.3.4 對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中產(chǎn)生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道，應采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災危險的設備、管道應符合現(xiàn)行國家標準《爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB 50058的有關規(guī)定。