附錄A 潔凈室或潔凈區(qū)性能測試和認證

　　A.1 通則

　　A.2 潔凈室或潔凈區(qū)性能測試要求

　　A.3 潔凈室主要測試方法

　　A.4 監(jiān)測

　　A.5 認證

　　A.1 通則

　　A.1.1 潔凈室或潔凈區(qū)應監(jiān)測或定期進行性能測試，以認證該潔凈室或潔凈區(qū)始終符合本規(guī)范的要求。

　　A.1.2 潔凈室或潔凈區(qū)性能測試認證工作應由專門檢測認證單位承擔，并提交檢測報告。

　　A.1.3 測試和認證工作之前，系統(tǒng)應達到穩(wěn)定運行。測試和監(jiān)測儀表應在標定證書有效使用期內(nèi)。

　　條文說明

　　A.1 通則

　　本附錄編寫的指導思想是與國際接軌，依據(jù)國際標準《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》ISO 14644、《生物污染控制》ISO 14698等的內(nèi)容進行編制。

　　A.1.1 潔凈室或潔凈區(qū)在設計、施工驗收后，應進行綜合性能評價。潔凈室交付使用后，由于潔凈室維護管理不當，潔凈室工作人員誤操作和凈化空調(diào)系統(tǒng)長期運行使空氣過濾器性能變化，潔凈室周圍環(huán)境的突發(fā)事件如沙塵暴等，以及潔凈室工藝變化諸因素均會影響潔凈室綜合性能，因而潔凈室經(jīng)常監(jiān)測或定期的性能測試是必要的，以證實潔凈室或潔凈區(qū)的性能符合本規(guī)范的要求。

　　A.2 潔凈室或潔凈區(qū)性能測試要求

　　A.2.1 潔凈室或潔凈區(qū)應進行下列三項測試：

　　1 空氣潔凈度測試。生物潔凈室應進行浮游菌、沉降菌測試。

　　2 靜壓差測試。

　　3 風速或風量測試。

　　A.2.2 潔凈室或潔凈區(qū)的三項測試應符合下列規(guī)定：

　　1 空氣潔凈度測試應符合表A.2.2-1的規(guī)定。

　　表A.2.2-1 空氣潔凈度測試

　　2 靜壓差、風速或風量測試應符合表A.2.2-2的規(guī)定。

　　表A.2.2-2 靜壓差、風速或風量測試

　　A.2.3 當潔凈室或潔凈區(qū)已對粒子濃度、風速或風量、靜壓差執(zhí)行連續(xù)監(jiān)測，并且其測試值均符合本規(guī)范要求，則認證的測試時間間隔可延長。具體間隔時間可與認證單位洽商，并應符合下列規(guī)定：

　　1 空氣潔凈度等級認證可進行靜態(tài)或動態(tài)檢測，應洽商確定。

　　2 風量測定采用風速計在風口或風管測定。

　　A.2.4 潔凈室或潔凈區(qū)洽商選擇的測試要求應符合表A.2.4的規(guī)定。

　　表A.2.4 潔凈室或潔凈區(qū)洽商選擇的測試

　　條文說明

　　A.2 潔凈室或潔凈區(qū)性能測試要求

　　A.2.1、A.2.2 這兩條等同采用國際標準《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第2部分：證明持續(xù)符合ISO 14644-1的檢測和監(jiān)測技術(shù)》ISO 14644-2的相關(guān)內(nèi)容。

　　最長測試時間間隔是根據(jù)近年來我國一些合資企業(yè)的內(nèi)部質(zhì)量管理條款以及ISO 14644-2的空氣潔凈度認證測試要求而編制的。

　　A.3 潔凈室主要測試方法

　　A.3.1 風量或風速測試應符合下列規(guī)定：

　　1 對于單向流潔凈室，采用室截面平均風速和截面乘積的方法確定送風量，測點位于高效過濾器出風面約150mm～300mm,垂直氣流處的截面作為采樣截面，截面上測點間距不宜大于0.6m，測點數(shù)不應少于4點，所有讀數(shù)的算術(shù)平均值作為平均風速。

　　2 對于非單向流潔凈室，采用風口或風管法確定送風量，可按現(xiàn)行國家標準《通風與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》GB 50243規(guī)定的方法執(zhí)行。

　　A.3.2 靜壓差測試應符合下列規(guī)定：

　　1 靜壓差的測定應在潔凈室(區(qū))的風速、風量和送風均勻性檢測合格后進行，并應在所有的門關(guān)閉時檢測。

　　2 儀器宜采用各種微差壓力計，儀表靈敏度應小于1.0Pa。

　　A.3.3 已安裝過濾器檢漏測試應符合下列規(guī)定：

　　1 檢漏方法有光度計法和粒子計數(shù)器法。

　　2 在過濾器上風側(cè)應引入測試用氣溶膠，在過濾器下風側(cè)用光度計或粒子計數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面2cm～3cm處，以5mm/s～15mm/s的掃描速度移動，并應注意安裝交接處的掃描。

　　A.3.4 密閉性測試應用于確認有無被污染的空氣從相鄰潔凈室(區(qū))或非潔凈室(區(qū))通過吊頂、隔墻等表面或門、窗滲漏入潔凈室(區(qū))。一般適用于1級至5級的潔凈室(區(qū))進行測試。采用光度計法和粒子計數(shù)器法進行測試。

　　A.3.5 潔凈度的檢測應符合下列規(guī)定：

　　1 使用采樣量大于1L/min的光學粒子計數(shù)器，在儀器選用時應考慮粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數(shù)效率。儀器應有有效的標定合格證書。

　　2 最少采樣點數(shù)應按下式計算：

　　NL=A0.5 (A.3.5-1)

　　式中：NL——最少采樣點;

　　A——潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(m2)。

　　3 采樣點應均勻分布于潔凈室或潔凈區(qū)的整個面積內(nèi)，并位于工作活動的高度，活動高度宜距地面0.8m;每個采樣點的最小采樣時間為1min。

　　4 每一采樣點的每次采樣量應至少為2L，采樣量應按下式計算：

　　式中：VS——每個采樣點的每次采樣量，以L表示;當VS很大時，可使用順序采樣法;

　　Cn·m——被測潔凈室空氣潔凈度等級的被測粒徑的限值(pc/m3);

　　20——在規(guī)定被測粒徑粒子的空氣潔凈度等級限值時，可測到的粒子顆數(shù)(pc)。

　　5 當潔凈室或潔凈區(qū)僅有一個采樣點時，則在該點應至少采樣3次。

　　A.3.6 對超出等級范圍粒子的檢測應符合下列規(guī)定：

　　1 在產(chǎn)品生產(chǎn)工藝有要求時，可按等級粒徑范圍之外的粒子濃度規(guī)定空氣潔凈度的水平。此類粒子的最大允許濃度和檢測方法應由客戶與建造商協(xié)商確定。

　　2 當需評價小于0.1μm的粒子造成的污染危險時，應采用符合這類粒子具體特性的采樣方法和裝置;可獨立應用U描述符說明超微粒子濃度，也可將它作為懸浮粒子空氣潔凈度等級的補充說明。

　　U描述符用“U(χ，y)”表示，其中χ為超微粒子的最大允許濃度(pc/m3)，y為以微米計的粒徑。

　　例如：粒徑范圍等于或大于0.O1μm的最大允許超微粒子的濃度為140 000個/m3，應表示為“U(140 000，0.O1μm)”。

　　3 當需評價大于5μm的粒子造成的污染危險時，應采用符合這類粒子具體特性的采樣裝置和方法。可獨立應用M描述符說明大于5μm的粒子濃度，也可將它作為懸浮粒子空氣潔凈度等級的補充說明。

　　M描述符用“M(a，b);c”表示，其中a為大粒子的最大允許濃度(pc/m3)，b為與規(guī)定的大粒子測量方法相應的當量直徑(μm)，c為規(guī)定的測量方法。

　　例如：采用顯微鏡對多級撞擊采樣器采集的粒子進行檢測，測量得到10μm～20μm粒徑范圍的懸浮粒子濃度為1000個/m3，則用M描述符表示為“M(1OOO;1Oμm～20μm);多級撞擊采樣器以顯微鏡測定粒徑并計數(shù)”。

　　條文說明

　　A.3 潔凈室測試方法

　　近年來，國際標準組織(ISO)的ISO/TC209技術(shù)委員會相繼制定了“潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境”的系列標準，與本規(guī)范有關(guān)的有《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第1部分：空氣潔凈度分級》ISO 14644-1，《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第2部分：證明持續(xù)符合ISO 14644-1的檢測和監(jiān)測技術(shù)條件》IS0 14644-2，《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第3部分：檢測方法》ISO 14644-3，《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第4部分：設計、施工和啟動》ISO 14644-4等。國內(nèi)制定的國家標準《潔凈廠房施工及質(zhì)量驗收規(guī)范》GB 50929中對潔凈室(區(qū))的各項檢測方法均有明確的要求和規(guī)定，所以本節(jié)參照相關(guān)國內(nèi)外的標準對潔凈室測試方法進行了相應的修改、補充。

　　A.4 監(jiān)測

　　A.4.1 按照雙方協(xié)議書的規(guī)定進行空氣中懸浮粒子濃度和其他參數(shù)的監(jiān)測。

　　A.4.2 雙方協(xié)議書中應明確測量空氣懸浮粒子濃度最少采樣點、每次最少的空氣采樣量、采樣時間、每個采樣點的測量次數(shù)、測量時間間隔、被計數(shù)粒子的粒徑，以及粒子數(shù)的限值。

　　A.4.3 當監(jiān)測結(jié)果超過規(guī)定的限值時，則應認定設施不符合要求，應進行修正;修正后應再進行認證檢測。當監(jiān)測結(jié)果在規(guī)定限值內(nèi)，可繼續(xù)監(jiān)測。

　　A.5 認證

　　A.5.1 按雙方協(xié)議書的規(guī)定及第A.2節(jié)的要求，按第A.3節(jié)的方法進行測試，當測試結(jié)果在規(guī)定的限值之內(nèi)時，可認定該潔凈室符合規(guī)定要求。當測試結(jié)果超過規(guī)定的限值，可認定該潔凈室不符合要求，應進行改進，在完成改進工作之后，應進行再認證。

　　A.5.2 記錄數(shù)據(jù)評價應符合下列規(guī)定：

　　1 在空氣潔凈度測試中，當測點在1點～10點時，應計算平均中值、標準偏差、標準誤差和由全部采樣點的平均粒子濃度導出95%置信上限值。

　　2 當采樣點超過10點時，應計算算術(shù)平均值，并按算術(shù)平均值進行空氣潔凈度等級的評價。

　　A.5.3 每次性能測試或再認證測試應做記錄，并應提交性能合格或不合格的綜合報告。測試報告應包括下列內(nèi)容：

　　1 測試機構(gòu)的名稱、地址。

　　2 測試日期和測試者簽名。

　　3 執(zhí)行標準的編號及標準出版日期。

　　4 被測試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、采樣點的特定編號及坐標圖。

　　5 被測潔凈室或潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級、被測粒徑、被測潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差。

　　6 測量用的儀器編號和標定證書，測試方法細則及測試中的特殊情況。

　　7 測試結(jié)果包括在全部采樣點坐標圖上注明所測的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數(shù)。

　　8 對異常測試值進行說明及數(shù)據(jù)處理。

　　9 注明上次的測試日期。

　　10 設施的測試文件可作為下次監(jiān)測計劃的依據(jù)。

　　A.5.4 測試機構(gòu)應提交潔凈室檢驗證書、再檢驗證書。