3 空氣潔凈度等級

　　3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)內空氣中懸浮粒子空氣潔凈度等級應符合下列規(guī)定：

　　1 潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級應按表3.0.1確定。

　　表3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級

　　注：按不同的測量方法，各等級水平的濃度數(shù)據的有效數(shù)字不應超過3位。

　　2 各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應按下式計算：

　　式中：Cn——大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整數(shù)，有效位數(shù)不超過三位數(shù);

　　N——空氣潔凈度等級，數(shù)字不超過9，潔凈度等級整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量;

　　D——要求的粒徑(μm);

　　0.1——常數(shù)，其量綱為μm。

　　3 當工藝要求粒徑不止一個時，相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。

　　4 空氣潔凈度等級的粒徑范圍應為0.1μm～0.5μm，超出粒徑范圍時可采用U描述符或M描述符補充說明。

　　3.0.2 空氣潔凈度等級所處狀態(tài)包括空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)，空氣潔凈度等級所處狀態(tài)應與業(yè)主協(xié)商確定。

　　3.0.3 空氣潔凈度的測試方法應按本規(guī)范附錄A的要求進行。

　　3.0.4 當潔凈室(區(qū))內的產品生產工藝要求控制微生物、化學污染物時，應根據工藝特點對各空氣潔凈度等級規(guī)定相應的微生物、化學污染物濃度限值。

　　條文說明

　　3 空氣潔凈度等級

　　3.0.1 本規(guī)范修訂過程中，涉及潔凈技術的各有關單位、科技人員和專家們都強烈希望“規(guī)范應與國際接軌”，為此，本規(guī)范修訂中將空氣潔凈度等級等效采用國際標準《潔凈室及相關被控環(huán)境——第一部分，空氣潔凈度的分級》IS0 14644-1，在該標準中列出的空氣潔凈度整數(shù)等級(表3.0.1)及其關注的大于或等于要求粒徑的允許濃度有爭議時，可將式(3.0.1)得出的濃度Cn作為標準限值。由于空氣潔凈度等級的分級規(guī)定是潔凈廠房設計建造必須遵循的規(guī)定，所以本條的第1款～第3款為強制性條文。

　　3.0.4 隨著科學技術的發(fā)展，目前在一些高科技產品用潔凈廠房中，不僅要求控制潔凈室(區(qū))內的微粒，還要求控制各類微生物、化學污染物，為此增加了本條規(guī)定。