9 純水供應(yīng)

　　9.1 一般規(guī)定

　　9.1.1 電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇，應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，并結(jié)合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設(shè)備供應(yīng)等情況，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。

　　9.1.2 純水的輸送干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi);潔凈室(區(qū))內(nèi)的純水支管宜暗裝。

　　9.1.3 穿越潔凈室(區(qū))墻壁、樓板、頂棚的純水管道應(yīng)設(shè)套管，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。

　　9.1.4 潔凈室(區(qū))內(nèi)純水管道的保溫材料，不得產(chǎn)生污染物，外表面應(yīng)平整、光滑、易于清潔。

　　9.2 純水系統(tǒng)

　　9.2.1 純水系統(tǒng)的設(shè)備配置除應(yīng)滿足所需水量和水質(zhì)的要求外，還應(yīng)滿足運(yùn)行靈活、安全可靠、便于操作管理、運(yùn)行費用低等要求。

　　9.2.2 純水的制備、儲存和輸送設(shè)備，應(yīng)符合電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 純水的制備、終端處理設(shè)備的選型和制造材料的選擇，應(yīng)滿足供水水質(zhì)、終端水質(zhì)的要求;

　　2 純水儲罐、輸送設(shè)備的選型和制造材料的選擇，應(yīng)確保水質(zhì)污染少、密封性好，不得有滲氣現(xiàn)象;

　　3 純水制備、儲存、輸送設(shè)備應(yīng)有效地防止水質(zhì)降低。

　　9.2.3 純水系統(tǒng)應(yīng)采用循環(huán)供水方式，宜采用單管式循環(huán)供水系統(tǒng)或設(shè)有獨立回水管的雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 循環(huán)回流水量應(yīng)大于設(shè)計供水量的30%;

　　2 干管流速應(yīng)大于等于1.5m/s;

　　3 不循環(huán)支管的長度不應(yīng)大于管徑的6倍;

　　4 干管應(yīng)設(shè)置清洗口;

　　5 管道系統(tǒng)必須密封，不得有滲氣現(xiàn)象;

　　6 應(yīng)配備在線水質(zhì)檢測儀表;

　　7 對純水水質(zhì)要求嚴(yán)格的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝，應(yīng)采用雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)。

　　9.2.4 純水系統(tǒng)中與純水直接接觸的設(shè)備表面應(yīng)光潔、平整、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、耐腐蝕、易清洗、易消毒。

　　9.2.5 用于純水系統(tǒng)的水質(zhì)檢測設(shè)備、量具、儀表，其連接不應(yīng)使純水水質(zhì)降低，其檢測范圍和精度應(yīng)符合純水生產(chǎn)和檢驗的要求。

　　9.2.6 純水精處理或終端處理裝置宜靠近用水生產(chǎn)設(shè)備設(shè)置。

　　9.3 管材、閥門和附件

　　9.3.1 純水系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用，應(yīng)符合下列要求：

　　1 應(yīng)滿足純水水質(zhì)指標(biāo)的要求;

　　2 材料的化學(xué)穩(wěn)定性應(yīng)好;

　　3 管道內(nèi)壁光潔度應(yīng)好;

　　4 不得有滲氣現(xiàn)象。

　　9.3.2 純水管道的閥門和附件的選用應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 應(yīng)選擇與管道相同的材質(zhì);

　　2 應(yīng)選用密封好、結(jié)構(gòu)合理、無滲氣現(xiàn)象的閥門;

　　3 對純水的水質(zhì)要求嚴(yán)格的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝用純水系統(tǒng)，應(yīng)采用隔膜閥。