8.1.1、8.1.2 本次修訂的理由是：

　　(1)  由于現(xiàn)有潔凈廠房?jī)?nèi)，除給排水管道外的工業(yè)管道還包括各類氣體輸送、液體輸送和真空管道等，所以將本章擴(kuò)大更名為“工業(yè)管道”。據(jù)了解，目前潔凈廠房?jī)?nèi)的工業(yè)管道干管、支干管均基本敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或特殊的管廊內(nèi)，這種方式既可滿足潔凈室(區(qū))生產(chǎn)工藝的需要，符合潔凈室(區(qū))布置和潔凈、美觀的要求，又有利于各類管道的安裝、維護(hù)。

　　(2)  據(jù)調(diào)查了解，目前在潔凈室(區(qū))內(nèi)的易燃、易爆、有毒物質(zhì)的輸送管道大多采取明敷的方式，即包括這類物質(zhì)輸送管道的干管、支干管和接至產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備的支管均采取明敷的方式，以便容易發(fā)現(xiàn)這類物質(zhì)在輸送過(guò)程中可能發(fā)生的泄漏，有利于即時(shí)采取搶救措施。但是由于各種原因，并不是所有的潔凈室都采用明敷，也有的工程在采取必要的安全保護(hù)措施后，將這類物質(zhì)的輸送干管、支干管敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，此時(shí)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)應(yīng)設(shè)置可靠的氣體泄漏報(bào)警和機(jī)械排風(fēng)措施，一旦此類管道發(fā)生易燃、易爆、有毒物質(zhì)泄漏至技術(shù)夾層、技術(shù)夾道后，當(dāng)超過(guò)規(guī)定的濃度限值時(shí)，氣體報(bào)警裝置發(fā)出聲光信號(hào)，并自動(dòng)連鎖開(kāi)啟事故排風(fēng)機(jī)，避免事故的發(fā)生，為此作了第3、4款的規(guī)定，第4款為強(qiáng)制性條文。

　　(3)  原規(guī)范規(guī)定的“管道及管架宜設(shè)裝飾面板”，由于“裝飾面板”式樣不明確，在實(shí)施中形式多樣，且不統(tǒng)一，有的采用裝飾不銹鋼套管，易于清潔、整齊光滑，有的僅為“象征性”措施，不能達(dá)到潔凈、美觀的目的，甚至不易清潔、維護(hù)，為此本次修訂取消了此規(guī)定。

　　8.1.3  工業(yè)管道的管徑通常應(yīng)按輸送物質(zhì)的物化性質(zhì)和具體工程中所輸送物質(zhì)的流量、溫度、壓力和流速確定。其中流量、壓力、溫度是依據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝確定，但管內(nèi)物料流速應(yīng)按其物化性質(zhì)、狀態(tài)合理確定。

　　各種物料在輸送過(guò)程中應(yīng)盡量減少污染，使停止使用時(shí)的物料殘留盡量少，并使管道系統(tǒng)易于吹除，因此各類工業(yè)管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短，避免“盲管”等不易吹除的死角。

　　由于各類工業(yè)管道在投入使用前或檢修前、后均應(yīng)進(jìn)行吹除、排放達(dá)到預(yù)期潔凈度或純度要求，為此各工業(yè)管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口、放凈口，以確保各系統(tǒng)的安全、穩(wěn)定運(yùn)行。為進(jìn)行物料的化驗(yàn)、分析或吹除效果的取樣，相應(yīng)的管道系統(tǒng)還應(yīng)設(shè)置取樣口。

　　鑒于各類工業(yè)管道輸送的物料品種較多、純度不同，不能做統(tǒng)一的強(qiáng)制性規(guī)定，為此將本條改為推薦性條文。

　　8.1.4  本條規(guī)定工業(yè)管道穿過(guò)潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫，是便于檢查焊縫的焊接質(zhì)量。為保持潔凈室的空氣潔凈度和室內(nèi)正壓規(guī)定，管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施，密封材料常用硅橡膠等填堵。

　　8.1.5  可燃?xì)怏w(包括城鎮(zhèn)燃?xì)狻⑻烊粴?、氫氣?和氧氣管道系統(tǒng)發(fā)生事故或氣體純度不符合要求時(shí)，需吹除置換，這些氣體吹除置換時(shí)不能排入室內(nèi)，所以在管道末端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)放散管，以便將氣體排入大氣。放散管的排放口應(yīng)高出屋脊1m，以防止由于風(fēng)向的影響使排放的氣體倒灌回室內(nèi)。本條涉及可燃?xì)怏w等管道系統(tǒng)的運(yùn)行安全，為此作為強(qiáng)制性條文規(guī)定。

　　8.1.6  對(duì)氣體純度要求嚴(yán)格的生產(chǎn)工藝，如電子工業(yè)中電真空器件、半導(dǎo)體器件、特種半導(dǎo)體器件、集成電路等生產(chǎn)工藝，從材料制備到器件制造、封裝、性能測(cè)試等工藝過(guò)程中各種高純氣中的雜質(zhì)含量將直接影響產(chǎn)品的合格率，如氫氣用于硅外延時(shí)，在高溫下氫中的微量氧和水汽易與硅作用生成二氧化硅而影響完整結(jié)晶生長(zhǎng)，致使外延片的堆垛層錯(cuò)密度高，甚至變成多晶。

　　氮?dú)庠跀U(kuò)散過(guò)程中作為運(yùn)載氣時(shí)，如果含有氧和水汽易使硅片表面氧化。故對(duì)凈化裝置的設(shè)置應(yīng)根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度的要求，選擇相應(yīng)的氣體凈化裝置。

　　為保證使用點(diǎn)氣體純度符合要求，規(guī)定氣體終端凈化裝置宜設(shè)在鄰近用氣點(diǎn)處以縮短高純氣體管道的長(zhǎng)度，避免污染，氣體終端凈化裝置應(yīng)該是距離用氣點(diǎn)越近越好，但往往受各種條件限制，難以實(shí)現(xiàn)，為此條文規(guī)定采用“宜”。

　　8.1.7  在各種生產(chǎn)工藝過(guò)程中不僅對(duì)各種氣體純度要求十分嚴(yán)格，而且對(duì)氣體中含塵量也有相應(yīng)嚴(yán)格的要求，有關(guān)專家指出，高純氣體中含塵量比其純度在一定意義上顯得更為重要，因此規(guī)定了根據(jù)不同的生產(chǎn)工藝要求設(shè)置相應(yīng)精度的氣體終端過(guò)濾器，并規(guī)定應(yīng)設(shè)在靠近用氣點(diǎn)。

　　在潔凈廠房?jī)?nèi)一般設(shè)置預(yù)過(guò)濾器和高精度終端氣體過(guò)濾器。預(yù)過(guò)濾器是設(shè)在潔凈廠房氣體入口室的干管上，作為預(yù)過(guò)濾，以減輕終端過(guò)濾器的負(fù)擔(dān)，并延長(zhǎng)其使用壽命。

　　預(yù)過(guò)濾器的濾材通常采用多孔陶瓷管、多孔鋼玉管、微孔玻璃制品、微孔泡沫塑料、粉末冶金管、聚丙腈纖維等。

　　高精度終端氣體過(guò)濾器是設(shè)在靠近用氣設(shè)備的支管上。其濾材采用超細(xì)玻璃棉高效濾紙、醋酸纖維素濾膜、粉末金屬材料等。

　　8.1.8  進(jìn)入潔凈廠房的氣體、液體管道種類根據(jù)生產(chǎn)工藝的不同確定，一般各種管道上均設(shè)有總控制閥門，壓力表、流量計(jì)、過(guò)濾器、調(diào)壓裝置、在線分析儀等，為安全可靠運(yùn)行和方便管理，應(yīng)將這些控制裝置、附件集中設(shè)置在氣體、液體入口室或分配室內(nèi)。

　　對(duì)于甲、乙類火災(zāi)危險(xiǎn)生產(chǎn)用氣體、液體入口室或分配室內(nèi)，可能有可燃?xì)怏w、液體管道如氫氣、燃?xì)獾葧r(shí)，在與潔凈廠房毗連布置時(shí)，應(yīng)按本條第1款的規(guī)定實(shí)施，據(jù)調(diào)查，現(xiàn)有的這類潔凈廠房大多均按此類要求進(jìn)行布置，設(shè)在潔凈廠房邊跨靠外墻的房間內(nèi)，并應(yīng)以耐火極限大于3.0h的隔墻與相鄰房間分隔;還應(yīng)設(shè)置良好的通風(fēng)措施，及時(shí)排除可能泄漏的可燃?xì)怏w等，并應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB  50016的規(guī)定，設(shè)置必要的泄壓面積;電氣防爆應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB  50058的規(guī)定進(jìn)行爆炸危險(xiǎn)環(huán)境的設(shè)防。本條規(guī)定均涉及潔凈廠房的安全穩(wěn)定運(yùn)行，所以規(guī)定為強(qiáng)制性條文。

　　8.2 管道材料和閥門

　　8.2.1  工業(yè)管道的材料和閥門的選用，由于所輸送的物料品種多樣，它們的物化性質(zhì)不同，具體工程中各種物料的使用工況(壓力、溫度、濃度等)也是不同的，所以本條規(guī)定工業(yè)管道的材料和閥門應(yīng)根據(jù)所輸送物料的物化性質(zhì)和使用工況，在滿足不同的生產(chǎn)工藝要求的前提下，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較選擇合適的材質(zhì)。如集成電路生產(chǎn)中所需的高純氣體、特種氣體等都有特殊的和嚴(yán)格的要求，如對(duì)氣體中的雜質(zhì)和露點(diǎn)要求極為嚴(yán)格，需要達(dá)到10-9、10-12級(jí)，塵埃粒徑要求控制小于0.1μm，甚至0.05μm的粒子，因此需要相應(yīng)高質(zhì)量的輸送管道和閥門，但不同材質(zhì)或同一材質(zhì)管道內(nèi)壁處理方法不同，價(jià)格相差甚遠(yuǎn)，如某工程擬引進(jìn)316L材質(zhì)的不銹鋼管，內(nèi)壁電拋光處理要比未經(jīng)處理的價(jià)格高出1.6倍～2.1倍。因此管道材料、內(nèi)壁處理和閥門形式的選用要根據(jù)具體的生產(chǎn)工藝區(qū)別對(duì)待，這樣才能做到既滿足生產(chǎn)工藝要求，又經(jīng)濟(jì)合理。

　　8.2.2  根據(jù)對(duì)國(guó)內(nèi)潔凈廠房使用情況的調(diào)查，大多數(shù)工廠高純氣體管道是采用不銹鋼管，因?yàn)樗哂谢瘜W(xué)穩(wěn)定性好，滲透性小，吸附性差等特性，輸送的氣體質(zhì)量能滿足生產(chǎn)工藝的要求。

　　閥門的嚴(yán)密性好壞是影響氣體純度的重要因素之一。國(guó)內(nèi)多數(shù)潔凈廠房和某些引進(jìn)或合資項(xiàng)目的高純氣體管道閥門基本上都是采用不銹鋼材質(zhì)，閥門類型有隔膜閥、波紋管閥和球閥。波紋管閥比球閥嚴(yán)密性好，隔膜閥除嚴(yán)密性好外，還具有閥體死體積小、易吹除的特點(diǎn)，因此適用于氣體純度要求極高，生產(chǎn)工藝嚴(yán)格或危險(xiǎn)性大的氣體。

　　如上海某集成電路廠前工序(0.35μm)技術(shù)，芯片直徑8"，要求高純氣體中雜質(zhì)含量均要小于10×10-9，氮、氫、氧、氬氣體管道采用進(jìn)口SS316L內(nèi)壁電拋光處理(通稱EP管)。316L是低碳不銹鋼管，其使用原因是防止鋼材中碳組分的析出及吸附或釋放雜質(zhì)氣體，影響氣體純度并導(dǎo)致產(chǎn)品成品率下降。閥門是隔膜閥Cajon  VCR密封連接形式。又如深圳某公司集成電路后工序，氣體純度要求99.999%、露點(diǎn)-70℃，氮?dú)?、氮?dú)浠旌蠚?、氧氣管道均采用SS304不銹鋼管，國(guó)內(nèi)合資企業(yè)進(jìn)行內(nèi)壁光亮拋光處理，閥門為進(jìn)口球閥，雙卡套連接。

　　為此，本條規(guī)定按生產(chǎn)工藝和對(duì)氣體純度的要求選用合適的不銹鋼管材和閥門。

　　8.2.3  本條規(guī)定干燥壓縮空氣露點(diǎn)低于-70℃時(shí)，應(yīng)采用不銹鋼管內(nèi)壁經(jīng)拋光處理，并非規(guī)定要進(jìn)行電拋光。而是可以采用機(jī)械拋光?；瘜W(xué)拋光俗稱光亮拋光，因?yàn)楸砻婀饬了植灰妆晃?、滯留在管道表面，而且極易被吹除干燥，對(duì)輸送低露點(diǎn)的氣體是十分必要的。SS304鋼相當(dāng)于國(guó)內(nèi)鋼牌號(hào)為0Cr18Ni9。如上海某工程集成電路廠干燥壓縮空氣露點(diǎn)要求-73℃，采用管材為SS304鋼，內(nèi)壁光亮拋光(通稱BA管)，閥門采用波紋管閥雙卡套連接;深圳某公司集成電路后工序干燥壓縮空氣露點(diǎn)要求-70℃，采用國(guó)內(nèi)合資企業(yè)進(jìn)行電拋光處理，閥門為進(jìn)口球閥，雙卡套連接。

　　對(duì)于干燥壓縮空氣露點(diǎn)低于-40℃，可以采用0Cr18Ni9不銹鋼管(304)或熱鍍鋅無(wú)縫鋼管，這在國(guó)內(nèi)已有多年運(yùn)行經(jīng)驗(yàn)，證明是可以滿足此類壓縮空氣的輸送要求的。

　　8.3 管道連接

　　8.3.1  工業(yè)管道的連接目前基本均采用焊接，主要是能確保管道連接的嚴(yán)密性。鍍鋅鋼管一般是螺紋連接，由于施工較麻煩且嚴(yán)密性比焊接要難以保證，有少數(shù)單位采用焊接，它帶來(lái)的問(wèn)題是破壞了管道原有的鍍鋅層，容易生銹，焊接時(shí)出現(xiàn)有刺激性的異味對(duì)人體有害，而且管道內(nèi)壁有脫落的鍍層給吹掃帶來(lái)困難并污染氣體，為此本條規(guī)定鍍鋅鋼管采用螺紋連接。

　　不銹鋼管承插焊連接的好處是便于管道對(duì)中，方便焊接，缺點(diǎn)是由于管道與承插件之間有間隙，產(chǎn)生死角，吹掃時(shí)不易吹除干凈。對(duì)高純氣體要求高和嚴(yán)格的生產(chǎn)工藝會(huì)影響其產(chǎn)品質(zhì)量，為此規(guī)定采用對(duì)接焊并要求內(nèi)壁無(wú)焊縫，它是氬弧焊接時(shí)不施加不銹鋼焊絲，利用焊件本身溶化填滿焊縫。

　　8.3.2  以往有些單位采用非金屬軟管兩端加卡箍固定，優(yōu)點(diǎn)是軟管連接管道柔軟，長(zhǎng)度隨意，連接方便，但由于非金屬管道對(duì)氣體和水的滲透性和吸附性都比金屬管道差，而且易老化變形，極易造成氣體滲漏影響氣體質(zhì)量?，F(xiàn)在金屬軟管品種多、規(guī)格全、連接方式多樣、使用壽命長(zhǎng)，尤其對(duì)高純氣體不造成污染，雖價(jià)格較貴，但綜合比較是合適的，為此本次修訂時(shí)推薦宜采用金屬軟管。

　　不同材料的管道對(duì)氣體和水的滲透、吸附能力見(jiàn)表10。

　　表10 不同管道材料滲透性、吸附性比較

　　8.3.3  本條規(guī)定高純氣體管道與閥門連接的密封材料采用金屬墊或雙卡套，具體選擇要隨產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)高純氣體質(zhì)量的要求和本身特性決定。金屬墊這種密封形式(國(guó)外稱Cajon  VCR形式)嚴(yán)密性好、氣體不滲漏和污染，通常用于高純氫氣或氦氫混合氣系統(tǒng)以及要求氣體雜質(zhì)十分嚴(yán)格的生產(chǎn)工藝，如集成電路亞微米技術(shù)的前工序的各種氣體管道，而干燥壓縮空氣管道則是采用雙卡套形式。

　　工業(yè)管道與閥門的法蘭或螺紋連接處的密封材料，一般應(yīng)根據(jù)管內(nèi)流過(guò)的物料性質(zhì)、設(shè)計(jì)工況(壓力、溫度等)進(jìn)行選用，由于四氟乙烯材質(zhì)具有較廣泛的適應(yīng)性，密封性能較好，為避免在潔凈室(區(qū))內(nèi)因物料泄漏影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境，所以推薦使用。

　　8.3.4 由于潔凈廠房中的工業(yè)管道可能有熱管道或冷管道，為避免散熱和結(jié)露應(yīng)對(duì)此類管道進(jìn)行絕熱保溫，故增加本條對(duì)保溫材料及外表面進(jìn)行規(guī)定。

　　8.4 安全技術(shù)

　　8.4.1  可燃?xì)怏w和可燃?xì)怏w蒸氣(指甲類液體揮發(fā)產(chǎn)生的蒸氣)易燃、易爆，危險(xiǎn)性大，可能發(fā)生燃燒爆炸事故，而且發(fā)生事故時(shí)波及面廣，危害性大，造成的損失嚴(yán)重，為此本條規(guī)定，在屬于甲類火災(zāi)危險(xiǎn)生產(chǎn)的氣體、液體入口室或分配室和潔凈廠房?jī)?nèi)的管廊，上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)有可燃?xì)怏w(蒸氣)的易積聚處或使用可燃?xì)怏w的部位應(yīng)設(shè)置氣體報(bào)警探頭。在上述場(chǎng)所一旦出現(xiàn)可燃?xì)怏w泄漏達(dá)到報(bào)警濃度時(shí)，應(yīng)及時(shí)發(fā)出報(bào)警信號(hào)并自動(dòng)開(kāi)啟事故排風(fēng)系統(tǒng)，及時(shí)將可燃?xì)怏w排除，降低其濃度不會(huì)達(dá)到爆炸極限，防止燃燒爆炸事故的發(fā)生，避免國(guó)家財(cái)產(chǎn)損失和人員傷亡。為此，本條為強(qiáng)制性條文。

　　8.4.2  為了防止可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)與明火直接接觸以及管道系統(tǒng)中壓力突然降低，造成倒流形成回火，所以在引至室外的可燃?xì)怏w放散管上應(yīng)設(shè)置阻火器，只有在接至有明火源的可燃?xì)怏w用氣設(shè)備的支管上也設(shè)置阻火器，才能阻止火焰蔓延至管道系統(tǒng)，確保安全運(yùn)行;由于一些使用可燃?xì)怏w的生產(chǎn)設(shè)備的特性要求，在接至用氣設(shè)備的支管上未設(shè)阻火器，為此對(duì)本條第1、2款作了修改，并規(guī)定第2、3款為強(qiáng)制性條款，第1款改為推薦性條款。

　　8.4.3  氧氣是助燃性氣體，在氧氣中任何可燃物質(zhì)的引燃溫度均要大大降低，極易發(fā)生燃燒事故，為此規(guī)定了氧氣管道設(shè)導(dǎo)除靜電接地的措施，以防止由于靜電產(chǎn)生的火花而發(fā)生燃燒事故。本條規(guī)定為強(qiáng)制性條文。

　　8.4.4  由于工業(yè)管道的種類較多，按不同介質(zhì)設(shè)明顯的標(biāo)識(shí)的目的，既是從安全角度考慮，又有便于對(duì)輸送介質(zhì)進(jìn)行識(shí)別的需要;同時(shí)可以避免誤操作引發(fā)事故，還有利于維護(hù)管理，所以本條修訂改為推薦性條文。

　　8.4.5  潔凈廠房氣密性好.造價(jià)高，人員集中，精密設(shè)備和儀器多，為了確保安全，氣瓶應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外。但有些潔凈室內(nèi)用氣量很少，為便于管理，故規(guī)定日用氣量不超過(guò)一瓶(水容量40L)時(shí)，可將氣瓶設(shè)置在潔凈室內(nèi)，為保持潔凈室內(nèi)的潔凈度，設(shè)在潔凈室內(nèi)的鋼瓶應(yīng)采取不積塵和易于清潔的措施。本條實(shí)施中，一些單位認(rèn)為量化指標(biāo)(日用氣量不超過(guò)一瓶)未明確規(guī)定是一種氣體還是各種氣體，并不宜規(guī)定如此嚴(yán)格。據(jù)了解，因特殊需要，在現(xiàn)有的一些潔凈室如實(shí)驗(yàn)室內(nèi)超過(guò)一個(gè)鋼瓶，且為數(shù)量很少的幾種氣體的小容量鋼瓶，已使用多年，只要采取必要的安全措施和做到不積塵、易于清潔，并加強(qiáng)管理，也是可行的，為此本次修訂改為推薦性條文。