D.1.1 潔凈室(區(qū))應(yīng)定期進(jìn)行性能測試。以認(rèn)證潔凈室(區(qū))始終符合本規(guī)范的要求。

　　D.1.2 潔凈室(區(qū))性能測試認(rèn)證工作，應(yīng)由專門檢測認(rèn)證單位承擔(dān)，并應(yīng)提交檢測報告。

　　D.1.3 測試和認(rèn)證工作之前，系統(tǒng)應(yīng)達(dá)到穩(wěn)定運(yùn)行。測試儀表應(yīng)在標(biāo)定證書有效使用期內(nèi)。

　　D.1.4 潔凈室(區(qū))的占用狀態(tài)應(yīng)有空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)，其性能測試和認(rèn)證宜為靜態(tài)或動態(tài)。

　　附錄D 潔凈室(區(qū))性能測試和認(rèn)證

　　D.1 通 則

　　D.1.1 潔凈室(區(qū))應(yīng)定期進(jìn)行性能測試。以認(rèn)證潔凈室(區(qū))始終符合本規(guī)范的要求。

　　D.1.2 潔凈室(區(qū))性能測試認(rèn)證工作，應(yīng)由專門檢測認(rèn)證單位承擔(dān)，并應(yīng)提交檢測報告。

　　D.1.3 測試和認(rèn)證工作之前，系統(tǒng)應(yīng)達(dá)到穩(wěn)定運(yùn)行。測試儀表應(yīng)在標(biāo)定證書有效使用期內(nèi)。

　　D.1.4 潔凈室(區(qū))的占用狀態(tài)應(yīng)有空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)，其性能測試和認(rèn)證宜為靜態(tài)或動態(tài)。

　　D.2 潔凈室(區(qū))性能測試要求

　　D.2.1 確認(rèn)潔凈室(區(qū))符合本規(guī)范要求，應(yīng)進(jìn)行下列基本測試：

　　1 空氣潔凈度等級測定;

　　2 靜壓差;

　　3 風(fēng)速或風(fēng)量。

　　D.2.2 空氣潔凈度等級、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量的認(rèn)證測試的最長時間間隔應(yīng)符合表D.2.2—1和表D.2.2—2的規(guī)定。

　　注1 若潔凈室(區(qū))運(yùn)行中已對粒子濃度、風(fēng)速、靜壓差進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測，且其測試值均符合本規(guī)范要求時，認(rèn)證的測試時間間隔可延長。具體間隔時間，可與認(rèn)證單位洽商。

　　2 空氣潔凈度等級認(rèn)證，可在靜態(tài)或動態(tài)檢測，洽商確定，

　　3 風(fēng)量測定，應(yīng)采用風(fēng)速計(jì)在風(fēng)口或風(fēng)管測定。

　　D.2.3 電子工業(yè)潔凈室(區(qū))的認(rèn)證測試，除空氣潔凈度等級、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量測試外，還應(yīng)根據(jù)需要進(jìn)行表D.2.3規(guī)定的洽商選擇測試項(xiàng)目。

　　D.3 潔凈室測試方法

　　D.3.1 風(fēng)量或風(fēng)速測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 對于單向流潔凈室，應(yīng)采用截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量，并應(yīng)取離高效過濾器300mm垂直于氣流的截面作為測試平面。應(yīng)將測試平面分成相等的柵格，每個柵格尺寸應(yīng)為600mm×600mm或末端空氣過濾器尺寸，測點(diǎn)應(yīng)在柵格中心或不應(yīng)少于3點(diǎn)。每一點(diǎn)的測試時間不應(yīng)少于10s。應(yīng)記錄平均值、最大值和最小值，并應(yīng)以算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。

　　2 對于非單向流潔凈室，每一點(diǎn)的測試時間不應(yīng)少于10s。

　　3 在每個末端空氣過濾器或散流器處，應(yīng)采用風(fēng)口法、風(fēng)管法、風(fēng)罩法等測量送風(fēng)風(fēng)速確定送風(fēng)量，每個測試位置的測點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于3點(diǎn)。

　　D.3.2 靜壓差測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 靜壓差的測定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時進(jìn)行。

　　2 儀器宜采用各種型式的微壓計(jì)，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。

　　3 潔凈廠房有多個潔凈室(區(qū))時，應(yīng)從最里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始，并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測。

　　D.3.3 已安裝的空氣過濾器泄漏測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 儀器應(yīng)使用采樣量大于1 l/mm的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。

　　2 應(yīng)在過濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1μm(0.5μm)粒子，粒子濃度應(yīng)大于3.5×107P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20～30mm處，并應(yīng)以5～20mm/s速度移動。應(yīng)檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。

　　D.3.4 潔凈度的檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 應(yīng)使用采樣量大于1 l/min光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器，應(yīng)根據(jù)粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計(jì)數(shù)效率等要求選用儀器。儀器應(yīng)有有效的標(biāo)定合格證書。

　　2 最少采樣點(diǎn)應(yīng)按下式計(jì)算：

　　NL=A0.5 (D.3.4—1)

　　式中 NL——最少采樣點(diǎn);

　　A——潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(m2)。

　　采樣點(diǎn)應(yīng)均勻分布于潔凈室(區(qū))的整個面積內(nèi)，并應(yīng)位于工作區(qū)的高度。

　　3 每一采樣點(diǎn)的每次采樣量應(yīng)按下式確定：

　　4 當(dāng)潔凈室(區(qū))僅有一個采樣點(diǎn)時，則在該點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次。

　　D.3.5 氣流流型的檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 氣流流型的檢測，宜采用氣流目測法。

　　2 氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注入法，并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。

　　3 示蹤線法應(yīng)為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細(xì)鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等，直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。

　　4 示蹤劑注入法，可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性，在高強(qiáng)度光源下進(jìn)行觀察或做成圖像。

　　5 應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進(jìn)行氣流目測，本法一般是與示蹤法結(jié)合，將在攝像機(jī)或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。

　　6 氣流目測的測點(diǎn)位置、儀器等，應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定。

　　D.3.6 溫度、相對濕度的檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 溫度、相對濕度的檢測應(yīng)在潔凈室(區(qū))內(nèi)氣流分布均勻狀態(tài)測試，并應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后安排進(jìn)行。溫度、相對濕度檢測應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)運(yùn)轉(zhuǎn)，并應(yīng)至少穩(wěn)定運(yùn)行1.0h后進(jìn)行。

　　2 相對濕度檢測應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積網(wǎng)格，每格最大面積應(yīng)為100m2，應(yīng)每格一個測點(diǎn)，但每個房間不應(yīng)少于2個測點(diǎn)。

　　3 檢測用探測器應(yīng)設(shè)在潔凈室(區(qū))內(nèi)的工作高度，且距潔凈室(區(qū))的吊頂、墻和地面不應(yīng)少于300mm。并應(yīng)考量潔凈室(區(qū))內(nèi)可能存在的熱源的影響。

　　4 檢測時間應(yīng)至少1.0h，并應(yīng)至少6mm進(jìn)行1次(30s)讀數(shù)、記錄。

　　D.3.7 噪聲檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級計(jì)。

　　2 潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測點(diǎn)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測點(diǎn)宜距地面1.1～1.5m，距墻應(yīng)大于3m;檢測點(diǎn)的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分，宜每100m2設(shè)一檢測點(diǎn)。

　　D.3.8 照度測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 潔凈室(區(qū))內(nèi)照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計(jì)。

　　2 照度檢測應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進(jìn)行。潔凈室(區(qū))照度檢測不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。

　　3 照度檢測點(diǎn)應(yīng)設(shè)在工作高度，宜距地面0.85m，應(yīng)每25m2設(shè)一個測點(diǎn)。

　　D.3.9 微振檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 潔凈室(區(qū))內(nèi)有微振控制要求的場所的檢測，應(yīng)采用符合精密設(shè)備、儀器容許振動值要求的微振測試分析系統(tǒng)進(jìn)行分階段測試。

　　2 微振檢測點(diǎn)應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))內(nèi)需進(jìn)行微振控制的精密設(shè)備、儀器的布置和微振控制設(shè)計(jì)的要求設(shè)置，一般檢測點(diǎn)應(yīng)設(shè)在微振控制相關(guān)的地面、樓面、基礎(chǔ)面等。

　　3 微振控制的檢測應(yīng)由具有相應(yīng)資質(zhì)的單位進(jìn)行。現(xiàn)場檢測數(shù)據(jù)等應(yīng)經(jīng)過科學(xué)分析后，提供微振控制檢測報告，應(yīng)包括檢測數(shù)據(jù)的分析、結(jié)論等。

　　D.3.10 自凈時間檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 自凈時間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。

　　2 自凈時間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn)，并宜以粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測，同時應(yīng)符合下列要求。

　　1)以大氣塵為基準(zhǔn)時，則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N0)。然后開機(jī)，定時讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時間(t)。

　　2)以人工塵源為基準(zhǔn)時，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N0)。然后開機(jī)，方法同上。

　　3 由初始濃度(N0)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度(N)、實(shí)際換氣次數(shù)(n)，可得到計(jì)算自凈時間(t0)，與實(shí)測自凈時間(t)進(jìn)行對比，如果t≤1. 2t0，為合格。

　　4 自凈時間檢測方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應(yīng)洽商確定。

　　D.3.11 密閉性檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 密閉性檢測或稱抑制滲漏測試，是測定潔凈室(區(qū))有無受污染的空氣從周圍具有相同或不相同靜壓的較低潔凈度等級的潔凈室(區(qū))或非潔凈室(區(qū))侵入。本檢測一般用于ISO 1～5級潔凈室(區(qū))。

　　2 采用粒子計(jì)數(shù)器法檢測潔凈室(區(qū))的密閉性，檢測時應(yīng)先測量緊靠被測圍護(hù)結(jié)構(gòu)表面外部的懸浮粒子濃度，一般此濃度應(yīng)比潔凈室(區(qū))內(nèi)濃度大104，并大于等于3. 5×106個/m3待測粒徑的粒子。

　　3 潔凈室(區(qū))的施工接縫，包括對墻板、吊頂?shù)慕涌p和管線、燈具等的接縫的滲漏檢測，應(yīng)在被測部位的50～100mm處掃描，其掃描速度為50mm/s。

　　潔凈室敞開門處的滲漏檢測，應(yīng)在距離門0.3～3.0m處測定潔凈室內(nèi)的懸浮粒子濃度。

　　記錄并報告比測得的外部相同粒徑粒子濃度大于10-3倍的讀數(shù)和位置。

　　D.4 認(rèn) 證

　　D.4.1 潔凈廠房性能測試認(rèn)證前，應(yīng)由業(yè)主與認(rèn)證單位簽訂協(xié)議書，協(xié)議書中應(yīng)明確檢測項(xiàng)目、測點(diǎn)位置及數(shù)量、測量要求和限值等，如測量空氣懸浮粒子濃度采樣點(diǎn)數(shù)、每次最少的空氣采樣量、采樣時間、每個采樣點(diǎn)的測量次數(shù)、測量時間間隔、被計(jì)數(shù)粒子的粒徑，以及粒子數(shù)的限值等。

　　D.4.2 按協(xié)議書規(guī)定及本附錄第D.2節(jié)的要求，以及本附錄第D.3節(jié)的方法進(jìn)行測試，若測試結(jié)果在規(guī)定的限值之內(nèi)，說明該潔凈室(區(qū))符合規(guī)定要求。若測試結(jié)果超過規(guī)定的限值，說明該潔凈室(區(qū))不符合要求，應(yīng)進(jìn)行改進(jìn)，在完成改進(jìn)工作之后，應(yīng)進(jìn)行再認(rèn)證。

　　D.4.3 每次性能測試或再認(rèn)證測試應(yīng)作記錄，并提交性能合格或不合格的綜合報告。測試報告應(yīng)包括下列內(nèi)容：

　　1 測試機(jī)構(gòu)的名稱、地址;

　　2 測試日期和測試者簽名;

　　3 執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的編號及標(biāo)準(zhǔn)出版日期;

　　4 被測試潔凈室(區(qū))的地址、測試項(xiàng)目、測點(diǎn)的特定編號及坐標(biāo)圖;

　　5 被測潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級、被測粒徑、被測潔凈室(區(qū))所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差、全部采樣點(diǎn)坐標(biāo)圖上注明所測的粒子濃度;

　　6 測量用儀器的編號和標(biāo)定證書;測試方法細(xì)則及測試中特殊情況，

　　7 測試結(jié)果包括所有測試項(xiàng)目的記錄數(shù)據(jù)、分析結(jié)論等;

　　8 對異常測試值進(jìn)行說明及數(shù)據(jù)處理;

　　9 注明上次的測試日期，

　　10 設(shè)施的測試檔案可作為下次檢測計(jì)劃的依據(jù)。

　　D.4.4 測試機(jī)構(gòu)應(yīng)提交潔凈室檢驗(yàn)證書、再檢驗(yàn)證書。

　　D.5 記 錄

　　D.5.1 記錄保存應(yīng)符合質(zhì)量控制程序的要求。

　　D.5.2 應(yīng)按常規(guī)或定期的測試方法和儀表檢測，將初始觀察記錄、計(jì)算、數(shù)據(jù)處理和最終報告，以及測試評價、報告人員簽名和日期進(jìn)行存檔。