6.1 一般規(guī)定

　　6.1.1 潔凈室氣體系統(tǒng)施工包含工作壓力一般不高于1MPa潔凈的和高純的永久氣體、特種氣體、醫(yī)用氣體、可燃?xì)怏w、惰性氣體輸送管道以及真空吸引管道等的施工與驗收。

　　6.2 管材及附件

　　6.2.1 氣體系統(tǒng)管道材質(zhì)及附件，應(yīng)按設(shè)計要求選配，如設(shè)計未作明確要求，選用時應(yīng)與潔凈室潔凈度級別和輸送氣體性質(zhì)相適應(yīng)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 應(yīng)使用無縫管材。

　　2 管材內(nèi)表面吸附、解吸氣體的作用小。

　　3 管材內(nèi)表面應(yīng)光滑、耐磨損。

　　4 應(yīng)具有良好的抗腐蝕性能。

　　5 管材金屬組織在焊接處理時不應(yīng)發(fā)生變化。

　　6 負(fù)壓管道不宜采用普通碳鋼管。

　　6.2.2 所用管材應(yīng)放在室內(nèi)保管，不得重疊碼放。管道應(yīng)無裂紋、縮孔、夾渣、起瘤、折疊、重皮、銹斑、表面損傷等缺陷。管道應(yīng)平直、圓滑。

　　6.2.3 成品管外包裝和相應(yīng)管端頭的管帽、堵頭等密封措施應(yīng)有效、無破損。

　　6.2.4 氧氣閥門必須采用專用產(chǎn)品，其密封圈應(yīng)采用有色金屬、聚四氟乙烯等材質(zhì)。填料應(yīng)采用經(jīng)脫脂處理的聚四氟乙烯。

　　6.2.5 采用銅材的高純氣體管路，可用不銹鋼材質(zhì)的附件，但在不銹鋼材質(zhì)的管路中，不應(yīng)采用銅質(zhì)的附件。

　　6.3 管道系統(tǒng)安裝

　　6.3.1 管道安裝前應(yīng)進(jìn)行以下準(zhǔn)備工作：

　　1 配管下料時應(yīng)采用“等離子切割”或?qū)Ｓ们懈钿?、割管刀等工具，不?yīng)采用氧—乙炔焰切割，不得涂抹油脂或潤滑劑。

　　2 管道切口應(yīng)與管軸線垂直，切口表面應(yīng)平整、無裂紋，應(yīng)去除毛刺。

　　3 在主管道上連接支管或部件時，宜用成品連接件。

　　4 普通不銹鋼管應(yīng)在工廠的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水沖洗干凈。

　　5 氧氣管道及附件，安裝前應(yīng)按相關(guān)規(guī)定方法進(jìn)行脫脂，脫脂應(yīng)在遠(yuǎn)離潔凈室的地點進(jìn)行，并做好操作人員的安全與環(huán)境保護(hù)工作。

　　6.3.2 管道敷設(shè)應(yīng)符合設(shè)計要求，設(shè)計無要求時，應(yīng)敷設(shè)在人員不易碰撞的高度上，否則應(yīng)有防護(hù)設(shè)施。輸送干燥氣體的管道宜無坡度敷設(shè);真空吸引管道和含濕氣體管道的坡度宜大于或等于0.3%，坡向真空泵站或冷凝水收集器。

　　6.3.3 不銹鋼管道應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《現(xiàn)場設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗收規(guī)范》GB 50236的要求采用氬弧焊焊接連接，焊接時管內(nèi)應(yīng)充氬氣保護(hù)，直至焊接、吹掃、冷卻完畢后停止充氣。

　　6.3.4 有接地要求的管道，法蘭間必須接有多芯導(dǎo)電跨線。

　　6.3.5 穿過圍護(hù)結(jié)構(gòu)進(jìn)入潔凈室的氣體管道，應(yīng)設(shè)套管，套管內(nèi)管材不應(yīng)有焊縫與接頭，管材與套管間應(yīng)用不燃材料填充并密封，套管兩端應(yīng)有不銹鋼盤型封蓋。

　　6.3.6 高純氣體管道的安裝，除應(yīng)符合以上有關(guān)條款規(guī)定外，還應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 經(jīng)脫脂或拋光處理的不銹鋼管，安裝前應(yīng)采取保護(hù)措施，防止二次污染。

　　2 管道預(yù)制、分段組裝作業(yè)，不得在露天環(huán)境中進(jìn)行。

　　3 分段預(yù)制或組裝的管段完成后兩端應(yīng)用膜、板等封閉。

　　4 高純氣體管道為無縫銅管時，應(yīng)采用承插式硬釬焊焊接。

　　焊接紫銅管時應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《磷銅釬料》GB/T 6418要求選用磷銅釬料;焊接紫銅與黃銅管時宜按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《銀基釬料》GB10046要求，選用HL304含銀量為50%的銀基釬料。管內(nèi)應(yīng)通入與工藝氣體同等純度的氮氣作為保護(hù)氣體并吹除，不宜用沾水紡織材料擦拭。

　　5 高純氣體管道如無法避免用螺紋連接時，官在銅與銅、銅與銅合金附件外螺紋上均勻掛錫，非氧氣管道宜采用聚四氟乙烯帶纏繞管口螺紋。

　　6 不銹鋼管、銅管應(yīng)冷彎，彎管半徑宜大于等于5倍管材外徑;管壁不得起皺。

　　7 高純氣體管道為聚偏二氟乙烯(PVDF)管時，應(yīng)采用自動或半自動熱焊機焊接連接。兩管對接面錯邊不應(yīng)大于1mm。

　　不同壁厚的管子不得對焊，熱焊接連接時應(yīng)采取保護(hù)環(huán)境和人員安全的措施。

　　8 管道系統(tǒng)支架間距應(yīng)小于普通氣體管道的支架間距，并應(yīng)采用吊架、彈簧支架、柔性支撐等固定方式。應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道工程施工及驗收規(guī)范》GB 50235的要求，在不銹鋼管與鋼

　　支架之間墊入不銹鋼或氯離子含量不超過50×10-6(50ppm)的非金屬墊層。

　　9 潔凈室內(nèi)高純氣體與高干燥度氣體管道應(yīng)為無坡度敷設(shè)，不考慮排水功能，終端應(yīng)設(shè)放氣管。

　　6.3.7 醫(yī)用氣體管道安裝后應(yīng)加色標(biāo)。不同氣體管道上的接口應(yīng)專用，不得通用。

　　6.4 管道系統(tǒng)的強度試驗

　　6.4.1 可燃?xì)怏w和高純氣體等特殊氣體閥門安裝前應(yīng)逐個進(jìn)行強度和嚴(yán)密性試驗。管路系統(tǒng)安裝完畢后應(yīng)對系統(tǒng)進(jìn)行強度試驗。強度試驗應(yīng)采用氣壓試驗，并應(yīng)采取嚴(yán)格的安全措施，不得采用水壓試驗。當(dāng)管道的設(shè)計壓力大于0.6MPa時，應(yīng)按設(shè)計文件規(guī)定進(jìn)行氣壓試驗。

　　6.4.2 氣壓試驗應(yīng)采用潔凈度與潔凈室等級匹配的惰性氣體或壓縮空氣進(jìn)行，試驗壓力為設(shè)計壓力的1.15倍。

　　試驗時應(yīng)逐步緩慢增加壓力，當(dāng)壓力升至試驗壓力50%時，如未發(fā)現(xiàn)異常與泄漏，繼續(xù)按試驗壓力的10%逐級升壓，每級穩(wěn)壓3min，直至試驗壓力。穩(wěn)壓10min后，再將壓力降至設(shè)計壓力，停壓時間以查漏工作的需要而定，以發(fā)泡劑檢驗無泄漏為合格。

　　6.4.3 真空管道的氣壓試驗壓力應(yīng)為0.2MPa。

　　6.4.4 當(dāng)管道輸送的介質(zhì)為有毒氣體、腐蝕性氣體、可燃?xì)怏w時，應(yīng)進(jìn)行最高工作壓力下的泄漏試驗。對管段之間焊接接頭、管路的分支接頭、閥門的填料、法蘭或螺紋的連接處，包括全部金屬隔膜閥、波紋管閥、調(diào)節(jié)閥、放空閥、排氣閥等，應(yīng)以發(fā)泡劑檢驗不泄漏為合格。

　　經(jīng)過氣壓試驗合格的系統(tǒng)，試驗后未經(jīng)拆卸，該管路系統(tǒng)可不再進(jìn)行泄漏試驗。

　　6.4.5 真空管道在強度試驗與泄漏試驗合格后，應(yīng)在系統(tǒng)聯(lián)動運轉(zhuǎn)前，以設(shè)計壓力進(jìn)行真空度試驗。試驗宜在氣溫變化較小的環(huán)境中進(jìn)行，試驗時間應(yīng)為24h，增壓率不應(yīng)大于3%。

　　6.5 管道系統(tǒng)的吹除

　　6.5.1 氣體管道各項試驗合格后，應(yīng)使用與潔凈室潔凈度級別匹配的潔凈無油壓縮空氣或高純氮氣吹除管內(nèi)污物，吹除氣流流速應(yīng)大于20m/s，直至末端排出氣體在白紙上無污痕為合格。

　　6.5.2 管道吹除合格后，應(yīng)再以實際輸送的氣體，在工作壓力下，對管道系統(tǒng)進(jìn)行吹除，應(yīng)無異常聲音和振動為合格。輸送可燃?xì)怏w的管道在啟用之前，應(yīng)用惰性氣體將管內(nèi)原有氣體置換。

　　6.6 氣體供給裝置

　　6.6.1 瓶裝氣體供給裝置應(yīng)安裝在使用潔凈室之外的房間，兩室之間穿墻的管道應(yīng)加套管，并應(yīng)在管道與套管間隙填滿不燃材料并加密封。

　　6.6.2 裝置出口管道上的安全閥在安裝前應(yīng)進(jìn)行閥門開啟檢查。開啟壓力、密封壓力和回座壓力應(yīng)符合安全閥性能要求。

　　6.6.3 集中式真空吸引裝置應(yīng)安裝在遠(yuǎn)離潔凈室的建筑物外，安裝時應(yīng)采取有效隔聲防振措施，與其連接的彎管半徑不應(yīng)小于5倍管外徑，過濾清除設(shè)施應(yīng)安在排氣口。

　　6.7 分項驗收

　　6.7.1 氣體系統(tǒng)分項驗收應(yīng)首先檢查以下各項：

　　1 各種成品應(yīng)有產(chǎn)品合格證，材料應(yīng)有質(zhì)量證明文件。

　　2 實際使用的管道材料和規(guī)格應(yīng)符合設(shè)計要求。

　　3 系統(tǒng)安裝應(yīng)完整、正確，連接應(yīng)可靠。除樓層或區(qū)域總管與所安裝系統(tǒng)的供氣閥門(或供氣管)不連接外，其他管路、閥門和附件都應(yīng)安裝連接完畢。

　　4 不同系統(tǒng)的管道應(yīng)有明顯的識別標(biāo)志，需裝拆、檢修、維護(hù)的地方必須有識別標(biāo)志，每個支、吊架附近也應(yīng)有識別標(biāo)志。

　　6.7.2 氣體系統(tǒng)的分項驗收應(yīng)包括以下主控項目：

　　1 所有氣體管道都應(yīng)進(jìn)行氣密檢查，檢查用壓力表精度等級不應(yīng)低于1.5級，指示壓力應(yīng)在表量程1/3～2/3之間。

　　檢驗方法：檢查記錄。

　　檢驗數(shù)量：全部系統(tǒng)管道。

　　2 高純氣體管道安裝完畢應(yīng)徹底吹除，并對排氣潔凈度、干燥度和輸送氣體純度進(jìn)行檢查。

　　試驗介質(zhì)為管道實際輸送的氣體或氮氣。試驗介質(zhì)的潔凈度以微粒數(shù)衡量，干燥度以水痕量濃度衡量，純度以氧、二氧化碳痕量濃度衡量。

　　檢驗方法：檢查有資質(zhì)的檢驗單位的檢驗報告。

　　檢驗數(shù)量：全部檢驗報告。

　　3 按設(shè)計要求做管材樣板檢查的，管材軸向剖面長度不應(yīng)小于60mm。

　　檢驗方法：檢查記錄和樣板。

　　檢驗數(shù)量：抽查30%。

　　4 對輸送壓力大于等于0.5MPa的可燃?xì)怏w、有毒氣體的管道焊接處應(yīng)進(jìn)行抽樣射線照相檢查，并應(yīng)符合設(shè)計的焊縫等級要求。

　　檢驗方法：X射線無破損檢測。

　　檢驗數(shù)量：全部。

　　5 氣體管道應(yīng)在氣密性檢驗合格后進(jìn)行泄漏率檢查，以設(shè)計壓力保持24h后泄漏率不超過0.5%為合格。允許堵漏后再試驗。

　　泄漏率按下式計算：