7 空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計

　　7.1 一般規(guī)定

　　7.1.1 潔凈廠房內(nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和潔凈室型式確定。

　　7.1.2 氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點的不同要求選用。

　　7.1.3 有下列情況之一者，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置：

　　1 運行班次或使用時間不同;

　　2 生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序、設(shè)備交叉污染，對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響;

　　3 對溫、濕度控制要求差別大;

　　4 潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊;

　　5 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng);

　　6 系統(tǒng)風(fēng)量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。

　　7.1.4 潔凈室(區(qū))內(nèi)的溫度、相對濕度應(yīng)符合本規(guī)范第3.2.3條的規(guī)定。

　　7.1.5 潔凈室(區(qū))內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

　　7.1.6 潔凈室(區(qū))與周圍的空間應(yīng)保持一定的靜壓差，靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 各潔凈室(區(qū))與周圍空間的靜壓差應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定;

　　2 不同等級的潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa;

　　3 潔凈室(區(qū))與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa;

　　4 潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。

　　7.1.7 潔凈室(區(qū))維持靜壓差值所需的壓差風(fēng)量，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。

　　7.1.8 送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉聯(lián)鎖、控制要求，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

　　7.1.9 非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進(jìn)行凈化處理。

　　7.1.10 潔凈室(區(qū))的清掃方式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級等因素確定。潔凈室(區(qū))宜采用移動式高效真空吸塵器。對于空氣潔凈度等級為1～5級的潔凈室宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)，潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應(yīng)暗敷。

　　7.2 氣流流型和送風(fēng)量

　　7.2.1 氣流流型的設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：

　　1 氣流流型應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級的要求?？諝鉂崈舳鹊燃墳?～5級時，應(yīng)采用單向流或混合流;空氣潔凈度等級為6～9級時，宜采用非單向流;

　　2 潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和工作人員健康的要求。

　　7.2.2 潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

　　7.2.3 潔凈室(區(qū))所需的滿足空氣潔凈度等級的潔凈送風(fēng)量和氣流流型，宜按表7.2.3計算。

　　7.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)

　　7.3.1 潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。

　　凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點確定。潔凈室(區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)，

　　7.3.2 潔凈廠房的潔凈室(區(qū))送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機過濾器機組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較，采用運行經(jīng)濟、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。

　　7.3.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的室外吸入口位置，應(yīng)遠(yuǎn)離本建筑或其他建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。

　　7.3.4 多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時運行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)，應(yīng)集中處理。

　　7.3.5 凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)合理利用回風(fēng)，但下列情況不得回風(fēng)：

　　1 在生產(chǎn)過程中向車間內(nèi)散發(fā)的有害物質(zhì)超過規(guī)定時;

　　2 采用局部處理不能滿足衛(wèi)生要求時;

　　3 對其他工序有危害或不能避免交叉污染時。

　　7.3.6 凈化空調(diào)系統(tǒng)需設(shè)置電加熱時，應(yīng)選用不產(chǎn)塵的電加熱器，且應(yīng)布置在高效過濾器的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)采取安全保護措施。

　　7.3.7 凈化空調(diào)系統(tǒng)的電加濕器應(yīng)采取安全保護措施。

　　7.3.8 根據(jù)氣象條件，存在冷凍可能的地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)采取防凍保護措施。

　　7.4 空氣凈化設(shè)備

　　7.4.1 空氣過濾器的選用和布置應(yīng)符合下列要求：

　　1 空氣過濾器應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級選用;

　　2 空氣過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量;

　　3 中效(高中效)空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段;

　　4 高效(亞高效)空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端;超高效空氣過濾器應(yīng)設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端;

　　5 同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應(yīng)相近;

　　6 同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的使用風(fēng)量與額定風(fēng)量之比值宜相近;

　　7 對化學(xué)污染物有控制要求的潔凈室(區(qū))，在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應(yīng)根據(jù)環(huán)境條件設(shè)置化學(xué)過濾器或其他去除裝置;

　　8 高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應(yīng)采用不燃或難燃材料制作。

　　7.4.2 風(fēng)機過濾器機組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：

　　1 應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級和送風(fēng)量選用;

　　2 應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置;

　　3 終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定;

　　4 送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié);

　　5 應(yīng)便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應(yīng)滿足檢修要求。

　　7.4.3 層流罩的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：

　　1 潔凈室(區(qū))內(nèi)等于或嚴(yán)于5級的局部凈化區(qū)域宜采用層流罩;

　　2 層流罩的形式和進(jìn)風(fēng)方式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝或設(shè)備需要選用;

　　3 終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定;

　　4 安裝方式不應(yīng)影響生產(chǎn)操作。

　　7.4.4 微環(huán)境裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：

　　1 當(dāng)生產(chǎn)工藝或設(shè)備對空氣潔凈度等級、外擾或溫度、相對濕度有較高要求，且所控區(qū)域不大時，宜采用微環(huán)境裝置;

　　2 微環(huán)境裝置宜與生產(chǎn)工藝設(shè)備配套;

　　3 在不影響工藝操作的前提下，應(yīng)具有可靠的密閉性，內(nèi)外表面應(yīng)平整、光滑;

　　4 圍擋構(gòu)造、材料的選用應(yīng)方便生產(chǎn)操作。

　　7.4.5 干表冷器的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：

　　1 安裝位置、外形尺寸應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的平面和空間布置確定;

　　2 迎面風(fēng)速、結(jié)構(gòu)形式應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))冷負(fù)荷、風(fēng)機過濾器機組所提供的機外余壓確定;

　　3 冷凍水進(jìn)水溫度，宜高于潔凈室(區(qū))內(nèi)空氣的露點溫度;

　　4 應(yīng)設(shè)置排水設(shè)施。

　　7.4.6 凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理機組的選用和布置，應(yīng)符合下列要求：

　　1 應(yīng)有良好的氣密性，漏風(fēng)率不得大于1%;

　　2 整體結(jié)構(gòu)應(yīng)有足夠的強度和剛度，內(nèi)表面應(yīng)平整、光滑，外表面不應(yīng)結(jié)露;

　　3 布置應(yīng)整齊，并應(yīng)便于運行和維修;當(dāng)多套空氣處理機組為同一潔凈室(區(qū))服務(wù)時，宜選用相同規(guī)格的空氣處理機組;

　　4 送風(fēng)機宜采取變頻調(diào)速措施。送風(fēng)機可按凈化空調(diào)系統(tǒng)的總風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇。計算系統(tǒng)總阻力時，中效(高中效)、高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的1.5～2.0倍取值;

　　5 應(yīng)設(shè)置排水裝置。

　　7.5 采暖、通風(fēng)

　　7.5.1 空氣潔凈度等級嚴(yán)于8級的潔凈室(區(qū))不應(yīng)采用散熱器采暖。

　　7.5.2 潔凈廠房內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備和輔助設(shè)備，應(yīng)設(shè)置局部排風(fēng)裝置，排風(fēng)罩宜為密閉式。局部排風(fēng)系統(tǒng)單獨設(shè)置的要求，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

　　7.5.3 潔凈室(區(qū))的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：

　　1 應(yīng)防止室外氣流倒灌;

　　2 含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按其物理化學(xué)性質(zhì)采取相應(yīng)防火防爆措施;

　　3 局部排風(fēng)系統(tǒng)排出的有害氣體，當(dāng)其有害物質(zhì)濃度超過排放標(biāo)準(zhǔn)時，應(yīng)采取有效處理措施。排氣管高度和排放速率應(yīng)滿足國家現(xiàn)行有關(guān)排放標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定;

　　4 對含有水蒸氣或凝結(jié)物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置坡度及排放口;

　　5 排風(fēng)介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機和處理設(shè)備，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源;

　　6 排風(fēng)介質(zhì)中含易燃、易爆等危險物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源;

　　7 排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，其風(fēng)量應(yīng)按在正常運行和事故情況下，風(fēng)管內(nèi)爆炸危險氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20%計;

　　8 排除有爆炸危險氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置消除靜電的接地裝置。

　　7.5.4 對排風(fēng)系統(tǒng)中含有毒性、爆炸危險性物質(zhì)的排氣管路，應(yīng)保持相對于路由區(qū)域一定的負(fù)壓值。

　　7.5.5 凈鞋室、更外衣室、盥洗室和廁所等生產(chǎn)輔助房間，應(yīng)采取通風(fēng)措施。

　　7.5.6 潔凈室(區(qū))事故排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 事故排風(fēng)區(qū)域的換氣次數(shù)不應(yīng)小于12次/h;

　　2 應(yīng)設(shè)置自動和手動控制開關(guān)，手動控制開關(guān)應(yīng)分別設(shè)置在潔凈室(區(qū))和潔凈室(區(qū))外便于操作的地點;

　　3 應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。

　　7.6 排 煙

　　7.6.1 潔凈廠房中的疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機械排煙設(shè)施。

　　7.6.2 潔凈廠房排煙設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。當(dāng)同一防火分區(qū)的丙類潔凈室(區(qū))人員密度小于0.02人/m2，且安全疏散距離小于80m時，潔凈室(區(qū))可不設(shè)機械排煙設(shè)施。

　　7.6.3 機械排煙系統(tǒng)宜與通風(fēng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)分開設(shè)置;當(dāng)合用時，應(yīng)采取防火安全措施，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

　　7.6.4 機械排煙系統(tǒng)的風(fēng)量、排煙口位置、風(fēng)機的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

　　7.7 風(fēng)管、附件

　　7.7.1 凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)吸入管應(yīng)設(shè)置防倒灌裝置;送、回風(fēng)管宜設(shè)置調(diào)節(jié)閥。

　　7.7.2 凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管的防火閥的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

　　含有可燃、有毒氣體或化學(xué)品的排風(fēng)管道，不得設(shè)置熔片式防火閥。

　　7.7.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管、配件、過濾器以及密封材料等，應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈度要求確定，并不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。

　　7.7.4 潔凈室(區(qū))內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管、閥門、附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)排除氣體的物理化學(xué)性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件確定，并不得與所輸送介質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或引起安全事故的發(fā)生。

　　7.7.5 凈化空調(diào)系統(tǒng)的送、回風(fēng)總管上，應(yīng)采取消聲措施，并應(yīng)滿足潔凈室(區(qū))內(nèi)噪聲控制的要求。潔凈室(區(qū))排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)采取消聲措施，并應(yīng)滿足室內(nèi)外噪聲標(biāo)準(zhǔn)的要求。

　　7.7.6 在集中設(shè)置的空氣過濾器的前后，應(yīng)設(shè)置測壓孔或指針式壓差計。在新風(fēng)管、送風(fēng)、回風(fēng)總管段上，應(yīng)設(shè)置風(fēng)量測定孔。

　　7.7.7 風(fēng)管附件及輔助材料的防火性能，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 凈化空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作，但接觸腐蝕性介質(zhì)的風(fēng)管和柔性接頭可采用難燃防腐材料制作;

　　2 排煙系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作;

　　3 附件、保溫材料和消聲材料等均應(yīng)采用不燃材料或難燃材料。