6.1.1  潔凈的生產(chǎn)環(huán)境是生產(chǎn)工藝的需要，是確保產(chǎn)品的成品率和產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性、長壽命所必需的。隨著我國國民經(jīng)濟的發(fā)展，各行各業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的溫度、相對濕度和潔凈度的要求也越來越高。例如：大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展很快，在1980年時其集成度只有64kB，而到目前集成度已提高到1GB;64kB集成電路前工序生產(chǎn)所要求生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度等級只有4級和5級，而1GB集成電路前工序生產(chǎn)對生產(chǎn)環(huán)境潔凈度等級的要求提高到1級和2級(0.1μm)。

　　不同的生產(chǎn)工藝、不同的生產(chǎn)工序?qū)ιa(chǎn)環(huán)境的要求也是不相同的，因此，確定潔凈室的空氣潔凈度等級時應根據(jù)不同工藝、不同工序?qū)Νh(huán)境的潔凈度要求而定。

　　根據(jù)不同生產(chǎn)工藝、不同生產(chǎn)工序?qū)Νh(huán)境潔凈度的不同要求，該高則高，該低則低，盡量縮小高潔凈度等級部分的面積，以局部  高等級凈化和全室較低等級凈化的潔凈室系統(tǒng)代替全室高等級凈化的潔凈室系統(tǒng)。既能確保不同生產(chǎn)工藝對環(huán)境的要求，又能大幅度地降低初投資和運行費用。

　　例如：對于生產(chǎn)1GB超大規(guī)模集成電路前工序的潔凈室來說，在整個生產(chǎn)過程中只有少數(shù)工序(制版、光刻等)對環(huán)境的潔凈度等級要求最高為1級或2級，而其他大部分工序只要求5級、6級，甚至只有7級。不需將全部潔凈室都設計為1級或2級。

　　6.1.4  人是潔凈室內(nèi)主要的發(fā)塵源，作業(yè)人員進入潔凈室必須穿著與潔凈室的空氣潔凈度等級相適應的潔凈工作服。由于潔凈工作服的透氣性較差，為了保證作業(yè)人員的工作環(huán)境，提高勞動生產(chǎn)率，在潔凈室生產(chǎn)工藝對環(huán)境的溫、濕度沒有特殊要求時，潔凈室內(nèi)的溫度主要是為了作業(yè)人員的舒適。因此，潔凈室溫度冬季為20℃～22℃，夏季為24℃～26℃，濕度冬季為30%～50%，夏季為50%～70%，比較適宜。由于潔凈室(區(qū))的溫度、相對濕度首先應按生產(chǎn)工藝要求確定，只有在生產(chǎn)工藝無要求時，才能按本條的規(guī)定根據(jù)作業(yè)人員的舒適度確定，但在本規(guī)范實施中因潔凈廠房生產(chǎn)的產(chǎn)品多種多樣，作業(yè)人員多少和工作條件也不相同，所以強制執(zhí)行有困難，為此本次修訂改為推薦性條文。

　　6.1.5 本條為強制性條文?，F(xiàn)行國家標準《采暖通風與空氣調(diào)節(jié)設計規(guī)范》GB  50019中對一般工業(yè)廠房的新鮮空氣量的規(guī)定為每人每小時不小于30m3。由于新鮮空氣量是確保潔凈室(區(qū))作業(yè)人員健康的重要條件之一，所以本次修訂中對潔凈室(區(qū))的新鮮空氣量規(guī)定為應取補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和，保證供給潔凈室(區(qū))內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。兩項中的最大值。

　　6.2 潔凈室壓差控制

　　6.2.1  為了保證潔凈室在正常工作或空氣平衡暫時受到破壞時，氣流都能從空氣潔凈度高的區(qū)域流向空氣潔凈度低的區(qū)域，使?jié)崈羰业臐崈舳炔粫艿轿廴究諝獾母蓴_，所以潔凈室必須保持一定的壓差。

　　在國內(nèi)外潔凈室標準和潔凈度等級中，對潔凈室內(nèi)壓差值的大小都作了明確規(guī)定。

　　壓差值的大小應選擇適當。壓差值選擇過小，潔凈室的壓差很容易破壞，潔凈室的潔凈度就會受到影響。壓差值選擇過大，就會使凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風量增大，空調(diào)負荷增加，同時使中效、高效過濾器使用壽命縮短，故很不經(jīng)濟。另外，當室內(nèi)壓差值高于50Pa時，門的開關就會受到影響。因此，潔凈室壓差值的大小應根據(jù)我國現(xiàn)有潔凈室的建設經(jīng)驗，參照國內(nèi)外有關標準和試驗研究的結果合理確定。

　　自《潔凈廠房設計規(guī)范》GBJ  73-84在1985年頒布以來，我國按規(guī)范設計、建造了數(shù)百萬平方米的各種潔凈級別的潔凈室，并且都經(jīng)過了數(shù)年的運行考驗，滿足了工藝要求。實踐經(jīng)驗證明，《潔凈廠房設計規(guī)范》GBJ  73-84中有關潔凈室內(nèi)正壓值的選擇是正確的、可行的。

　　已頒布實施的國際標準《潔凈室及相關受控環(huán)境——第一部分，空氣潔凈度的分級》IS0 14644-1和日本工業(yè)標準《潔凈室懸浮粒子檢測方法》JIS  9920、俄羅斯國家標準《潔凈室及相關受控環(huán)境》TOCTP  50766等有關現(xiàn)行的潔凈室標準中都明確規(guī)定，為了保持潔凈室的潔凈度等級免受外界的干擾，對于不同等級的潔凈室之間、潔凈室與相鄰的無潔凈度級別的房間之間都必須維持一定的壓差。雖然各個國家規(guī)定的最小壓差值不盡相同，但最小壓差值都在5Pa以上。

　　由于潔凈室(區(qū))與周圍空間維持一定的壓差是實現(xiàn)空氣潔凈度的基本條件，為此，規(guī)定本條為強制性條文。

　　6.2.2  試驗研究的結果表明，潔凈室內(nèi)正壓值受室外風速的影響，室內(nèi)正壓值要高于室外風速產(chǎn)生的風壓力。當室外風速大于3m/s時，產(chǎn)生的風壓力接近5Pa，若潔凈室內(nèi)正壓值為5Pa時，室外的污染空氣就有可能滲漏到室內(nèi)。但根據(jù)現(xiàn)行國家標準《采暖通風和空氣調(diào)節(jié)設計規(guī)范》GB  50019編制組提供的全國氣象資料統(tǒng)計，全國203個城市中有74個城市的冬夏平均風速大于3m/s，占總數(shù)的36.4%。這樣如果潔凈室與室外相鄰時，其最小的正壓值應該大于5Pa。因此，規(guī)定潔凈室與室外的最小壓差為10Pa。由于各行各業(yè)的潔凈廠房內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝不同，各產(chǎn)品生產(chǎn)工序的條件差異，不同等級或潔凈室(區(qū))與非潔凈室(區(qū))之間的壓差取值均有差別，所以本次修訂將本條改為推薦性條文。

　　6.2.3  國內(nèi)外潔凈室壓差風量的確定，多數(shù)是采用房間換氣次數(shù)估算的。因為壓差風量的大小是與潔凈室圍護結構的氣密性及維持的壓差值大小有關，對于相同大小的房間，由于門窗的數(shù)量及形式的不同，氣密性不同，導致滲漏風量也不同，故維持同樣大小的壓差值所需壓差風量就有所差異。兇此，在選取換氣次數(shù)時，對于氣密性差的房間取上限，氣密性較好的房間可取得小一些。

　　(1)  采用縫隙法來計算滲漏風量，既考慮了潔凈室圍護結構的氣密性，又考慮了室內(nèi)維持不同的壓差值所需的正壓風量。因此，縫隙法比按房間的換氣次數(shù)估算法較為合理和精確。

　　單位長度縫隙滲漏空氣量用公式計算是比較困難的，一般是通過不同形式的門、窗進行多次試驗的數(shù)據(jù)統(tǒng)計后得出的。表7是對國內(nèi)潔凈室的20多種常用的門、窗在實驗室進行了大量的試驗后取得的數(shù)據(jù)，雖然近年來潔凈室門窗的材料和形式有很大的發(fā)展，但目前還有部分潔凈室仍然采用鋼制密封門窗，故表7中的數(shù)據(jù)仍可供設計時參考。

　　表7 圍護結構單位長度縫隙的滲漏風量

　　縫隙法宜按下式計算：

　　Q=a·∑(q·L)

　　式中：Q——維持潔凈室壓差值所需的壓差風量(m3/h);

　　a——根據(jù)圍護結構氣密性確定的安全系數(shù)，可取1.1～1.2;

　　q——當潔凈室為某一壓差值時，其圍護結構單位長度縫隙的滲漏風量(m3/h·m);

　　L——圍護結構的縫隙長度(m)。

　　(2) 換氣次數(shù)法，宜按下列數(shù)據(jù)選用：

　　壓差5Pa時，取1次/h～2次/h。

　　壓差10Pa時，取2次/h～4次/h。

　　6.2.4  潔凈室(區(qū))的正壓或負壓是以對室內(nèi)的送風量、回風量和排風量平衡協(xié)調(diào)實現(xiàn)的，為確保潔凈室所需的正壓值或負壓值，通常還應將送風、回風和排風系統(tǒng)順序啟停，為此作了本條規(guī)定。但實踐證明，由于各行各業(yè)的潔凈室(區(qū))的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝或使用要求不同，有些潔凈室是間斷、不連續(xù)運行，所以送風、回風和排風系統(tǒng)的啟停雖然大多采用聯(lián)鎖控制，而有的也采用手動控制，為此本次修改將本條改為推薦性條文。

　　6.2.5  根據(jù)對國內(nèi)潔凈室的調(diào)查表明，有一部分潔凈室設置了值班風機，但多數(shù)潔凈室沒有設置值班風機，而是采用上班前提前半小時運行凈化空調(diào)系統(tǒng)達到潔凈室自凈的方法。

　　非連續(xù)性運行的潔凈室設置值班送風的問題，應根據(jù)生產(chǎn)工藝具體情況而定。如果生產(chǎn)工藝要求嚴格，在空氣凈化調(diào)節(jié)系統(tǒng)停止運行時，會污染室內(nèi)放置的半成品，又不能采用局部處理時最好設置值班送風，值班送風系統(tǒng)應送出經(jīng)過凈化空調(diào)處理的空氣，以避免潔凈室內(nèi)產(chǎn)品或設備結露。

　　6.3　氣流流型和送風量

　　6.3.1 潔凈室的氣流流型應考慮避免或減少渦流。這樣可以減少二次氣流，有利于迅速有效地排除粒子。

　　對于空氣潔凈度要求不同的潔凈室(區(qū))，所采用的氣流流型亦應不同。近年在電子工廠潔凈廠房或醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房內(nèi)，為減少建設工程造價、降低能量消耗，常常采用同時具有單向流和非單向流的混合流潔凈室，即使在微電子生產(chǎn)潔凈廠房中要求1級～3級的空氣潔凈度等級的生產(chǎn)環(huán)境也采用混合流潔凈室，即在潔凈廠房的潔凈生產(chǎn)區(qū)采用5級，僅在局部或微環(huán)境內(nèi)采用1級～3級。根據(jù)上述情況，本條進行了新的規(guī)定，并修改為推薦性條文。

　　6.3.2  潔凈室(區(qū))的送風量是確保其正常運行的基本條件，本條規(guī)定的潔凈室(區(qū))送風量應取三項中最大值是多年來國內(nèi)外的經(jīng)驗總結，如果不是“最大值”，則將使建造后的潔凈室達不到所要求的潔凈度等級或環(huán)境條件達不到要求或作業(yè)人員健康得不到保障，為此，本條規(guī)定為強制性條文。

　　6.3.3 潔凈室送風量計算所用的數(shù)據(jù)是參照國際標準《潔凈室及相關受控環(huán)境——第四部分，設計、施工和啟動》ISO  14644-4-2001中表B.2而編制的。其中，換氣次數(shù)系根據(jù)我國實際情況確定的。

　　(1) 表6.3.3空氣潔凈度等級系指靜態(tài)而言。其編制理由如下：

　　1) 工程施工前的空氣潔凈度測試，一般都是在空態(tài)或靜態(tài)下進行的;

　　2) 國內(nèi)外標準中大多已明確規(guī)定按靜態(tài)進行空氣潔凈度測試。如果設計時業(yè)主提出須按動態(tài)進行驗收時，則另行處理。

　　(2) 參照已經(jīng)發(fā)布的國際標準《潔凈室及相關受控環(huán)境——第四部分，設計、施工和啟動》ISO  14644-4中對微電子潔凈室、醫(yī)藥工業(yè)潔凈室的送風量的規(guī)定，以及在本規(guī)范修訂過程中對國內(nèi)已投入運行的各類潔凈廠房實際運行狀況的調(diào)查研究，經(jīng)分析表明，《潔凈室及相關受控環(huán)境——第四部分，設計、施工和啟動》ISO  14644-4-2001中表B.2對不同等級的潔凈室送風量、平均風速的相關數(shù)據(jù)基本合理，編寫組結合國內(nèi)的實際狀況作了必要的調(diào)整，現(xiàn)將表B.2摘錄于表8。

　　表8 微電子潔凈室實例

　　注：1 制定最佳設計條件之前，首先應明確使用環(huán)境的ISO級別有關的占用狀態(tài);

　　2 氣流流型符號的意義：U為單向流流型;N為非單向流流型，M為混合流流型(單向流和非單向流的組合流型);

　　3 平均風速通常適用于單向流流型。單向流平均流速大小與被控制空間的形狀和熱氣流溫度有關。單向流流速不是指過濾器面風速;

　　4 單位面積送風量適用于非單向流流型和混合流流型。單位面積送風量的推薦值適用于層高為3.0m的潔凈室;

　　5 在潔凈室設計中須考慮密封措施;

　　6 對于污染源以及污染區(qū)可用隔板或空氣幕予以有效分隔。

　　由于本條規(guī)定的潔凈送風量主要是依據(jù)目前國內(nèi)外的實際狀況的經(jīng)驗總結，各類工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝的差異和不斷進步，使其潔凈室的送風量有所差異，所以本次修訂將本條改為推薦性條文。

　　6.4 空氣凈化處理

　　6.4.1  近年來，我國各類潔凈廠房中所采用的空氣過濾器品種、布置和安裝方式均發(fā)生了較大變化，特別是一些外資、合資企業(yè)和空氣潔凈度等級要求十分嚴格的潔凈廠房變化尤為明顯。為了有利于本規(guī)范的實施，本次修訂將本條第1～4款改為推薦性條文。

　　6.4.3  在工藝生產(chǎn)過程不產(chǎn)生有害物時，凈化空調(diào)系統(tǒng)在保證新鮮空氣量和保持潔凈室壓差的條件下，為了節(jié)約能源，應盡量利用回風。而單向流潔凈室的換氣次數(shù)大，當機房距單向流潔凈室較遠時，可以使一部分空氣不回機房而直接循環(huán)使用。近年來，一些高潔凈等級的單向流潔凈室采用新風集中處理+FFU凈化空調(diào)系統(tǒng)，它是由多臺風機過濾器單元設備組成實現(xiàn)潔凈室回風的直接循環(huán)，如圖2所示。

　　圖2 風機過濾器單元送風方式(FFU)示意圖

　　當生產(chǎn)工藝過程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)，局部排風又不能滿足衛(wèi)生要求，并對其他工序有影響時，才能采用直流式凈化空調(diào)系統(tǒng)。因為當車間內(nèi)的有害物質(zhì)不能全部排除時，如再使其循環(huán)使用，則會造成車間內(nèi)的有害物濃度越來越大，對人員健康及生產(chǎn)有影響，故應采用直流式凈化空調(diào)系統(tǒng)。

　　6.4.4  在凈化空調(diào)系統(tǒng)中，考慮到系統(tǒng)的阻力變化影響其風量等因素，風機采用變頻調(diào)速裝置作恒定風量或定壓控制，通常由高效過濾器的壓差變化控制變頻裝置。一些單位的實踐說明.使用后有明顯節(jié)能效果。

　　6.4.5 由于原規(guī)范本條部分內(nèi)容與第9.4.3條重復，本次修訂中將有關電加熱器等內(nèi)容移至第9.4節(jié)。

　　本條規(guī)定所指的寒冷地區(qū)是處于建筑氣候區(qū)劃一級區(qū)中I區(qū)(1月平均氣溫小于或等于-10℃)和Ⅱ區(qū)(1月平均氣溫-10℃～0℃)的地區(qū)，在此類地區(qū)的新風系統(tǒng)采用防凍措施，是為了防止新風機組表冷器凍裂。

　　6.5 采暖通風、防排煙

　　6.5.1  對國內(nèi)現(xiàn)有潔凈室的調(diào)研看到，為防止散熱器引發(fā)的污染，除少數(shù)改建工程仍采用原有散熱器作潔凈室采暖外，新建潔凈室沒有采用散熱器采暖的，考慮到技術的發(fā)展，本條規(guī)定了包括8級和8級以上潔凈室不應采用散熱器采暖，為此本條作為強制性條文。

　　6.5.3  對于局部排風系統(tǒng)單獨分開設置的規(guī)定是為了防止排風系統(tǒng)中的易燃、易爆、有毒、腐蝕性介質(zhì)的相互滲混、交叉污染，誘發(fā)各種安全事故，并參照現(xiàn)行國家標準《采暖通風與空氣調(diào)節(jié)設計規(guī)范》GB  50019的規(guī)定制定，本條為強制性條文。

　　6.5.4  國內(nèi)大部分潔凈室的排風裝置都設置了防倒灌措施，防止凈化空調(diào)系統(tǒng)停止運行時，室外空氣倒流入潔凈室，引起污染或積塵。工程中常采取的防倒灌措施：一是采用中效過濾器，其結構比較簡單，維護管理方便;二是采用止回閥，其使用方便，無須經(jīng)常維修管理，但密封性較差;三是采用密閉閥，其密封性好，但結構復雜，要人工經(jīng)常操作管理;四是采用自動控制裝置。本條涉及潔凈廠房內(nèi)排風系統(tǒng)的安全、穩(wěn)定運行，所以規(guī)定為強制性條文。

　　6.5.5  廁所、換鞋、存外衣、盥洗和淋浴等輔助房間是產(chǎn)生灰塵、臭氣和水蒸氣的地方，緊靠潔凈區(qū)，若處理不當，將會使這些有害物滲入潔凈室，污染潔凈室。本條是確保潔凈室(區(qū))不被這些輔助房間污染的規(guī)定，鑒于具體做法也沒有量化的靜壓值規(guī)定，本次修改為推薦性條文。通風措施的做法一般宜采用下述方式：

　　(1) 送入經(jīng)過中效過濾器過濾后的潔凈空氣;

　　(2) 送入潔凈室多余的回風或正壓排風;

　　(3) 在廁所或浴室內(nèi)采用機械排風。

　　6.5.6 鑒于事故排風是保證生產(chǎn)安全和員工安全的一項必要措施，所以按照現(xiàn)行國家標準《采暖通風與空氣調(diào)節(jié)設計規(guī)范》GB  50019的規(guī)定應設計事故排風裝置。本條是確保潔凈廠房安全運行的重要條件之一，所以規(guī)定為強制性條文。

　　6.5.7  從近年來國內(nèi)建造的潔凈廠房的調(diào)研資料可以看出，一部分潔凈廠房為確保人員疏散的安全性，在疏散走廊設置了機械排煙或加壓送風系統(tǒng)，如三星視界有限公司，深圳大學實驗樓，賽格日立等。潔凈廠房的疏散走廊及其長度，依據(jù)具體工程項目的不同位置，差異較大，難于統(tǒng)一。本規(guī)范實施以來的潔凈廠房設計建造均在疏散走道設置了機械排煙系統(tǒng)，為此，本條第1款規(guī)定在疏散走廊應設置機械排煙系統(tǒng)，并作為強制性條款。

　　本條第2款規(guī)定了各類產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈廠房應按現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB  50016的有關規(guī)定設置排煙設施，這是由于各行業(yè)潔凈廠房內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、使用要求和布置均不相同，在本規(guī)范中很難作出統(tǒng)一的“排煙設施的規(guī)定”，所以本款為推薦性條款。

　　6.6 風管和附件

　　6.6.1  新風管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)新風比;電動密閉閥用于空調(diào)機停止運行時關閉新風?；仫L總管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)回風比。送風支管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)潔凈室的送風量。回風支管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)潔凈室內(nèi)的正壓值。空調(diào)機出風口處的密閉調(diào)節(jié)閥用于并聯(lián)空調(diào)機停運時的關閉切斷，也可用于單臺空調(diào)機的總送風量調(diào)節(jié)。排風系統(tǒng)吸風管段上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)局部排風量，排風管段上的止回閥或電動密閉閥等用于防止室外空氣倒灌。

　　6.6.2 參照現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB  50016的有關條文，并結合潔凈室情況作出的本條規(guī)定。風管穿過變形縫有三種情況：一是變形縫兩側有防火隔墻，二是變形縫一側有防火隔墻，三是變形縫兩側沒有防火隔墻。規(guī)范條文是按第一種情況兩側設置防火閥。通風系統(tǒng)的防火閥是在一旦出現(xiàn)火情時，防止火勢蔓延的主要手段，為此本條為強制性條文。

　　6.6.3  從不影響空氣凈化效果及經(jīng)濟兩個方面考慮，凈化空調(diào)系統(tǒng)風管與附件的制作材料是隨著輸送空氣凈化程度的高低而定的。潔凈度高的選用不易產(chǎn)塵的材料，潔凈度低的選用產(chǎn)塵少的材料。

　　排風系統(tǒng)風管與附件的制作材料是隨著輸送氣體的腐蝕性程度的強弱而定。

　　6.6.4  凈化空調(diào)系統(tǒng)的送、回風及排風系統(tǒng)消聲措施的設置，應根據(jù)系統(tǒng)設置的實際情況，經(jīng)計算是否滿足室內(nèi)外噪聲標準，確定消聲措施的設置，故本條改為推薦性條文。

　　6.6.5 在各級空氣過濾器的前、后設測壓孔或安裝壓差計，便于運行中隨時了解各級空氣過濾器的阻力變化情況，以便及時清洗或更換。

　　6.6.6  風管及附件的不燃材料是指各種金屬板材，難燃材料是指氧指數(shù)大于或等于32的玻璃鋼。風管保溫和消聲的不燃材料是指巖棉、玻璃棉等，難燃材料是指氧指數(shù)大于或等于32的聚氨酯(聚苯乙烯)泡沫塑料、橡塑海綿等。穿越防火墻及變形縫防火隔墻兩側各2000mm范圍內(nèi)的風管和電加熱器前、后800mm范圍內(nèi)的風管的保溫材料和墊片、粘結劑等，均應采用不燃材料或難燃材料。本條規(guī)定了風管及附件、輔助材料的耐火性能，所以規(guī)定為強制性條文。