附錄G 潔凈室氣密性檢測方法

　　G.1 原 理

　　G.1.1 保持室內(nèi)為正壓或負壓均能滿足檢驗要求，但條件允許時，負壓潔凈室宜用正壓檢驗，正壓潔凈室宜用負壓檢驗。

　　G.1.2 可按以下方法進行檢測：

　　1 壓力衰減法

　　使室內(nèi)達到某一壓力(正壓或負壓)，關閉加壓或抽負壓系統(tǒng)，觀察壓力隨時間衰減的情況，記錄下壓力衰減到起始壓力的一半時所用的時間，即為測量室內(nèi)正壓或負壓的半衰期。

　　2 恒壓法

　　使室內(nèi)達到某一正壓，同時向室內(nèi)補氣，使室壓達到要求的穩(wěn)定值而不下降時的補氣量即為漏泄量。使室內(nèi)達到某一負壓，使室壓維持要求的穩(wěn)定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量。

　　G.2 壓力衰減法

　　G.2.1 測試系統(tǒng)如圖G.2.1所示。

　　G.2.2 可按以下步驟進行檢測

　　1 將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內(nèi)并保持穩(wěn)定，記錄壓力衰減測試過程中室內(nèi)溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃)。

　　2 關閉所測潔凈室圍護結構上的門、傳遞窗等，關閉回風管(或排風管)上的氣密閥門，不得在風口上加其他密封措施，并維持各種孔洞縫隙的密封現(xiàn)狀。

　　3 開啟送風，使室內(nèi)壓力上升至已商定的測試壓力(壓力計量程至少為測試壓力的1.5倍，最小示值不宜大于10Pa)，壓力穩(wěn)定后，停止送風，關閉送風閥門。

　　4 或反之關閉送風管上的閥門，如果送風管上無閥或閥不嚴，應在送風口上用塑料膜加盲板的方法封住風口，開啟排風，使室內(nèi)壓力下降至已商定的測試壓力，壓力穩(wěn)定后，停止排風，關閉排風氣密閥門。

　　5 從停上送(排)風起，記錄壓力隨時間衰減的數(shù)據(jù)，每1min記錄1次壓差和溫度，連續(xù)記錄至室內(nèi)壓力下降至初始壓力的一半時止。

　　6 測試結束后慢慢打開風閥，使房間壓力恢復到正常狀態(tài)。

　　7 如果需要進行重復測試，20min后進行。

　　8 當不用風機時也可用空氣壓縮機或真空泵。

　　G.2.3 檢測報告應包括以下內(nèi)容：

　　1 檢測條件，包括室內(nèi)溫度等。

　　2 檢測方法包括檢測所用儀器設備規(guī)格型號及精度;所測潔凈室壓力、溫度的動態(tài)變化;檢測持續(xù)的時間。

　　3 檢測結果包括所測潔凈室壓力下降至初始壓力的1/2時的時間內(nèi)壓力衰減率;所測潔凈室圍護結構嚴密性的評價。

　　G.3 恒 壓 法

　　G.3.1 測試系統(tǒng)如圖G.3.1所示。

　　G.3.2 可按以下步驟進行檢測：

　　1 將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內(nèi)并保持穩(wěn)定，記錄測試過程中室內(nèi)溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃)。

　　2 關閉所測潔凈室圍護結構上的門、傳遞窗等，關閉回風管(或排風管)上的閥門，如果風管上無閥或閥不嚴，應在回風口(或排風口)上用塑料膜加肓板的方法封住風口。

　　3 開啟送風，使室內(nèi)壓力上升至500Pa，停止送風，關閉送風閥門。

　　通過圍護結構上的孔洞和導管，由送風機或空氣壓縮機向室內(nèi)補氣，通過調(diào)節(jié)安裝在導管上的調(diào)節(jié)閥調(diào)整補氣流量，以維持潔凈室內(nèi)的壓力穩(wěn)定不下降，每隔1min記錄一次補氣管路上浮子流量計讀數(shù)，此數(shù)即為漏氣量，測試持續(xù)的時間宜不超過5min，取平均值。

　　4 反之關閉送風閥，開啟排風，當室內(nèi)壓力下降至-500Pa時關閉排風，開啟真空泵保持室內(nèi)壓力，記錄真空泵抽氣量，此數(shù)即漏泄量。

　　5 測試結束后慢慢打開風閥，使房間壓力恢復到正常狀態(tài)。

　　6 如果需要進行重復測試，20min后進行。

　　7 當不用風機時也可用空氣壓縮機或真空泵。

　　G.3.3 檢測報告應包括以下內(nèi)容：

　　1 檢測條件，包括室內(nèi)溫度等。

　　2 檢測方法包括檢測所用儀器設備規(guī)格型號及精度;室內(nèi)溫度的動態(tài)變化;漏泄量的動態(tài)變化。

　　3 檢測結果包括所測潔凈室5min內(nèi)的每小時漏泄率;所測潔凈室圍護結構嚴密性的評價。

　　G.4 安全要求

　　G.4.1 應制定防范預案。

　　G.4.2 必須對被檢驗室內(nèi)的溫度進行監(jiān)測。

　　G.4.3 恒壓法測試持續(xù)時間不宜太長。