4.1.1  潔凈廠房與其他工業(yè)廠房的區(qū)別在于潔凈廠房內的生產工藝有空氣潔凈度要求。因此，設有潔凈廠房的工廠廠址宜選在大氣含塵濃度較低的地區(qū)，如農村、城市遠郊、水域之濱等，不宜選擇在氣候干旱、多風沙地區(qū)或有嚴重空氣污染的城市工業(yè)區(qū)。

　　根據國內外測試資料，農村空氣污染程度較低，其含塵濃度一般只相當于城市含塵濃度的幾分之一，甚至低一個數(shù)量級。而城市工業(yè)區(qū)的含塵濃度又遠高于城市市區(qū)及市郊。不同地區(qū)含塵濃度也不同，如表1～表3所示。不同季節(jié)的含塵濃度也不相同，表4所列是天津市某地段不同季節(jié)室外含塵濃度的實測值。

　　表1 大氣中含塵濃度

　　表2 天津地區(qū)的大氣含塵計重濃度

　　從表1、表2中可以看出，各地區(qū)、場所大氣環(huán)境質量差別較大，若在環(huán)境質量較差的地區(qū)建廠，設計中應采取有效的技術措施以確保潔凈廠房的技術要求。

　　表3 大氣含塵濃度平均值(大于或等于0.5μm)(pc/L)

　　表4 不同季節(jié)室外大氣含塵濃度的實測值

　　4.1.2  潔凈廠房內當布置有精密設備和精密儀器儀表，若它們有防微振要求時，為解決防微振問題，在廠址選擇或已建工廠內的潔凈廠房場地選擇過程中，需要對周圍振源的振動影響作出評價，以確定該廠址或場地是否適宜建設。

　　周圍振源對精密設備、精密儀器儀表的振動影響，是若干單個振源振動的疊加結果。這種疊加，目前還沒有系統(tǒng)的參考數(shù)據及實用的計算方法。因此，應立足于實測。過去有的工廠，由于建廠前沒有對周圍各類振源的振動影響進行實測，建成后發(fā)現(xiàn)對精密設備、精密儀器儀表影響很大，有的甚至難以工作，給生產、試驗帶來很大困難，這說明實測振源振動影響是非常必要的。

　　4.1.3  本條規(guī)定仍以規(guī)范編制組的科研成果報告《環(huán)境塵源影響范圍研究》為依據。根據上述報告，道路灰塵“嚴重污染區(qū)”位于道路下風側50m范圍之內，100m以外為“輕污染區(qū)”。潔凈廠房最好離開車輛頻繁的干道100m以外，但考慮到廠區(qū)總平面布置的可能性以及廠區(qū)圍墻或廠內路沿綠化的阻塵作用等因素，本條規(guī)定潔凈廠房與車輛頻繁的干道之間的距離宜大于50m。

　　在《潔凈廠房設計規(guī)范》GB  50073-2001(以下簡稱原規(guī)范)實施中，各地區(qū)、各設計單位認為本條規(guī)定距離的界定不明確，且考慮到道路的污染物對潔凈廠房的影響主要是影響凈化空調系統(tǒng)新鮮空氣的質量，而潔凈室(區(qū))圍護結構氣密性較好的特點，本次修改為“新風口與交通干道邊沿的最近距離宜大于50m”。

　　4.1.6  綠化有良好的吸塵、阻塵作用。潔凈廠房周圍場地綠化應以種植草坪為主，小灌木為輔，不宜種植觀賞花卉及高大喬木。因為觀賞花多為季節(jié)性一年生植物，需經常翻土、播種、移植，從而破壞植被，反而使塵土飛揚;而高大喬木樹冠覆蓋面積大，其下部難以形成植被，也易產生揚塵。

　　潔凈廠房外圍宜種植枝葉茂盛的常綠樹種。潔凈廠房周圍綠化樹種應選用不產生花絮、絨毛、粉塵等對大氣有不良影響的樹種。

　　4.2 工藝平面布置和設計綜合協(xié)調

　　4.2.2  因生產工藝的不同，潔凈廠房內常有多種氣體、液體供應管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調系統(tǒng)的送回風管和局部排風管等，管線交叉復雜。因此，在進行管線綜合布置時，必須在平面和標高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。

　　對國內已建成的潔凈廠房調研中，了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設置了技術夾層或技術夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術夾層設計得過高是不經濟的。改建工程由于空間較小，管線布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯的。因此，在進行管線綜合布置設計和確定技術夾層層高時，應進行技術經濟比較，做到技術上可靠，經濟上合理。

　　通過原規(guī)范實施以來反饋的信息，雖然本條具有確保潔凈廠房安全可靠的作用，但主要還是影響產品質量的提高、成品率高低和經濟性問題，因此本次修訂修改為推薦性條文。

　　4.2.3 隨著各類產品生產工藝技術的發(fā)展，生產自動化程度的提高和改進，近年來潔凈廠房建設中大都采用大開間，以滿足生產工藝要求。

　　潔凈廠房內除考慮生產安全性需增設隔斷外，一般不設隔斷。由于本條第2款、第3款的內容只是為了有利于運行管理作出的規(guī)定，故本次修訂修改為推薦性條文。

　　4.3 人員凈化和物料凈化

　　4.3.1、4.3.2  人員與物料進入潔凈室會把外部污染物帶入室內，特別是人員本身就是一個重要的污染源，不同衣著、不同動作時的人體產塵量見表5。從表5中數(shù)據可見，身著普通服裝的人走動時的產塵(大于或等于0.5μm)量可達近300×104pc/(min·人)。根據國外有關資料報道，潔凈室中的灰塵來源分析見表6，來源于人員因素的占35%。對潔凈室空氣抽樣分析也發(fā)現(xiàn)，主要的污染物有人的皮膚微屑、衣服織物的纖維與室外大氣中同樣性質的微粒。由此可見，要獲得生產環(huán)境所需要的空氣潔凈度，人員與物料的凈化是十分必要的。

　　存放雨具、換鞋、存外衣、更換潔凈工作服用室是人員凈化用室的基本組成部分，也是人員凈化用室的必要部分。生活用室應視車間所在地區(qū)的自然條件、車間規(guī)模及工藝特征等具體情況，根據實際需要設置。如車間規(guī)模較大、人員集中或工藝為暗室操作的潔凈室應設必要的休息室。

　　鑒于第4.3.1條、第4.3.2條僅為原則性通用規(guī)定，本次修訂修改為推薦性條文。

　　表5 不同衣著、不同動作時的人體產塵

　　表6 潔凈室內粒子來源分析

　　4.3.3 本條對人員凈化用室和生活用室的設計作出規(guī)定。

　　1 凈鞋的目的在于保護人員凈化用室入口處不致受到嚴重污染。國內多數(shù)潔凈廠房人員入口處設有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。

　　為了保護人員凈化用室的清潔，最徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去，換上清潔鞋或鞋套?，F(xiàn)有潔凈廠房工作人員都執(zhí)行更衣前換鞋的制度，其中不少潔凈廠房對換鞋方式作了周密考慮，換鞋設施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區(qū)分，避免了清潔鞋被外出鞋污染，如跨越鞋柜式換鞋，清潔平臺上換鞋等都有很好的效果。

　　2、3 外出服在家庭生活及戶外活動中積有大量微塵和不潔物，服裝本身也會散發(fā)纖維屑，更衣室將外出服及隨身攜帶的其他  物品存放于專用的存外衣柜內。考慮到國內潔凈廠房當前的管理方式和習慣，外出服一般由個人閉鎖使用，按在冊人數(shù)每人一柜計算是必要的;潔凈工作服柜一般也可按每人一柜設計，但也有集中將潔凈工作服存放于潔凈柜中的，置于潔凈柜中更為理想。為避免外出服污染潔凈工作服，為此本條明確規(guī)定存外衣、更換潔凈工作服的房間應分別設置。

　　4 手是交叉污染的媒介，人員在接觸工作服之前洗手十分必要。操作中直接用手接觸潔凈零件、材料的人員可以戴潔凈手套或在潔凈室內洗手。

　　洗凈的手不可用普通毛巾擦抹，因為普通毛巾易產生纖維塵，最好的辦法是熱風吹干，電熱自動烘手器就是一種較好的選擇。

　　由于人員凈化的凈鞋措施、存外衣和更換潔凈工作服房間的分隔以及洗手設施的設置，均為了減少甚至消除潔凈室工作人員帶入的污染物對產品質量的影響，所以本次修訂將本條第1款、第2款、第4款改為推薦性條文。

　　5 工業(yè)潔凈室設置空氣吹淋室的理由是：

　　1) 在一定風速、一定吹淋時間的條件下，空氣吹淋室對清除人員身上的灰塵有明顯效果。

　　本規(guī)范編制組進行了“吹淋室效果的測定”的科研項目，對于經吹淋與不經吹淋兩種情況的人員散塵量作了大量的測試對比。結果表明，吹淋室的吹淋效果，對大于或等于0.5μm的塵粒約為10%～30%，對大于或等于5μm的塵粒約為15%～35%。

　　2) 吹淋室具有氣閘的作用，能防止外部空氣進入潔凈室，并使?jié)崈羰揖S持正壓狀態(tài)。

　　3) 吹淋室除了有一定凈化效果外，它作為人員進入潔凈區(qū)的一個分界，還具有警示性的心理作用，有利于規(guī)范潔凈室人員在潔凈室內的活動。

　　4) 國內潔凈廠房的現(xiàn)狀是：在統(tǒng)計的38個潔凈廠房中，約80%設有空氣吹淋室。

　　關于吹淋室的使用人數(shù)，主要取決于每人吹淋所需時間和上班前人員凈化的總時間。參考計算方法：假定潔凈室自凈時間為30min，換鞋、更衣占去10min，上班人員總吹淋時間為20min。設每人吹淋30s，另加準備時間10s，則一臺單人吹淋室可供30人使用。

　　當最大班使用人數(shù)超過30人時，可將兩臺或多臺單人吹淋室并聯(lián)布置。

　　垂直單向流潔凈室由于自凈能力強，無紊流影響，人員產塵能迅速被回風帶走而不致污染產品，鑒于這種有利條件，也可不設吹淋室而改設氣閘室。

　　吹淋室旁設通道，可使下班人員和衛(wèi)生清掃或檢修人員的進出不必通過吹淋室，起到保護吹淋設備的作用，同時也方便檢修期間設備、工具等進出。

　　潔凈室(區(qū))是否設置空氣吹淋室，各潔凈廠房做法不一，但在原規(guī)范中規(guī)定：“空氣吹淋室應設在潔凈區(qū)人員入口處，并與潔凈工作服更衣室相鄰?！币驗楸究钭鳛閺娭菩詶l款，在實施過程中，一些單位以為“所有潔凈室均應設置空氣吹淋室”。實際上本款規(guī)定并不是要求所有潔凈室均應設置空氣吹淋室，只是要求當需設置空氣吹淋室時，應如何設置。為此，本次修訂將本款改為推薦性條款。

　　7  潔凈區(qū)內設置廁所不僅容易使?jié)崈羰沂艿轿廴?，還會影響潔凈區(qū)的壓力控制。原規(guī)范規(guī)定潔凈區(qū)內不宜設廁所，為了強調潔凈區(qū)內不得設廁所的要求，本次修訂將“不宜”改為“不得”，但該款條文仍為推薦性。人員凈化用室內的廁所應設在盥洗室之前，廁所設前室作為緩沖，前室還應放置供人員入廁穿用的套鞋。

　　4.3.4  人員凈化應當循序漸進，有一個合理的程序，在凈化過程中，避免已清潔部分被臟的部分所污染。根據目前國內潔凈廠房常用的人員凈化程序，本規(guī)范提出了一次更衣(盥洗前存外衣)、一次吹淋的人員凈化程序。由于本條第1款只是對潔凈廠房中人流路線的原則性規(guī)定，本次修訂改為推薦性條文。

　　4.3.5、4.3.6  關于人員凈化用室建筑面積控制指標，主要參考了有關資料提出的面積指標和部分潔凈廠房實際采用的指標，并進行統(tǒng)計后得出的。人員較多時，面積指標采用下限;人員較少時，面積指標采用上限。

　　近年來，國內設計、建造的潔凈廠房，一般是根據產品生產工藝要求或潔凈廠房的布局情況按相鄰潔凈室(區(qū))的潔凈度等級確定潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級，還有一些潔凈廠房雖然沒有對潔凈工作服更衣室、潔凈工作服洗滌室提出空氣潔凈度等級要求，但室內采用高效空氣過濾送風系統(tǒng)，或將潔凈室內的凈化空氣部分地引入更衣室、潔凈工作服洗滌室。為此，本次修訂時對潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈區(qū)1級～2級和“潔凈服洗滌室的空氣潔凈度等級不宜低于8級”的規(guī)定取消，修改為將更衣室與潔凈工作服洗滌室對空氣凈化要求的相關內容的規(guī)定合并在一條內：“宜根據產品生產工藝要求和相鄰潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級確定”。不再規(guī)定具體的“等級”或“等級范圍”。

　　4.3.7  鑒于本條有關物料凈化的規(guī)定主要涉及影響空氣潔凈度或產品生產過程的可能被污染，且在原規(guī)范實施過程中一些行業(yè)的潔凈廠房設計、建造中執(zhí)行本條規(guī)定難度較大，為此本次修訂改為推薦性條文。

　　4.4 噪聲控制

　　4.4.1  潔凈室的噪聲一般不算高，但數(shù)據差額較大，相差近10dB(A)。國內關于噪聲對健康影響的研究表明，低于80dB(A)的一般工業(yè)噪聲，對健康的影響不太大。因此，潔凈室噪聲標準的制訂主要考慮噪聲的煩惱效應、語言通訊干擾和對工作效率的影響。

　　國外潔凈室噪聲標準的研究工作開始于20世紀60年代。1966年制定的美國聯(lián)邦標準《潔凈室環(huán)境控制要求》209a和1974年修訂的209b規(guī)定：“潔凈室的噪聲控制在可能進行必要的通話，滿足操作或產品的要求，并使人員保持在舒適和安全的范圍內”。

　　在《潔凈室及相關受控環(huán)境——第四部分，設計、施工和啟動》IS0  14644-4-2001標準中規(guī)定：“應依據潔凈室內人的舒適和安全要求及環(huán)境(如其他設備)的背景聲壓級來選擇適宜的聲壓級。潔凈室的聲壓級范圍為40～65dB(A)”。

　　從收集的國內外潔凈室噪聲標準來看，有以下幾個特點：潔凈室的噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運行，滿足必要的談話聯(lián)系，提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標準給出的允許值在65dB(A)～70dB(A)范圍，醫(yī)療行業(yè)則更低。現(xiàn)行的大多數(shù)標準均以A聲壓級作為評價指標，也有少數(shù)標準對各頻帶聲壓級提出了限制。少數(shù)標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出了噪聲容許值，而大多數(shù)標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出了一個統(tǒng)一的容許值。

　　根據“潔凈廠房噪聲評價與標準的研究”所得到的成果，我國59個潔凈廠房平均噪聲級的分布，電子工業(yè)216個潔凈室的噪聲分布狀況和不同聲級下各種效應的主觀評價指標如圖1所示：

　　由圖1可見，若以65dB(A)作為潔凈室噪聲允許值標準，工人感到高煩惱的百分率低于30%，對集中精神感到有較高影響的百分率不到10%，而對工作速度、動作準確性的影響則可忽略，從主觀評價調查看，語言通訊干擾可以屬于輕微的等級。如按這一限值來衡量現(xiàn)有潔凈室的噪聲，則有75%超過標準，就電子工業(yè)而言，也有47%的潔凈室超過標準。

　　近年來，我國的潔凈室環(huán)境技術有了一定的發(fā)展，但對噪聲的控制技術還相對滯后，從1996-1997年對國內部分行業(yè)的部分潔凈室進行的調研結果來看，還有相當一部分的潔凈室噪聲在65dB(A)以上，就電子工業(yè)而言，還有約35%的潔凈室超過標準。

　　圖1 潔凈廠房噪聲分布與評價圖

　　1-59個潔凈廠房超過某一聲級的百分率;

　　2-電子工業(yè)216個潔凈室超過某一聲級的百分率;

　　3-高煩惱率,4-準確性高影響率;5-工作速度高影響率;

　　6-集中精神高影響率;7-交談及電話通訊高干擾率

　　同樣由圖1得知，若以70dB(A)為噪聲允許值標準，工人感到高煩惱的百分率將達到39%，對于集中精神感到有較高影響的百分率為12.4%，對工作速度和動作準確性影響仍不顯著，對語言通訊的干擾則屬于較高的等級。如按70dB(A)的限值來衡量現(xiàn)有潔凈廠房的噪聲，則多數(shù)可以滿足標準。

　　目前國內的相當一部分潔凈室的隔墻使用的是進口或國產的金屬壁板，由于壁板的隔聲量存在著某些薄弱環(huán)節(jié)而造成隔聲不理想，且室內的噪聲仍過高。如上海某公司使用的是進口壁板，其室內噪聲平均值達69dB(A);上海某公司使用的也是進口壁板光刻間，測得其室內平均噪聲值為70dB(A)，其他一些潔凈室的生產環(huán)境的噪聲也偏高，也就是說，從噪聲的效應來看，標準低于65dB(A)為好。

　　對國內幾個行業(yè)不同氣流流型潔凈室的靜態(tài)和動態(tài)噪聲所進行的分析表明，不同氣流流型的靜態(tài)噪聲有較大差異。非單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲實測值在41dB(A)～64dB(A)范圍內，平均為54dB(A);單向流、混合流潔凈室的靜態(tài)噪聲實測值在51dB(A)～75dB(A)范圍內，平均為65dB(A)。非單向流潔凈室比單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲平均值約低11dB(A)。

　　由于噪聲控制要求是確保人員健康的重要條件，本條為強制性條文。

　　4.4.3～4.4.6  控制設備噪聲首先要從聲源上考慮，設計時應選用低噪聲設備。在某些情況下，由于技術或經濟上的原因而難以做到時，則應從噪聲傳播途徑上采取降噪措施，如把高噪聲工藝設備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內。有些由于與生產聯(lián)系密切，必須置于潔凈區(qū)內的高噪聲設備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。

　　國內現(xiàn)有潔凈廠房中，不少潔凈室將機械泵一類高噪聲設備置于潔凈室外套間或技術夾道內，潔凈室內噪聲有明顯降低。

　　潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調系統(tǒng)和局部凈化設備運行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關。但關鍵在于凈化空調系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施，不合理的設計方案必然導致較高的靜態(tài)噪聲。

　　關于降低潔凈室凈化空調系統(tǒng)噪聲的措施，國內外有關資料提出了一些有效的措施：

　　如《現(xiàn)代潔凈室概念》一文中強調“選擇那種能滿足氣流要求的噪聲最低的風機，還應該采用彈性減振基礎”。關于消聲器的使用，文中說：“管道消聲器在中頻和高頻范圍內降低噪聲是有效的，當風管敷設長度在50ft以內時，就應考慮采用消聲器”。關于風管的連接，文中又說：“通風機和送風管道與回風管道之間，應采用柔性連接管隔開”。還要求“將通風機外殼、靜壓箱和管道等加上襯里”。如北京某大學微電子研究所回風管道在未處理前噪聲高達83.5dB(A)，經過加設襯墊處理后噪聲降到66.2dB(A)，使光刻間的室內環(huán)境噪聲平均下降了7dB(A)～9dB(A)。由此可見，只要對風道系統(tǒng)采取消聲和防止管道固體傳聲等措施，潔凈室噪聲可以大幅度降低。

　　國內還有不少潔凈室，由于系統(tǒng)設計合理，并采取了降噪措施，室內噪聲得到有效控制。

　　排風系統(tǒng)噪聲對潔凈室影響極大，以集成電路生產為例，在生產過程中，外延、擴散、腐蝕、清洗等多種工序都需設排風系統(tǒng)。近年來，潔凈廠房排風系統(tǒng)的噪聲治理日益受到重視，要注意選用低噪聲風機等。

　　由于潔凈室內的工作環(huán)境要求比較安靜，潔凈室的密封性能較好，噪聲不易衰減。按規(guī)定限制風管風速，既減小了凈化空調系統(tǒng)的阻力，降低了風機壓頭和轉速，減弱了風機的噪聲，又防止了風速過大而產生附加噪聲。

　　如上所述，第4.4.3條～第4.4.6條的規(guī)定均為潔凈廠房設計中，從平面和空間設計到各類設備、系統(tǒng)及其附屬設備等的選擇都應充分考慮噪聲控制措施，以確保達到潔凈廠房要求的噪聲控制值。原規(guī)范中將第4.4.3條、第4.4.4條規(guī)定為強制性條文，但在實施中各單位認為規(guī)定過嚴，可操作性也不強，為此本次修訂改為推薦性條文。

　　4.5 微振控制

　　4.5.1  有微振控制要求的潔凈廠房，設計應考慮建筑結構的選型及地面(樓面)的構造做法，如增加基礎及上部結構垂直及橫向剛度，增加地面(樓面)剛度，能有效減小振動影響。此外，還應考慮隔振縫設置及其有效的構造措施，壁板與地面及頂棚采用柔性連接等，均能減小振動傳遞。即減小了對精密設備、儀器儀表的振動影響。

　　在潔凈廠房設計中，應首先考慮對強振源采取隔振措施，以減小強振源對精密設備、儀器儀表的振動影響，在此基礎上，精密設備、儀器儀表再根據各自的容許振動值采取被動隔振措施，就大致能夠達到預定目的。

　　在原規(guī)范中，本條為強制性條文，雖然明確規(guī)定本條只用于有微振控制要求的潔凈廠房，但由于沒有量化的規(guī)定，容易引起執(zhí)行不準確的問題，實施以來確有此種情況發(fā)生，為此本次修訂將本條改為推薦性條文。

　　4.5.4  精密設備、儀器儀表的被動隔振措施，由隔振臺座及隔振器(或隔振裝置)組成。根據隔振設計計算需要，設定隔振臺座為不變形剛體，為此應對隔振臺座的形狀、幾何尺寸及材質選用等方面加以考慮，使之具有足夠的剛度。

　　某些精密設備、儀器儀表在運行時，由于移動部件位置變化或加工、測試件的質量及質心位置變化，使各隔振器的變形量不相等，隔振臺座發(fā)生傾斜，導致精密設備、儀器儀表難以正常工作。為此，應設置校正傾斜裝置，使隔振臺座保持原有的水平度，以保證精密設備、儀器儀表的正常運行。

　　隔振系統(tǒng)阻尼過小，會產生較大的自振，以及受外界突發(fā)干擾(如對隔振臺座的沖擊、室內氣流的擾動影響等)，造成隔振臺座晃動，這種振動值有時會大于精密設備、儀器儀表的容許振動值，影響其正常運行。為此應增大隔振系統(tǒng)阻尼值，才能減小此類振動。通過多項工程實踐表明，隔振系統(tǒng)阻尼比不小于0.15是比較恰當?shù)摹?/p>

　　4.5.5  空氣彈簧的垂直向、橫向剛度很低，使隔振系統(tǒng)具有很低的固有振動頻率，同時它具有可調節(jié)阻尼值的特性，隔振系統(tǒng)可獲得需要的阻尼，因此，隔振系統(tǒng)具有良好的隔振效果。當配用高精度控制閥時，可自動校正隔振臺座的傾斜。由于空氣彈簧具有其他隔振材料及隔振器不可替代的優(yōu)越性，已被我國及國際工程界普遍采用作為精密設備、儀器儀表的隔振元件。

　　用于被動隔振措施的空氣彈簧隔振裝置由空氣彈簧隔振器、高精度控制閥、儀表箱及氣源組成。由于空氣彈簧隔振裝置在校正隔振臺座傾斜時會排出氣體(如壓縮空氣、氮氣等)，因此對氣源應進行凈化處理，使其達到潔凈室的空氣潔凈度等級，才能保證排出的氣體不致對潔凈室造成污染。