附錄A 潔凈室或潔凈區(qū)性能測(cè)試和認(rèn)證

　　A.1 通則

　　A.2 潔凈室或潔凈區(qū)性能測(cè)試要求

　　A.3 潔凈室主要測(cè)試方法

　　A.4 監(jiān)測(cè)

　　A.5 認(rèn)證

　　A.1 通則

　　A.1.1 潔凈室或潔凈區(qū)應(yīng)監(jiān)測(cè)或定期進(jìn)行性能測(cè)試，以認(rèn)證該潔凈室或潔凈區(qū)始終符合本規(guī)范的要求。

　　A.1.2 潔凈室或潔凈區(qū)性能測(cè)試認(rèn)證工作應(yīng)由專(zhuān)門(mén)檢測(cè)認(rèn)證單位承擔(dān)，并提交檢測(cè)報(bào)告。

　　A.1.3 測(cè)試和認(rèn)證工作之前，系統(tǒng)應(yīng)達(dá)到穩(wěn)定運(yùn)行。測(cè)試和監(jiān)測(cè)儀表應(yīng)在標(biāo)定證書(shū)有效使用期內(nèi)。

　　條文說(shuō)明

　　A.1 通則

　　本附錄編寫(xiě)的指導(dǎo)思想是與國(guó)際接軌，依據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》ISO 14644、《生物污染控制》ISO 14698等的內(nèi)容進(jìn)行編制。

　　A.1.1 潔凈室或潔凈區(qū)在設(shè)計(jì)、施工驗(yàn)收后，應(yīng)進(jìn)行綜合性能評(píng)價(jià)。潔凈室交付使用后，由于潔凈室維護(hù)管理不當(dāng)，潔凈室工作人員誤操作和凈化空調(diào)系統(tǒng)長(zhǎng)期運(yùn)行使空氣過(guò)濾器性能變化，潔凈室周?chē)h(huán)境的突發(fā)事件如沙塵暴等，以及潔凈室工藝變化諸因素均會(huì)影響潔凈室綜合性能，因而潔凈室經(jīng)常監(jiān)測(cè)或定期的性能測(cè)試是必要的，以證實(shí)潔凈室或潔凈區(qū)的性能符合本規(guī)范的要求。

　　A.2 潔凈室或潔凈區(qū)性能測(cè)試要求

　　A.2.1 潔凈室或潔凈區(qū)應(yīng)進(jìn)行下列三項(xiàng)測(cè)試：

　　1 空氣潔凈度測(cè)試。生物潔凈室應(yīng)進(jìn)行浮游菌、沉降菌測(cè)試。

　　2 靜壓差測(cè)試。

　　3 風(fēng)速或風(fēng)量測(cè)試。

　　A.2.2 潔凈室或潔凈區(qū)的三項(xiàng)測(cè)試應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 空氣潔凈度測(cè)試應(yīng)符合表A.2.2-1的規(guī)定。

　　表A.2.2-1 空氣潔凈度測(cè)試

　　2 靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量測(cè)試應(yīng)符合表A.2.2-2的規(guī)定。

　　表A.2.2-2 靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量測(cè)試

　　A.2.3 當(dāng)潔凈室或潔凈區(qū)已對(duì)粒子濃度、風(fēng)速或風(fēng)量、靜壓差執(zhí)行連續(xù)監(jiān)測(cè)，并且其測(cè)試值均符合本規(guī)范要求，則認(rèn)證的測(cè)試時(shí)間間隔可延長(zhǎng)。具體間隔時(shí)間可與認(rèn)證單位洽商，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 空氣潔凈度等級(jí)認(rèn)證可進(jìn)行靜態(tài)或動(dòng)態(tài)檢測(cè)，應(yīng)洽商確定。

　　2 風(fēng)量測(cè)定采用風(fēng)速計(jì)在風(fēng)口或風(fēng)管測(cè)定。

　　A.2.4 潔凈室或潔凈區(qū)洽商選擇的測(cè)試要求應(yīng)符合表A.2.4的規(guī)定。

　　表A.2.4 潔凈室或潔凈區(qū)洽商選擇的測(cè)試

　　條文說(shuō)明

　　A.2 潔凈室或潔凈區(qū)性能測(cè)試要求

　　A.2.1、A.2.2 這兩條等同采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第2部分：證明持續(xù)符合ISO 14644-1的檢測(cè)和監(jiān)測(cè)技術(shù)》ISO 14644-2的相關(guān)內(nèi)容。

　　最長(zhǎng)測(cè)試時(shí)間間隔是根據(jù)近年來(lái)我國(guó)一些合資企業(yè)的內(nèi)部質(zhì)量管理?xiàng)l款以及ISO 14644-2的空氣潔凈度認(rèn)證測(cè)試要求而編制的。

　　A.3 潔凈室主要測(cè)試方法

　　A.3.1 風(fēng)量或風(fēng)速測(cè)試應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 對(duì)于單向流潔凈室，采用室截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量，測(cè)點(diǎn)位于高效過(guò)濾器出風(fēng)面約150mm～300mm,垂直氣流處的截面作為采樣截面，截面上測(cè)點(diǎn)間距不宜大于0.6m，測(cè)點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于4點(diǎn)，所有讀數(shù)的算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。

　　2 對(duì)于非單向流潔凈室，采用風(fēng)口或風(fēng)管法確定送風(fēng)量，可按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB 50243規(guī)定的方法執(zhí)行。

　　A.3.2 靜壓差測(cè)試應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 靜壓差的測(cè)定應(yīng)在潔凈室(區(qū))的風(fēng)速、風(fēng)量和送風(fēng)均勻性檢測(cè)合格后進(jìn)行，并應(yīng)在所有的門(mén)關(guān)閉時(shí)檢測(cè)。

　　2 儀器宜采用各種微差壓力計(jì)，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。

　　A.3.3 已安裝過(guò)濾器檢漏測(cè)試應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 檢漏方法有光度計(jì)法和粒子計(jì)數(shù)器法。

　　2 在過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)應(yīng)引入測(cè)試用氣溶膠，在過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)用光度計(jì)或粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面2cm～3cm處，以5mm/s～15mm/s的掃描速度移動(dòng)，并應(yīng)注意安裝交接處的掃描。

　　A.3.4 密閉性測(cè)試應(yīng)用于確認(rèn)有無(wú)被污染的空氣從相鄰潔凈室(區(qū))或非潔凈室(區(qū))通過(guò)吊頂、隔墻等表面或門(mén)、窗滲漏入潔凈室(區(qū))。一般適用于1級(jí)至5級(jí)的潔凈室(區(qū))進(jìn)行測(cè)試。采用光度計(jì)法和粒子計(jì)數(shù)器法進(jìn)行測(cè)試。

　　A.3.5 潔凈度的檢測(cè)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 使用采樣量大于1L/min的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器，在儀器選用時(shí)應(yīng)考慮粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計(jì)數(shù)效率。儀器應(yīng)有有效的標(biāo)定合格證書(shū)。

　　2 最少采樣點(diǎn)數(shù)應(yīng)按下式計(jì)算：

　　NL=A0.5 (A.3.5-1)

　　式中：NL——最少采樣點(diǎn);

　　A——潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(m2)。

　　3 采樣點(diǎn)應(yīng)均勻分布于潔凈室或潔凈區(qū)的整個(gè)面積內(nèi)，并位于工作活動(dòng)的高度，活動(dòng)高度宜距地面0.8m;每個(gè)采樣點(diǎn)的最小采樣時(shí)間為1min。

　　4 每一采樣點(diǎn)的每次采樣量應(yīng)至少為2L，采樣量應(yīng)按下式計(jì)算：

　　式中：VS——每個(gè)采樣點(diǎn)的每次采樣量，以L(fǎng)表示;當(dāng)VS很大時(shí)，可使用順序采樣法;

　　Cn·m——被測(cè)潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的被測(cè)粒徑的限值(pc/m3);

　　20——在規(guī)定被測(cè)粒徑粒子的空氣潔凈度等級(jí)限值時(shí)，可測(cè)到的粒子顆數(shù)(pc)。

　　5 當(dāng)潔凈室或潔凈區(qū)僅有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，則在該點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次。

　　A.3.6 對(duì)超出等級(jí)范圍粒子的檢測(cè)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 在產(chǎn)品生產(chǎn)工藝有要求時(shí)，可按等級(jí)粒徑范圍之外的粒子濃度規(guī)定空氣潔凈度的水平。此類(lèi)粒子的最大允許濃度和檢測(cè)方法應(yīng)由客戶(hù)與建造商協(xié)商確定。

　　2 當(dāng)需評(píng)價(jià)小于0.1μm的粒子造成的污染危險(xiǎn)時(shí)，應(yīng)采用符合這類(lèi)粒子具體特性的采樣方法和裝置;可獨(dú)立應(yīng)用U描述符說(shuō)明超微粒子濃度，也可將它作為懸浮粒子空氣潔凈度等級(jí)的補(bǔ)充說(shuō)明。

　　U描述符用“U(χ，y)”表示，其中χ為超微粒子的最大允許濃度(pc/m3)，y為以微米計(jì)的粒徑。

　　例如：粒徑范圍等于或大于0.O1μm的最大允許超微粒子的濃度為140 000個(gè)/m3，應(yīng)表示為“U(140 000，0.O1μm)”。

　　3 當(dāng)需評(píng)價(jià)大于5μm的粒子造成的污染危險(xiǎn)時(shí)，應(yīng)采用符合這類(lèi)粒子具體特性的采樣裝置和方法?？瑟?dú)立應(yīng)用M描述符說(shuō)明大于5μm的粒子濃度，也可將它作為懸浮粒子空氣潔凈度等級(jí)的補(bǔ)充說(shuō)明。

　　M描述符用“M(a，b);c”表示，其中a為大粒子的最大允許濃度(pc/m3)，b為與規(guī)定的大粒子測(cè)量方法相應(yīng)的當(dāng)量直徑(μm)，c為規(guī)定的測(cè)量方法。

　　例如：采用顯微鏡對(duì)多級(jí)撞擊采樣器采集的粒子進(jìn)行檢測(cè)，測(cè)量得到10μm～20μm粒徑范圍的懸浮粒子濃度為1000個(gè)/m3，則用M描述符表示為“M(1OOO;1Oμm～20μm);多級(jí)撞擊采樣器以顯微鏡測(cè)定粒徑并計(jì)數(shù)”。

　　條文說(shuō)明

　　A.3 潔凈室測(cè)試方法

　　近年來(lái)，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)組織(ISO)的ISO/TC209技術(shù)委員會(huì)相繼制定了“潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境”的系列標(biāo)準(zhǔn)，與本規(guī)范有關(guān)的有《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第1部分：空氣潔凈度分級(jí)》ISO 14644-1，《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第2部分：證明持續(xù)符合ISO 14644-1的檢測(cè)和監(jiān)測(cè)技術(shù)條件》IS0 14644-2，《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第3部分：檢測(cè)方法》ISO 14644-3，《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第4部分：設(shè)計(jì)、施工和啟動(dòng)》ISO 14644-4等。國(guó)內(nèi)制定的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠(chǎng)房施工及質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB 50929中對(duì)潔凈室(區(qū))的各項(xiàng)檢測(cè)方法均有明確的要求和規(guī)定，所以本節(jié)參照相關(guān)國(guó)內(nèi)外的標(biāo)準(zhǔn)對(duì)潔凈室測(cè)試方法進(jìn)行了相應(yīng)的修改、補(bǔ)充。

　　A.4 監(jiān)測(cè)

　　A.4.1 按照雙方協(xié)議書(shū)的規(guī)定進(jìn)行空氣中懸浮粒子濃度和其他參數(shù)的監(jiān)測(cè)。

　　A.4.2 雙方協(xié)議書(shū)中應(yīng)明確測(cè)量空氣懸浮粒子濃度最少采樣點(diǎn)、每次最少的空氣采樣量、采樣時(shí)間、每個(gè)采樣點(diǎn)的測(cè)量次數(shù)、測(cè)量時(shí)間間隔、被計(jì)數(shù)粒子的粒徑，以及粒子數(shù)的限值。

　　A.4.3 當(dāng)監(jiān)測(cè)結(jié)果超過(guò)規(guī)定的限值時(shí)，則應(yīng)認(rèn)定設(shè)施不符合要求，應(yīng)進(jìn)行修正;修正后應(yīng)再進(jìn)行認(rèn)證檢測(cè)。當(dāng)監(jiān)測(cè)結(jié)果在規(guī)定限值內(nèi)，可繼續(xù)監(jiān)測(cè)。

　　A.5 認(rèn)證

　　A.5.1 按雙方協(xié)議書(shū)的規(guī)定及第A(yíng).2節(jié)的要求，按第A(yíng).3節(jié)的方法進(jìn)行測(cè)試，當(dāng)測(cè)試結(jié)果在規(guī)定的限值之內(nèi)時(shí)，可認(rèn)定該潔凈室符合規(guī)定要求。當(dāng)測(cè)試結(jié)果超過(guò)規(guī)定的限值，可認(rèn)定該潔凈室不符合要求，應(yīng)進(jìn)行改進(jìn)，在完成改進(jìn)工作之后，應(yīng)進(jìn)行再認(rèn)證。

　　A.5.2 記錄數(shù)據(jù)評(píng)價(jià)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 在空氣潔凈度測(cè)試中，當(dāng)測(cè)點(diǎn)在1點(diǎn)～10點(diǎn)時(shí)，應(yīng)計(jì)算平均中值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、標(biāo)準(zhǔn)誤差和由全部采樣點(diǎn)的平均粒子濃度導(dǎo)出95%置信上限值。

　　2 當(dāng)采樣點(diǎn)超過(guò)10點(diǎn)時(shí)，應(yīng)計(jì)算算術(shù)平均值，并按算術(shù)平均值進(jìn)行空氣潔凈度等級(jí)的評(píng)價(jià)。

　　A.5.3 每次性能測(cè)試或再認(rèn)證測(cè)試應(yīng)做記錄，并應(yīng)提交性能合格或不合格的綜合報(bào)告。測(cè)試報(bào)告應(yīng)包括下列內(nèi)容：

　　1 測(cè)試機(jī)構(gòu)的名稱(chēng)、地址。

　　2 測(cè)試日期和測(cè)試者簽名。

　　3 執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的編號(hào)及標(biāo)準(zhǔn)出版日期。

　　4 被測(cè)試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、采樣點(diǎn)的特定編號(hào)及坐標(biāo)圖。

　　5 被測(cè)潔凈室或潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)、被測(cè)粒徑、被測(cè)潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差。

　　6 測(cè)量用的儀器編號(hào)和標(biāo)定證書(shū)，測(cè)試方法細(xì)則及測(cè)試中的特殊情況。

　　7 測(cè)試結(jié)果包括在全部采樣點(diǎn)坐標(biāo)圖上注明所測(cè)的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數(shù)。

　　8 對(duì)異常測(cè)試值進(jìn)行說(shuō)明及數(shù)據(jù)處理。

　　9 注明上次的測(cè)試日期。

　　10 設(shè)施的測(cè)試文件可作為下次監(jiān)測(cè)計(jì)劃的依據(jù)。

　　A.5.4 測(cè)試機(jī)構(gòu)應(yīng)提交潔凈室檢驗(yàn)證書(shū)、再檢驗(yàn)證書(shū)。