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10、氣體供應(yīng)

10 氣體供應(yīng)10.1 一般規(guī)定10.1.1 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。10.1.2 常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應(yīng)根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當?shù)氐墓鉅顩r等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。10.1.3 潔凈廠房常用氣體、特種氣體的

11、化學品供應(yīng)

11 化學品供應(yīng)11.1 一般規(guī)定11.1.1 潔凈廠房內(nèi)化學品的儲存、輸送方式，應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和化學品的品質(zhì)、數(shù)量、物理化學特性等確定。11.1.2 潔凈廠房內(nèi)使用的各類化學品應(yīng)按照各自的物理化學特性分類和儲存，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《常用危險化學品的分類及標志》GB 13690的有關(guān)規(guī)定。11.1.3 在潔凈室

12、電氣設(shè)計

12 電氣設(shè)計12.1 配 電12.1.1 潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設(shè)備要求和現(xiàn)行國家標準《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50052的有關(guān)規(guī)定確定。12.1.2 潔凈廠房低壓配電電壓等級應(yīng)符合生產(chǎn)工藝設(shè)備用電要求。帶電導體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地型式

13、防靜電與接地設(shè)計

13 防靜電與接地設(shè)計13.1 一般規(guī)定13.1.1 潔凈廠房應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電環(huán)境。防靜電環(huán)境設(shè)計應(yīng)滿足抑制或減少靜電的產(chǎn)生，以及將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全、有效地排除的要求。13.1.2 防靜電環(huán)境設(shè)計應(yīng)按電子產(chǎn)品或生產(chǎn)工序(設(shè)備)進行分級。防靜電環(huán)境內(nèi)靜電電位絕對值應(yīng)小于電子產(chǎn)品的靜電電位安全

14、噪音控制

14 噪聲控制14.1 一般規(guī)定14.1.1 潔凈廠房的噪聲控制，應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)的要求，并應(yīng)保持工作人員具有舒適、安全的環(huán)境。14.1.2 潔凈廠房的噪聲控制設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)企業(yè)噪聲控制設(shè)計規(guī)范》GBJ 87的有關(guān)規(guī)定。14.1.3 潔凈室(區(qū))的噪聲控制設(shè)計的噪聲級(空態(tài))應(yīng)符合本規(guī)范第3.2.5條的規(guī)定

15、微振控制

15 微振控制15.1 一般規(guī)定15.1.1 潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計應(yīng)分階段進行，應(yīng)包括設(shè)計、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計、動力設(shè)備隔振設(shè)計和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計等。15.1.2 設(shè)計有微振控制要求的潔凈廠房時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1 總平面布置時，應(yīng)核實相鄰廠房、建筑物或

附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求

附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求

附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間／工序的火災(zāi)危險性分類舉例

附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間/工序的火災(zāi)危險性分類舉例注：① 表中房間在設(shè)備密閉性良好，并設(shè)有氣體或可燃蒸氣報警裝置和滅火裝置時，應(yīng)按丙類設(shè)防，否則仍應(yīng)按甲類設(shè)防。② 屏錐加工車間中低熔點玻璃配制和低熔點玻璃涂復間面積超過本層或防火分區(qū)總面積5%時，生產(chǎn)類別應(yīng)為乙類設(shè)防。③ 光纜外皮采用發(fā)泡塑

附錄C 精密儀器、設(shè)備的容許振動值舉例

附錄C 精密儀器、設(shè)備的容許振動值舉例

附錄D 潔凈室(區(qū))性能測試和認證

D.1 通 則D.1.1 潔凈室(區(qū))應(yīng)定期進行性能測試。以認證潔凈室(區(qū))始終符合本規(guī)范的要求。D.1.2 潔凈室(區(qū))性能測試認證工作，應(yīng)由專門檢測認證單位承擔，并應(yīng)提交檢測報告。D.1.3 測試和認證工作之前，系統(tǒng)應(yīng)達到穩(wěn)定運行。測試儀表應(yīng)在標定證書有效使用期內(nèi)。D.1.4 潔凈室(區(qū))的占用狀態(tài)應(yīng)有空態(tài)、靜態(tài)