5 工藝設(shè)計

　　5.1 一般規(guī)定

　　5.1.1 潔凈廠房的工藝設(shè)計、工藝布局應(yīng)為電子產(chǎn)品發(fā)展以及產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)預(yù)留必要的條件。

　　5.1.2 潔凈廠房工藝設(shè)計應(yīng)確定各種生產(chǎn)條件，在滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下，應(yīng)做到安全性能好、建設(shè)投資少、能量消耗少、運行費用低、生產(chǎn)效率高。

　　5.1.3 潔凈廠房工藝設(shè)計應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求設(shè)置人流路線、物料運輸和倉儲設(shè)施。

　　5.2 工藝布局

　　5.2.1 潔凈廠房的工藝布置應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設(shè)備的安裝和維修、物料運輸?shù)纫蟠_定。

　　在單向流潔凈室內(nèi)進行生產(chǎn)工藝設(shè)備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時，應(yīng)采取避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的措施。

　　5.2.2 工藝布局應(yīng)避免人流和物流之間的混雜和交叉，宜分別設(shè)置人員入口、物料入口和設(shè)備出入口，并應(yīng)在各自的入口處設(shè)置相應(yīng)的凈化設(shè)施。

　　5.2.3 在滿足生產(chǎn)工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度嚴格的潔凈室(區(qū))宜靠近空調(diào)機房布置;空氣潔凈度等級相同的工序或工作室宜集中布置。

　　5.2.4 潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠離出入口和可能干擾氣流的場所設(shè)置，并宜布置在上風側(cè);易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風口位置或下風側(cè)。

　　5.2.5 工藝布置時，應(yīng)根據(jù)大型生產(chǎn)工藝設(shè)備的運輸、安裝、維修的要求設(shè)置運輸通道、安裝口或檢修口。

　　5.2.6 潔凈廠房內(nèi)不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間聯(lián)系頻繁時，應(yīng)采取防止污染的措施。

　　5.3 人員凈化

　　5.3.1 人員凈化用室和設(shè)施應(yīng)根據(jù)潔凈室的規(guī)模、空氣潔凈度等級設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置生活用室。人員凈化用室宜按圖5.3.1的人員凈化程序進行布置。

　　5.3.2 人員凈化用室，應(yīng)根據(jù)換鞋(凈鞋)、更外衣、更潔凈工作服等的需要設(shè)置。雨具存放、廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用房和空氣吹淋室、氣閘室、潔凈工作服洗滌間及干燥間等其他用室，可根據(jù)需要設(shè)置。

　　5.3.3 潔凈廠房內(nèi)人員凈化用室和生活用室的建筑面積，應(yīng)根據(jù)潔凈室的規(guī)模、空氣潔凈度等級和潔凈室內(nèi)工作人員數(shù)量等確定，宜按潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)計人數(shù)平均2～4m2/人計算。

　　5.3.4 人員凈化用室和生活用房的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 凈鞋設(shè)施應(yīng)設(shè)在潔凈室入口處;

　　2 更換外衣和更換潔凈工作服用室不應(yīng)設(shè)置在同一房間內(nèi);

　　3 外衣存放柜應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)計人數(shù)配置;

　　4 應(yīng)設(shè)置存放潔凈工作服，且?guī)в锌諝鈨艋拇嬉略O(shè)施;

　　5 應(yīng)設(shè)置感應(yīng)式洗手和烘干設(shè)施;

　　6 廁所宜設(shè)在進入人員凈化用室之前，需設(shè)在人員凈化用室內(nèi)時，應(yīng)設(shè)置前室。

　　5.3.5 潔凈廠房空氣吹淋室的設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：

　　1 在潔凈室(區(qū))的入口處宜設(shè)空氣吹淋室。當不設(shè)空氣吹淋室時，應(yīng)設(shè)氣閘室;

　　2 吹淋室應(yīng)設(shè)在更換潔凈工作服后的相鄰部位;

　　3 單人空氣吹淋室，應(yīng)按最大班人數(shù)每30人設(shè)一臺。潔凈室(區(qū))工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門;

　　4 空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟，應(yīng)采取連鎖控制措施;

　　5 空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室(區(qū))，宜設(shè)氣閘室。

　　5.3.6 人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級，宜由外至內(nèi)逐步潔凈，室內(nèi)可送入經(jīng)過高效空氣過濾的潔凈空氣。

　　潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級;當設(shè)有潔凈工作服洗滌室時，洗滌室的空氣潔凈度等級宜為8級。

　　5.4 物料凈化

　　5.4.1 潔凈室(區(qū))內(nèi)的設(shè)備和物料出入口，應(yīng)獨立設(shè)置，并應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的特征、性質(zhì)、形狀等設(shè)置凈化用室及相應(yīng)物凈設(shè)施。

　　5.4.2 物料凈化用室與潔凈室(區(qū))之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。

　　5.5 設(shè)備及工器具

　　5.5.1 潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)采用具有防塵、防污染的生產(chǎn)設(shè)備和輔助生產(chǎn)設(shè)備，并應(yīng)符合下列要求：

　　1 表面應(yīng)光潔、易清潔、不積塵、不揮發(fā)化學(xué)物質(zhì);

　　2 設(shè)備的傳動部件等應(yīng)密封性能好，并應(yīng)防止?jié)櫥汀⒗鋮s劑等的泄漏;

　　3 對生產(chǎn)中發(fā)塵、排熱量大或排出有毒、可燃氣體的設(shè)備，應(yīng)采取防擴散措施;

　　4 設(shè)備的金屬外殼應(yīng)設(shè)置接地設(shè)施。

　　5.5.2 當設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時，宜采取密封隔斷措施。

　　5.5.3 潔凈室(區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時，應(yīng)采取隔聲措施。

　　5.5.4 潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進行凈化處理的設(shè)施。

　　5.5.5 潔凈室(區(qū))內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用專用容器。用于存放和傳送的專用容器，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 制作材料應(yīng)光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應(yīng)被氧化;

　　2 應(yīng)密封性能好;

　　3 當存放物有嚴格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣;

　　4 構(gòu)造、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)方便操作和運送。

　　5.5.6 潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)置真空泵時，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 使用油潤滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng);

　　2 對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過爆炸下限的20%時，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃氣體組分;

　　3 傳輸易燃、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。