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10、氣體供應

10 氣體供應10.1 一般規(guī)定10.1.1 潔凈廠房內(nèi)應根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質應滿足生產(chǎn)工藝要求。10.1.2 常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應根據(jù)氣體用量、氣體品質和當?shù)氐墓鉅顩r等因素，經(jīng)技術經(jīng)濟比較后確定。10.1.3 潔凈廠房常用氣體、特種氣體的

11、化學品供應

11 化學品供應11.1 一般規(guī)定11.1.1 潔凈廠房內(nèi)化學品的儲存、輸送方式，應根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和化學品的品質、數(shù)量、物理化學特性等確定。11.1.2 潔凈廠房內(nèi)使用的各類化學品應按照各自的物理化學特性分類和儲存，并應符合現(xiàn)行國家標準《常用危險化學品的分類及標志》GB 13690的有關規(guī)定。11.1.3 在潔凈室

12、電氣設計

12 電氣設計12.1 配 電12.1.1 潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設備要求和現(xiàn)行國家標準《供配電系統(tǒng)設計規(guī)范》GB 50052的有關規(guī)定確定。12.1.2 潔凈廠房低壓配電電壓等級應符合生產(chǎn)工藝設備用電要求。帶電導體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地型式

13、防靜電與接地設計

13 防靜電與接地設計13.1 一般規(guī)定13.1.1 潔凈廠房應根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設置防靜電環(huán)境。防靜電環(huán)境設計應滿足抑制或減少靜電的產(chǎn)生，以及將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全、有效地排除的要求。13.1.2 防靜電環(huán)境設計應按電子產(chǎn)品或生產(chǎn)工序(設備)進行分級。防靜電環(huán)境內(nèi)靜電電位絕對值應小于電子產(chǎn)品的靜電電位安全

14、噪音控制

14 噪聲控制14.1 一般規(guī)定14.1.1 潔凈廠房的噪聲控制，應滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)的要求，并應保持工作人員具有舒適、安全的環(huán)境。14.1.2 潔凈廠房的噪聲控制設計應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)企業(yè)噪聲控制設計規(guī)范》GBJ 87的有關規(guī)定。14.1.3 潔凈室(區(qū))的噪聲控制設計的噪聲級(空態(tài))應符合本規(guī)范第3.2.5條的規(guī)定

15、微振控制

15 微振控制15.1 一般規(guī)定15.1.1 潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行，應包括設計、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。15.1.2 設計有微振控制要求的潔凈廠房時，應符合下列規(guī)定：1 總平面布置時，應核實相鄰廠房、建筑物或

附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求

附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求

附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間／工序的火災危險性分類舉例

附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間/工序的火災危險性分類舉例注：① 表中房間在設備密閉性良好，并設有氣體或可燃蒸氣報警裝置和滅火裝置時，應按丙類設防，否則仍應按甲類設防。② 屏錐加工車間中低熔點玻璃配制和低熔點玻璃涂復間面積超過本層或防火分區(qū)總面積5%時，生產(chǎn)類別應為乙類設防。③ 光纜外皮采用發(fā)泡塑

附錄C 精密儀器、設備的容許振動值舉例

附錄C 精密儀器、設備的容許振動值舉例

附錄D 潔凈室(區(qū))性能測試和認證

D.1 通 則D.1.1 潔凈室(區(qū))應定期進行性能測試。以認證潔凈室(區(qū))始終符合本規(guī)范的要求。D.1.2 潔凈室(區(qū))性能測試認證工作，應由專門檢測認證單位承擔，并應提交檢測報告。D.1.3 測試和認證工作之前，系統(tǒng)應達到穩(wěn)定運行。測試儀表應在標定證書有效使用期內(nèi)。D.1.4 潔凈室(區(qū))的占用狀態(tài)應有空態(tài)、靜態(tài)